معدات الطلاء البصري للتبخر بواسطة شعاع الإلكترونات واسعة النطاق لآلات طلاء pvd

1. نظام الفراغ (ضمان أساسي للطلاء) غرفة الفراغ مجموعة مضخة الفراغ قياس الفراغ والتحكم
2. نظام البندقية الإلكترونية (قلب إمدادات الطاقة) مصدر انبعاث الإلكترونات جهاز التركيز والانحراف وحدة تحكم الطاقة
3. نظام ترسب التبخر (مفتاح تشكيل الفيلم) تجميع الصهريج؛ جهاز تثبيت المواد المستهدفة مراقبة سمك الفيلم والتحكم في جهاز الاستشعار الأساسي.
4. نظام التحكم (الأتمتة وضمان الدقة) وحدة التحكم الرئيسية وحدة التحكم المغلقة نظام حماية السلامة
5. نظام معالجة الركيزة (تعزيز صلابة الفيلم) دعم الأساس وآلية الدوران؛ جهاز تسخين الأساس ووحدة معالجة ما قبل قصف الأيونات (اختياري).
6. النظام المساعد نظام التبريد نظام تحكم الغاز

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. دقة الطلاء عالية للغاية وجودة طبقة الفيلم ممتازة
2. لديها مجموعة واسعة من المواد المطبقة

   مجموعة متنوعة من المواد مثل المعادن المتبخرة (Au ، Ag ، Al ، Ti) ، السبائك (NiCr ، TiW) ، الأكسيدات (SiO2 ، TiO2 ، Al2O3) ، الكبريتيدات (ZnS) ، والسيراميك.

3. كفاءة التبخر العالية والتماسك القوي لطبقة الفيلم
4. انخفاض التلوث ومعدل الاستخدام العالي للمواد المستهدفة
5. درجة عالية من الأتمتة والتشغيل المريح

1. المجال البصري (سيناريوهات التطبيق الأساسية)
   • العدسات البصرية: الأفلام المضادة للإنعكاس (مثل الأفلام متعددة الطبقات SiO2-TiO2) ، والأفلام عالية الانعكاس (مثل الأفلام الوقائية Al + SiO2) ، وأفلام المرشح (مثل أفلام المرشح الأشعة تحت الحمراء ،(أفلام قطع فوق البنفسجية) مغلفة على العدسات، المنظار والمرآة لتعزيز انتقال الضوء، الانعكاس، أو الانتقائية الطيفية للأجهزة البصرية.
   • أجهزة العرض: طلاء الأفلام الموصلة الشفافة (مثل ITO و AZO) ، والأفلام المضادة للإنعكاس، والأفلام الاستشعارية اللمسية على الركائز الزجاجية من شاشات LCD و OLED و Micro LED.
   • أجهزة الليزر: يتم طلاء أفلام عالية الانعكاس ومكافحة الانعكاس على تجويف الرنين الليزر ووجه النهاية من الألياف البصرية لتحسين كفاءة نقل الليزر.
2. مجال الإلكترونيات وشرائح الموصلات
   • أجهزة أشباه الموصلات: يتم طلاء الأقطاب الكهربائية المعدنية (مثل Au ، Al ، Ti) وأفلام التخفيف (مثل SiO2 ، Si3N4) على الرقائق والأقراص لضمان توصيل واستقرار الأجهزة.
   • مكونات إلكترونية: طلاء طبقات فيلم وظيفية (مثل فيلم مقاومة NiCr ، فيلم كهربائي Ta2O5) على المكثفات والمقاومات وأجهزة الاستشعار لتحسين أداء المكونات.
   • أجهزة تخزين مغناطيسية: طلاء الأفلام المغناطيسية (مثل أفلام سبيكة CoCrPt) على رؤوس الأقراص الصلبة والأشرطة المغناطيسية لزيادة سعة التخزين وسرعة القراءة / الكتابة.
3. مجالات الطيران والفضاء والدفاع الوطني
   • مكونات الطيران: طلاء طبقات من الأفلام المقاومة للاستعمال المقاومة للتآكل ومقاومة للأشعة فوق البنفسجية للنوافذ الطائرة والعدسات البصرية للأقمار الصناعية.غطّي جهاز البحث عن الصواريخ بفيلم مضاد للإنعكاس بالأشعة تحت الحمراء وفيلم غير مرئي;
   • معدات الدفاع الوطني: طلاء طبقات من الأفلام البصرية عالية الأداء لأسلحة الليزر وأجهزة الكشف عن الأشعة تحت الحمراء لتعزيز القدرة على التكيف مع البيئة والأداء القتالي للمعدات.
4. مجالات أخرى عالية الجودة
   • الأجهزة الطبية: طلاء طبقات من الأفلام البصرية ذات التوافق البيولوجي الجيد ومقاومة التطهير للعدسات الاصطناعية وعدسات الأندوسكوب.
   • الطلاء الزخرفي والوظيفي: طلاء لوحات الساعات والجواهر الراقية بأفلام الزخرفة المقاومة للاستخدام ومضادة للتأكسيد (مثل فيلم الذهب TiN ، فيلم Cr الأسود) ؛يتم طلاء أفلام حماية صلبة (مثل TiN و TiAlN) على أدوات القطع والقوالب لتمديد عمر خدمتها.