| Moleküler Pompa | 6 takım moleküler pompa |
| Sürgülü Vana Pompası | 2 set 150L/S, seçim için 4 marka mevcut |
| Kök Pompası | 1 takım ZJP-1200 modeli |
| Kaplama Sistemi | E-Beam: E240 modeli. 240 mm çaplı pota (5+1 akupunktur noktası), jog rotasyonu, otomatik ileri geri yavaş dönüş, konum göstergeli |
| İyon Kaynağı | Bir set Hall iyon kaynağı (kaynak ve kontrol güç kaynağı dahil) |
| Kalınlık Ölçer | Tek kontrol başlığıyla 310 kristal kontrollü |
| PLC'ler | Mitsubishi |
| Vakum Basıncı | Atmosferden 5*10⁻²Pa'ya ≤ 6 dakika (yüksüz, kuru, temiz oda) |
| Hazne Boyutu | φ2100*1650mm (diğer boyutlar: φ1600*1600mm, 600*800mm vb.) |
Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin