<
>
Σύνθετη μηχανή επικαλύψεως με εξατμίωση δέσμης ηλεκτρονίων υψηλής ακρίβειας για ευέλικτες εφαρμογές οπτικής επικαλύψεως
Σύνθετη μηχανή επικαλύψεως με εξατμίωση δέσμης ηλεκτρονίων υψηλής ακρίβειας για ευέλικτες εφαρμογές οπτικής επικαλύψεως
Τόπος καταγωγής:Zhaoqing, Γκουανγκντόνγκ
Επωνυμία:Zhongda
Πιστοποίηση:CE
Ελάχιστη ποσότητα παραγγελίας:1
Χρόνος Παράδοσης:45-60 εργάσιμες ημέρες
Λεπτομέρειες προϊόντος
Επισημαίνω:
Μηχανή εξάτμισης μικρών δέσμων ηλεκτρονίων
,εξοπλισμός οπτικής επικάλυψης PVD
,Μηχανή επικαλύψεως με δέσμη ηλεκτρονίων
Control System:
Πλήρη αυτόματη, ημι αυτόματη, χειροκίνητη
Coating Process:
Εξάτμιση υπό κενό
Rotation Stand:
2 σετ
Server:
ανοιχτόφρονα
Dimensions:
Περίπου 2000mm x 1500mm x 1800mm
Cooling Method:
Υδροψύξη
Coating Transparency:
Ψηλά
Coating Thickness:
Ευκανόνιστος
Chamber Material:
Ανοξείδωτο ή Ανθρακούχο Χάλυβα
Pumptype:
Περιστροφική αντλία πτερυγίων + αντλία διάχυσης
Voltage:
380V, 50Hz ή Custom Made
Coating Technology:
Εξάτμιση
Coating Temperature:
Ευκανόνιστος
Evaporation Power Supply:
1 σετ
Rotation System:
2 σετ
Περιγραφή προϊόντος
Λεπτομερείς προδιαγραφές και χαρακτηριστικά
Μηχανές επικάλυψης μικρών ηλεκτρονικών ακτίνων με εξάτμιση
Βασικές τεχνικές προδιαγραφές
| Κατηγορία παραμέτρου | Λεπτομέρειες |
|---|---|
| Δυνατότητα υποστρώματος | Μέγιστο μέγεθος: Μέχρι 6 ίντσες (150 mm) · Συμβατό με πλακέτες 2 "/4"/6" / οπτικά εξαρτήματα· Ελάχιστο μέγεθος: 10 × 10 mm |
| Δυνατότητα κενού | Τελικό κενό: ≤ 1×10−6 Torr (1,3×10−4 Pa); Χρόνος άντλησης: λεπτά έως 5×10−6 Torr; Ταχύτητα διαρροής: 10−3 Pa*L/s (Δοκιμή διαρροής) |
| Σύστημα εξάτμισης | Δύναμη δέσμης ηλεκτρονίων: 250W-10kW; Αριθμός χωνευτήρων/τσέπες: 4-8; Στήριξη ράβδου (μέγιστο φ4mm) και πρώτης ύλης χωνευτήρα (1-15cc) |
| Έλεγχος διαδικασιών | Θερμοκρασία υποστρώματος: RT-500°C (ακριβότητα ±1°C), ταχύτητα περιστροφής: 2-20 σ/min, ανιχνευτής πάχους φιλμ: QCM (0,01 nm/s ανάλυση) |
| Ποιότητα ταινίας | Ομοιομορφία: ±1%-±3%· Συσχέτιση: Ακολουθεί το πρότυπο ASTM D3359 4B· Ταχύτητα αποθέσεως: 0,1-10 nm/s |
| Συμφωνία | Υλικά: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (υποστηρίζει AR/AF/αντανάκλαση) |
| Φυσικές Διαστάσεις | Αποτύπωση: 1-3 × 3,0 m· ύψος: 2,5 - 3,5 m· βάρος: < 800 kg (μοντέλα επιφάνειας εργασίας/πετραπέζιου) |
| Ηλεκτρική τροφοδοσία | Μονό/τρίφαση: 220V/380V, 50/60Hz· κατανάλωση ισχύος: 1,2 kW-10 kW |
Κύρια πλεονεκτήματα
Συμπίεση και εξοικονόμηση χώρου
- Δισκογραφική δομή/μονταλοποιημένη δομή με πρότυπο Korvus HEX-800, ιδανική για εργαστηριακές/ερευνητικές εγκαταστάσεις
- Εύκολη ενσωμάτωση με γάντια για διαδικασίες αδρανής ατμόσφαιρας
- Η ελαφριά κατασκευή και η αντικατάσταση της μονάδας χωρίς εργαλεία μειώνουν το κόστος εγκατάστασης και συντήρησης
Υψηλής ακρίβειας και αξιόπιστης επικάλυψης
- Η τεχνολογία εστίασης δέσμης ηλεκτρονίων επιτρέπει την εναπόθεση ανθεκτικών μετάλλων (Pt, W) και διηλεκτρικών υλικών
- 0.01nm/s έλεγχος πάχους με ομοιομορφία ταινίας ± 1% (αρχηγός στον κλάδο για εξοπλισμό μικρής κλίμακας)
- Η πηγή ιόντων Hall + προκαθαρισμός πλάσματος Ar βελτιώνει την προσκόλληση του φιλμ ( βαθμός 4B) και την πυκνότητα
- Ακολουθεί τις απαιτήσεις απόδοσης των οπτικών εξαρτημάτων (π.χ. ταινίες AR με διαπερατότητα > 95%)
Πολυδιάστατη και ευέλικτη προσαρμογή διαδικασιών
- Υποστηρίζει 4-8 χωνευτήρια/τσέπες για συν-ατμορύπανση πολλαπλών υλικών
- Γρήγορη μετάβαση μεταξύ μεταλλικών, οξειδίων και οργανικών ταινιών (AF/AR/αντανάκλαση/προστατευτικές επικάλυψεις)
- Συμβατό με υποστρώματα 2 έως 6 ιντσών (ουσίδες, φακοί, οπτικές ίνες)
- Προσαρμόσιμα εξαρτήματα (κουπίλος/knudzin/πίνακα) για 2D/3D εξαρτήματα
Ευφυής και φιλική προς το χρήστη λειτουργία
- Σύστημα ελέγχου PLC + οθόνης αφής με παρακολούθηση διαδικασιών σε πραγματικό χρόνο
- Προπρογραμματισμένες βιβλιοθήκες διεργασιών για γρήγορη ρύθμιση
- Η ενεργειακά αποδοτική σχεδίαση της κρυοαντλίας/μαγνητικής ανάρτησης μοριακής αντλίας μειώνει την κατανάλωση ενέργειας κατά 30% σε σύγκριση με τα παραδοσιακά συστήματα
Αποδοτική από άποψη κόστους για την Ε&Α και την παραγωγή μικρών παρτίδων
- Χαμηλή αρχική επένδυση με υψηλό στόχο ποσοστό αξιοποίησης (> 70%) και ελάχιστη απόρριψη υλικών
- Διορθωτικό για την κατασκευή πρωτότυπων για την κατασκευή μικρών παρτίδων (έως 10.000 τεμάχια/έτος)
- Πολυλειτουργική ολοκλήρωση (ατμιστική ενέργεια ηλεκτρονικής δέσμης + προαιρετική ψεκασμός) εξαλείφει την ανάγκη για πολλαπλές συσκευές
Βασικές λειτουργίες
Ακριβής Θέρμανση και Εξάτμιση
- Ακτίνες ηλεκτρονίων υψηλής ενέργειας βομβαρδίζουν τις επιφάνειες του υλικού-στόχου, θερμαίνοντας το υλικό σε λιωμένη ή εξατμισμένη κατάσταση
- Η συγκεντρωμένη ενέργεια και η υψηλή θερμική απόδοση επιτρέπουν την εξάτμιση πυρόστακτων υλικών (τουλφρένιο, μολυβδένιο, τιτάνιο, SiO2, TiO2)
- Αποφεύγει τη μόλυνση του υλικού-στόχου από πηγή θέρμανσης
- Υποστηρίζει την εναλλαγή υλικών πολλαπλών στόχων (2-6 θέσεις χωνευτήρων) για συνεχή εναπόθεση μονοστρωμάτων και πολυστρωμάτων ταινιών
Ακριβής έλεγχος πάχους ταινίας
- Ενσωματωμένος ανιχνευτής πάχους ταινίας κρυστάλλου του χαλαζιού για την παρακολούθηση του ρυθμού εναπόθεσης και του πάχους σε πραγματικό χρόνο
- Ακρίβεια ελέγχου σε επίπεδο νανομέτρου (± 0,1nm) για υπεραπλές λειτουργικές ταινίες
- Προγραμματιζόμενο σύστημα ελέγχου με προκαθορισμένες παραμέτρους εναπόθεσης (δύναμη δέσμης ηλεκτρονίων, βαθμός κενού, ρυθμός εναπόθεσης)
- Η αυτοματοποιημένη επικάλυψη εξασφαλίζει τη συνέπεια της στρώσης ταινίας παρτίδας
Εγγύηση περιβάλλοντος υψηλού κενού
- Μηχανική αντλία + μονάδα κενού μοριακής αντλίας μειώνει την κοιλότητα σε περιβάλλον υψηλού κενού 10−4~10−6 Pa
- Μειώνει τη διάσπαση των μορίων αερίων και τη μόλυνση των εξατμισμένων σωματιδίων
- Διασφαλίζει ότι τα στρώματα φιλμ έχουν υψηλή καθαρότητα, καλή πυκνότητα και ισχυρή προσκόλληση
Προσαρμογή μικρού μεγέθους εργαστηρίου
- Ειδικά σχεδιασμένα για μικρά εργαλεία με περιστρεφόμενο τραπέζι εργαλείων
- Βελτιώνει την ομοιομορφία της στρώσης επικάλυψης σε όλα τα υποστρώματα
- Για υποστρώματα που κυμαίνονται από χιλιοστά έως δεκάδες χιλιοστά (παλίδες, οπτικοί φακοί, τσιπάκια, συστατικά αισθητήρων)
- Υποστηρίζει την επικάλυψη της επιφάνειας, του φύλλου και των μικρών τμημάτων
Μήνυμα για γρήγορη απάντηση
Σχετικά Προϊόντα
Μηχανή οπτικής επικάλυψης υπό κενό χαμηλού κόστους με πλήρη αυτόματο έλεγχο και τεχνολογία επικάλυψης E-Beam
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
Μηχανή Επιχρισμού Οπτικών Ηλεκτρονίων με ακριβή παρακολούθηση, εξατομικευμένο μέγεθος θαλάμου και υλικά επιχρισμού υψηλής καθαρότητας
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
Μηχανήματα επικάλυψης οπτικών φακών
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
Εξοπλισμός οπτικής επικάλυψης με εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων μεγάλης κλίμακας για μηχανή επικάλυψης pvd
I. Core Structure Vacuum system (Basic guarantee for coating) Vacuum chamber Vacuum pump set Vacuum measurement and control. Electron beam system (Energy supply core) Electron emission source Focusing and deflection device Power control module. Evaporation deposition System (Key to film formation) ...
