| Molekularpumpe | 6 Sätze Molekularpumpe |
| Schieberpumpe | 2 Sätze mit 150 l/s, 4 Marken zur Auswahl |
| Wurzelpumpe | 1 Satz ZJP-1200 Modell |
| Beschichtungssystem | E-Beam: E240-Modell. Tiegel mit 240 mm Durchmesser (5+1 Akupunkturpunkte), Tipp-Rotation, automatische hin- und hergehende langsame Rotation, mit Positionsanzeige |
| Ionenquelle | Ein Satz Hall-Ionenquellen (einschließlich Quelle und Steuerstromversorgung) |
| Dickenmessgerät | 310 quarzgesteuert mit einem einzigen Steuerkopf |
| SPS | Mitsubishi |
| Vakuumdruck | Von der Atmosphäre auf 5*10⁻²Pa ≤ 6 Minuten (keine Last, trockener, sauberer Raum) |
| Kammergröße | φ2100*1650mm (andere Größen: φ1600*1600mm, 600*800mm usw.) |
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