| 分子ポンプ | 分子ポンプ6セット |
| スライドバルブポンプ | 150L/S 2本セット 4銘柄からお選びいただけます |
| ルーツポンプ | 1セット ZJP-1200モデル |
| コーティングシステム | 電子ビーム: E240 モデル。直径240mmるつぼ(5+1ツボ)、ジョグ回転、自動往復低速回転、位置表示付 |
| イオン源 | ホールイオン源一式(イオン源と制御電源を含む) |
| 厚さ計 | 310 は単一のコントロールヘッドでクリスタル制御 |
| PLC | 三菱 |
| 真空圧力 | 大気→5*10⁻²Pa≦6分(無負荷、ドライ、クリーンルーム) |
| チャンバーサイズ | φ2100×1650mm(その他のサイズ:φ1600×1600mm、600×800mmなど) |