Εξοπλισμός οπτικής επικάλυψης με εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων μεγάλης κλίμακας για μηχανή επικάλυψης pvd

1. Σύστημα κενού (Βασική εγγύηση για την επικάλυψη) Κεφαλοειδής θάλαμος Συγκρότημα αντλίας κενού Μέτρηση και έλεγχο κενού.
2. Σύστημα ηλεκτρονικού πυροβολικού (πυρήνας τροφοδοσίας ενέργειας) Πηγή εκπομπής ηλεκτρονίων Συσκευή εστίασης και αποκλίσεως Ενότητα ελέγχου ισχύος.
3. Σύστημα εναπόθεσης με εξατμίωση (κλειδί για το σχηματισμό φιλμ) Συγκρότημα χωνευτήρα· συσκευή στερέωσης του υλικού-στόχου Παρακολούθηση και έλεγχος πάχους ταινίας Κεντρικός αισθητήρας.
4. Σύστημα ελέγχου (αυτομάτωση και διασφάλιση ακρίβειας) Κεντρική μονάδα ελέγχου Κλειστή κυκλική μονάδα ελέγχου Σύστημα προστασίας ασφάλειας.
5. Σύστημα επεξεργασίας υποστρώματος (βελτίωση της προσκόλλησης του φιλμ) Υποστήριξη υποστρώματος και μηχανισμός περιστροφής· συσκευή θέρμανσης υποστρώματος (προαιρετική)
6. Βοηθητικό σύστημα Σύστημα ψύξης, σύστημα ελέγχου αερίου.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. Η ακρίβεια της επικάλυψης είναι εξαιρετικά υψηλή και η ποιότητα της στρώσης του φιλμ είναι εξαιρετική
2. Έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμοστέων υλικών

   Μια ποικιλία υλικών όπως τα εξατμιστέα μέταλλα (Au, Ag, Al, Ti), κράματα (NiCr, TiW), οξείδια (SiO2, TiO2, Al2O3), θειικά (ZnS) και κεραμικά.

3. Υψηλή απόδοση εξάτμισης και ισχυρή προσκόλληση της στρώσης φιλμ
4. Χαμηλή ρύπανση και υψηλό ποσοστό αξιοποίησης των υλικών-στόχων
5. Υψηλός βαθμός αυτοματοποίησης και βολική λειτουργία

1. Οπτικό πεδίο (Κεντρικά σενάρια εφαρμογής)
   • Οπτικοί φακοί: Φίλμες αντιαντανάκλασης (όπως πολυστρωτές ταινίες SiO2-TiO2), ταινίες υψηλής αντανάκλασης (όπως προστατευτικές ταινίες Al+SiO2) και ταινίες φίλτρου (όπως ταινίες φίλτρου υπέρυθρου,Οι ακτινοβολίες (π.χ. οι ακτινοβολίες με υπεριώδες κόψιμο) καλύπτονται από φακούς., πρίσμα και καθρέφτες για την ενίσχυση της διαπερατότητας του φωτός, της αντανάκλασης ή της φασματικής επιλεκτικότητας των οπτικών συσκευών.
   • Συσκευές οθόνης: Επιχρισμός διαφανών αγωγών ταινιών (όπως ITO, AZO), αντιαντανεκτικών ταινιών και ταινιών αισθητήρα αφής στα γυάλινα υπόστρωμα των οθονών LCD, OLED και Micro LED.
   • Συσκευές λέιζερ: Υψηλής αντανάκλασης και αντι-αντανάκλασης ταινίες επικαλύπτονται στην ελαστική αντηχεία κοιλότητα και το τέλος της όψης της οπτικής ινής για τη βελτιστοποίηση της απόδοσης μετάδοσης λέιζερ.
2. Τομείς ηλεκτρονικών και ημιαγωγών
   • Ηλεκτρόδια μετάλλων (όπως Au, Al, Ti) και φιλμ παθητικοποίησης (όπως SiO2, Si3N4) επικαλύπτονται σε τσιπ και πλακίδια για να εξασφαλίζεται η αγωγιμότητα και η σταθερότητα των συσκευών.
   • Ηλεκτρονικά εξαρτήματα: Επιχρισμός λειτουργικών στρωμάτων φιλμ (όπως φιλμ αντίστασης NiCr, διηλεκτρικό φιλμ Ta2O5) σε πυκνωτές, αντίστασεις και αισθητήρες για τη βελτίωση των επιδόσεων των εξαρτημάτων.
   • Μηχανές μαγνητικής αποθήκευσης: Επιχρισμός μαγνητικών ταινιών (όπως ταινίες από κράμα CoCrPt) σε κεφαλές σκληρών δίσκων και μαγνητικές ταινίες για τη βελτίωση της χωρητικότητας αποθήκευσης και της ταχύτητας ανάγνωσης/γράψεως.
3. Αεροδιαστημικοί και εθνικός αμυντικός τομείς
   • Συστατικά αεροδιαστημικού εξοπλισμού: Επιχρισμός ανθεκτικών στην φθορά, στη διάβρωση και στις υπεριώδεις ακτινοβολίες στρωμάτων ταινιών για παράθυρα αεροσκαφών και δορυφορικούς οπτικούς φακούς.Καλύψτε τον εντοπιστή πυραύλου με υπερύθριες αντιαντανάκλασης και κρυφή ταινία.;
   • Εθνικός εξοπλισμός άμυνας: Επιχρισμός υψηλής απόδοσης οπτικών στρωμάτων για όπλα λέιζερ και υπέρυθρους ανιχνευτές για τη βελτίωση της προσαρμοστικότητας στο περιβάλλον και των επιδόσεων μάχης του εξοπλισμού.
4. Άλλα πεδία υψηλού επιπέδου
   • Ιατρικές συσκευές: Επιχρισμός οπτικών στρωμάτων με καλή βιοσυμβατότητα και αντοχή στην απολύμανση για τεχνητούς φακούς και φακούς ενδοσκόπου.
   • Διακοσμητική και λειτουργική επικάλυψη: επικάλυψη πινάκων και κοσμημάτων υψηλής τεχνολογίας με ανθεκτικά στην φθορά και αντιοξειδωτικά διακοσμητικά φύλλα (όπως φύλλα χρυσού TiN, φύλλα μαύρου Cr) ·Οι σκληρές προστατευτικές ταινίες (όπως TiN και TiAlN) επικαλύπτονται σε εργαλεία κοπής και καλούπια για να παρατείνουν τη διάρκεια ζωής τους.