| Pompa molekularna | 6 zestawów pomp molekularnych |
| Pompa z zaworem suwakowym | Do wyboru 2 zestawy 150L/S, 4 marki |
| Pompa korzeniowa | 1 zestaw model ZJP-1200 |
| System powłokowy | Wiązka elektroniczna: model E240. Tygiel o średnicy 240 mm (5+1 punktów akupunktury), rotacja impulsowa, automatyczny powolny obrót posuwisto-zwrotny, ze wskaźnikiem położenia |
| Źródło jonów | Jeden zestaw źródła jonów Halla (w tym źródło i zasilacz sterujący) |
| Miernik grubości | Sterowanie kryształami 310 za pomocą pojedynczej głowicy sterującej |
| PLC | Mitsubishi |
| Ciśnienie próżniowe | Od atmosfery do 5*10⁻²Pa ≤ 6 minut (bez obciążenia, suche, czyste pomieszczenie) |
| Rozmiar komory | φ2100*1650mm (inne rozmiary: φ1600*1600mm, 600*800mm itp.) |
Skontaktuj się z nami w każdej chwili