| Pompa Molecolare | 6 set di pompe molecolari |
| Pompa con valvola a cassetto | 2 set da 150 L/S, 4 marche disponibili a scelta |
| Pompa per radici | 1 set modello ZJP-1200 |
| Sistema di rivestimento | Fascio E: modello E240. Crogiolo diametro 240 mm (5+1 punti terapeutici), rotazione jog, rotazione lenta alternativa automatica, con display di posizione |
| Sorgente ionica | Un set di sorgente ionica Hall (inclusa la sorgente e l'alimentatore di controllo) |
| Misuratore di spessore | 310 controllato al cristallo con un'unica testa di controllo |
| PLC | Mitsubishi |
| Pressione del vuoto | Dall'atmosfera a 5*10⁻²Pa ≤ 6 minuti (senza carico, asciutto, camera pulita) |
| Dimensioni della camera | φ2100*1650mm (altre dimensioni: φ1600*1600mm, 600*800mm ecc.) |
Contattaci in qualsiasi momento