| Pompa Molekuler | 6 set pompa molekul |
| Pompa Slide Valve | 2 set 150L/S, 4 merek tersedia untuk dipilih |
| Pompa Akar | 1 set model ZJP-1200 |
| Sistem Lapisan | E-Beam: model E240. 240mm diameter crucible (5 + 1 acupoints), jog rotasi, otomatis bergantian putaran lambat, dengan tampilan posisi |
| Sumber Ion | Satu set sumber ion Hall (termasuk sumber dan catu daya kontrol) |
| Ketebalan Meter | 310 kontrol kristal dengan kepala kontrol tunggal |
| PLC | Mitsubishi |
| Tekanan vakum | Dari atmosfer hingga 5*10−2Pa ≤ 6 menit (tanpa beban, ruangan kering dan bersih) |
| Ukuran Kamar | φ2100*1650mm (ukuran lain: φ1600*1600mm, 600*800mm dll.) |
Hubungi kami kapan saja