| Bomba Molecular | 6 conjuntos de bomba molecular |
| Bomba de válvula de deslizamento | 2 conjuntos de 150L/S, 4 marcas disponíveis para escolha |
| Bomba de raízes | 1 conjunto modelo ZJP-1200 |
| Sistema de revestimento | E-Beam: modelo E240. Crisol de diâmetro de 240 mm (5+1 pontos de acupuntura), rotação jog, rotação lenta automática, com exibição de posição |
| Fonte de iões | Um conjunto de fontes de iões Hall (incluindo a fonte e a fonte de alimentação de controlo) |
| Medidor de espessura | De potência ≤ 1 kVA |
| PLC | Mitsubishi |
| Pressão no vácuo | De atmosfera a 5*10−2Pa ≤ 6 minutos (sem carga, sala seca e limpa) |
| Tamanho da câmara | φ2100*1650mm (outros tamanhos: φ1600*1600mm, 600*800mm, etc.) |
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