อุปกรณ์เคลือบออนไลน์ขนาดใหญ่สําหรับเครื่องเคลือบ pvd

1. ระบบระบายความร้อน (การรับประกันพื้นฐานสําหรับการเคลือบ) ห้องสูญเสีย ชุดปั๊มสูญเสีย การวัดและควบคุมสูญเสีย
2. ระบบปืนอิเล็กตรอน (แกนพลังงาน) แหล่งการปล่อยอิเล็กตรอน อุปกรณ์การตั้งเป้าและการหลุด
3. ระบบฝากระเหย (กุญแจในการสร้างหนัง) องค์ประกอบของตู้สับ; อุปกรณ์การติดตั้งวัสดุเป้าหมาย การติดตามความหนาของฟิล์มและการควบคุมเซ็นเซอร์หลัก
4. ระบบควบคุม (ระบบอัตโนมัติและการรับประกันความแม่นยํา) หน่วยควบคุมหลัก หน่วยควบคุมวงจรปิด ระบบป้องกันความปลอดภัย
5. ระบบการบําบัดสับสราท (การเสริมการติดตามหนัง) หนุนพื้นฐานและกลไกหมุน; อุปกรณ์ทําความร้อนพื้นฐาน โมดูลการรักษาก่อนการระเบิดไอออน (ไม่จํากัด)
6. ระบบช่วย ระบบเย็น ระบบควบคุมก๊าซ

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. ความแม่นยําของการเคลือบเป็นสูงมากและคุณภาพชั้นหนังเป็นที่ดีเยี่ยม
2. มันมีวัสดุที่ใช้ได้หลากหลาย

   วัสดุหลากหลาย เช่นโลหะระเหย (Au, Ag, Al, Ti), สายสลัด (NiCr, TiW), โอกไซด์ (SiO2, TiO2, Al2O3), ซัลฟิด (ZnS) และเซรามิก

3. ประสิทธิภาพการระเหยสูงและการติดต่อชั้นหนังที่แข็งแรง
4. ปนเปื้อนต่ําและอัตราการใช้งานสูงของวัสดุเป้าหมาย
5. อัตโนมัติสูงและใช้งานสะดวก

1. สนามแสง (ฉากการใช้งานหลัก)
   • เลนส์แสง: ฟิล์มป้องกันการสะท้อน (เช่นฟิล์มหลายชั้น SiO2-TiO2) ฟิล์มสะท้อนสูง (เช่นฟิล์มป้องกัน Al+SiO2) และฟิล์มกรอง (เช่นฟิล์มกรองอินฟราเรดโฟลมตัดแสง ultraviolet) ถูกเคลือบบนเลนส์, พริสม และกระจกเพื่อเพิ่มความผ่านแสง, การสะท้อนแสง, หรือการเลือกสายสีของอุปกรณ์ออทคิตร
   • อุปกรณ์จอ: การเคลือบฟิล์มที่นําแสงโปร่ง (เช่น ITO, AZO), ฟิล์มที่ป้องกันการสะท้อนแสง และฟิล์มที่ตรวจจับการสัมผัสบนพื้นผังกระจกของจอ LCD, OLED และ Micro LED
   • อุปกรณ์เลเซอร์: ฟิล์มที่มีการสะท้อนและป้องกันการสะท้อนสูงถูกเคลือบบนช่องสะท้อนเลเซอร์และหน้าปลายของไฟเบอร์ออปติก เพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพการส่งเลเซอร์
2. สาขาอิเล็กทรอนิกส์และครึ่งนํา
   • อุปกรณ์ครึ่งนํา: อิเล็กทรอดโลหะ (เช่น Au, Al, Ti) และฟิล์ม passivation (เช่น SiO2, Si3N4) ถูกเคลือบบนชิปและแผ่นเพื่อให้แน่ใจว่าการนําและความมั่นคงของอุปกรณ์
   • องค์ประกอบอิเล็กทรอนิกส์: การเคลือบผิวหนังที่มีฟังก์ชัน (เช่น NiCr resistance film, Ta2O5 dielectric film) บนตัวประกอบ, resistors และเซ็นเซอร์เพื่อเพิ่มผลงานขององค์ประกอบ
   • อุปกรณ์ที่เก็บของแม่เหล็ก: การเคลือบฟิล์มแม่เหล็ก (เช่นฟิล์มเหล็กสแตนเลส CoCrPt) บนหัวฮาร์ดดิสก์และเทปแม่เหล็กเพื่อเพิ่มความจุในการเก็บของและความเร็วการอ่าน / เขียน
3. สาขาอากาศและการป้องกันชาติ
   • องค์ประกอบเครื่องบินอวกาศ: การเคลือบผิวหนังทนทานการสกัด, กันการกัดกร่อน และทน UV สําหรับหน้าต่างเครื่องบินและเลนส์แสงดาวเทียมใส่ฟิล์มป้องกันการสะท้อนในอินฟราเรด และฟิล์มปิด;
   • อุปกรณ์การป้องกันชาติ: การเคลือบผิวหนังแสงที่มีประสิทธิภาพสูงสําหรับอาวุธเลเซอร์และเครื่องตรวจจับอินฟราเรด เพื่อเพิ่มความสามารถในการปรับตัวต่อสภาพแวดล้อมและประสิทธิภาพการต่อสู้ของอุปกรณ์
4. สาขาอื่น ๆ ที่มีคุณภาพสูง
   • อุปกรณ์ทางการแพทย์: การเคลือบผิวหนังทางออทติกที่มีความเข้ากันทางชีวภาพที่ดีและความทนทานต่อการฆ่าเชื้อสําหรับเลนส์ประดิษฐ์และเลนส์เอ็นโดสโคป
   • การเคลือบประดับและการทํางาน: การเคลือบชุดนาฬิกาและเครื่องประดับระดับสูงด้วยฟิล์มประดับทนทานต่อการสวมและป้องกันการออกซิเดน (เช่นฟิล์มทอง TiN, ฟิล์มสีดํา Cr)ฟิล์มป้องกันแข็ง (เช่น TiN และ TiAlN) ถูกเคลือบบนเครื่องมือตัดและหม้อเพื่อขยายอายุการใช้งานของพวกเขา.