<
>
Kompaktna wysokoprecyzyjna maszyna do pokrycia wyparzeniowym wiązki elektronów do wszechstronnych zastosowań powłoki optycznej
Kompaktna wysokoprecyzyjna maszyna do pokrycia wyparzeniowym wiązki elektronów do wszechstronnych zastosowań powłoki optycznej
Miejsce pochodzenia:Zhaoqing, Guangdong
Nazwa marki:Zhongda
Orzecznictwo:CE
Minimalna ilość zamówienia:1
Czas dostawy:45-60 dni roboczych
Szczegóły produktu
Podkreślić:
małe urządzenie do parowania wiązki elektronów
,urządzenia PVD do powłoki optycznej
,maszyna do powlekania wiązką elektronów
Control System:
W pełni automatyczny, półautomatyczny, manualny
Coating Process:
Odparowanie próżniowe
Rotation Stand:
2 zestawy
Server:
otwartość
Dimensions:
Około. 2000 mm x 1500 mm x 1800 mm
Cooling Method:
Chłodzenie wodne
Coating Transparency:
Wysoki
Coating Thickness:
Nastawny
Chamber Material:
Stal nierdzewna lub stal węglowa
Pumptype:
Obrotowa pompa łopatkowa + pompa dyfuzyjna
Voltage:
380 V, 50 Hz lub wykonane na zamówienie
Coating Technology:
Odparowanie
Coating Temperature:
Nastawny
Evaporation Power Supply:
1 zestaw
Rotation System:
2 zestawy
Opis produktu
Szczegółowe specyfikacje i cechy
Małe maszyny do pokrycia z parowaniem wiązki elektronów
Podstawowe specyfikacje techniczne
| Kategoria parametrów | Szczegóły |
|---|---|
| Pojemność podłoża | Maksymalny rozmiar: do 6 cali (150 mm); Kompatybilny z płytkami 2 "/4"/6" / komponentami optycznymi; Min rozmiar: 10 × 10 mm |
| Wydajność w próżni | Maksymalna próżnia: ≤ 1×10−6 Torr (1,3×10−4 Pa); Czas pompowania: minuty do 5×10−6 Torr; Prędkość wycieku: 10−3 Pa*L/s (test wycieku) |
| System parowania | Moc wiązki elektronów: 250W-10kW; Liczba tyglików/kieszeni: 4-8; Wsparcie pręta (maksymalnie φ4mm) i surowca tyglika (1-15cc) |
| Kontrola procesów | Temperatura podłoża: RT-500°C (dokładność ±1°C); Prędkość obrotu: 2-20 obrotów/min; Monitor grubości folii: QCM (0,01 nm/s rozdzielczość) |
| Jakość filmu | Jednorodność: ±1%-±3%; Przyczepność: spełnia standard ASTM D3359 4B; Prędkość osadzenia: 0,1-10 nm/s |
| Zgodność | Materiały: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 |
| Wymiary fizyczne | Odcisk: 1-3 × 3,0 m; Wysokość: 2,5 - 3,5 m; Waga: < 800 kg (modele biurowe / stołowe) |
| Zasilanie | Jednorazowa/trójfazowa: 220V/380V, 50/60Hz; zużycie energii: 1,2 kW-10 kW |
Główne zalety
Kompaktny i oszczędny w przestrzeni projekt
- Konstrukcja biurowa/modularna z normą Korvus HEX-800, idealna do zastosowań laboratoryjnych/badawczych
- Łatwa integracja z pudełkami do rękawiczek do procesów w atmosferze obojętnej
- Ograniczenie kosztów instalacji i utrzymania
Wysoce precyzyjne i niezawodne powlekanie
- Technologia skupiania wiązki elektronów umożliwia osadzanie ogniotrwałych metali (Pt, W) i materiałów dielektrycznych
- 0.01nm/s kontrola grubości z jednolitością folii ± 1% (przywódczy w branży dla urządzeń małych rozmiarów)
- Źródło jonów Hall + wstępne czyszczenie plazmy Ar zwiększa przyczepność i gęstość folii (stopień 4B)
- Spełnia wymagania dotyczące wydajności komponentów optycznych (np. folie AR o przepuszczalności > 95%)
Wszechstronna i elastyczna adaptacja procesów
- Wspiera 4-8 tyglików/kieszeni do współparowania wielomateriałów
- Szybkie przełączanie pomiędzy warstwami metalowymi, tlenkowymi i organicznymi (AF/AR/odbijające/ochronne powłoki)
- Kompatybilne z podłożami o średnicy 2-6 cali (wafery, soczewki, włókna optyczne)
- Zastosowalne elementy (kopuła/knudzin/płytka) do komponentów 2D/3D
Inteligentna i przyjazna dla użytkownika obsługa
- System sterowania PLC + ekran dotykowy z monitorowaniem procesu w czasie rzeczywistym
- Biblioteki procesów zaprogramowane do szybkiego ustawienia
- Energooszczędna konstrukcja pompy krypopumpy/pompy molekularnej z zawieszeniem magnetycznym zmniejsza zużycie energii o 30% w porównaniu z tradycyjnymi systemami
Efektywność kosztowa w zakresie badań i rozwoju oraz produkcji w małych partiach
- Niska inwestycja początkowa z wysokim docelowym wskaźnikiem wykorzystania (> 70%) i minimalnym odpadem materiałów
- Odpowiednie do prototypowania do produkcji małych partii (do 10 000 sztuk/rok)
- Wielofunkcyjna integracja (wyparowanie wiązki elektronicznej + opcjonalne rozpylanie) eliminuje potrzebę stosowania wielu urządzeń
Podstawowe funkcje
Precyzyjne ogrzewanie i parowanie
- Wysokoenergetyczne wiązki elektronów bombardują powierzchnie materiału docelowego, ogrzewając je do stanu stopionego lub odparowanego
- Koncentrowana energia i wysoka sprawność cieplna umożliwiają odparowanie materiałów ogniotrwałych (wolfram, molibden, tytan, SiO2, TiO2)
- Unika skażenia materiału docelowego przez źródło ogrzewania
- Wspiera przełączanie materiału wielocielowego (2-6 pozycji kota) do ciągłego odkładania filmów jedno- i wielowarstwowych
Dokładna kontrola grubości folii
- Wbudowany monitor grubości folii kryształowej kwarcu do monitorowania szybkości osadzenia i grubości w czasie rzeczywistym
- Dokładność kontroli na poziomie nanometru (± 0,1 nm) dla ultracienkiej folii funkcjonalnej
- System sterowania programowalny z ustawionymi wcześniej parametrami osadzenia (moc wiązki elektronów, stopień próżni, szybkość osadzenia)
- Automatyczne powlekanie zapewnia spójność warstwy foliowej partii
Gwarancja środowiska o wysokiej próżni
- Pompa mechaniczna + jednostka próżniowa pompy molekularnej zmniejsza próżnię do 10−4~10−6 Pa
- Zmniejsza rozpraszanie się cząsteczek gazu i zanieczyszczenie odparowanych cząstek
- Zapewnia wysoką czystość, dobrą gęstość i silną przyczepność warstw folii
Przystosowanie drobnego przedmiotu do pracy
- Pozostałe maszyny, z wyłączeniem tych objętych pozycją 8528
- Poprawia jednolitość warstwy powłoki na wszystkich podłogach
- Odpowiednie do podłoża o wymiarach od milimetrów do kilkudziesięciu milimetrów (wafery, soczewki optyczne, układy, komponenty czujników)
- Wspiera powłokę mocu powierzchni, arkusza i małych części
Wiadomość do szybkiej odpowiedzi
Powiązane produkty
Niskokosztowa próżniowa maszyna do powlekania optycznego z całkowicie automatyczną kontrolą i technologią powlekania wiązki elektrycznej
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
Optyczna maszyna do pokrywania wiązki elektronów z precyzyjnym monitorowaniem, niestandardowym rozmiarem komory i materiałami pokrywającymi o wysokiej czystości
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
Maszyny do powlekania soczewek optycznych
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
Duże urządzenia do pokrycia optycznego z parowaniem wiązki elektronów do maszyny do pokrycia pvd
I. Core Structure Vacuum system (Basic guarantee for coating) Vacuum chamber Vacuum pump set Vacuum measurement and control. Electron beam system (Energy supply core) Electron emission source Focusing and deflection device Power control module. Evaporation deposition System (Key to film formation) ...
