| Bomba molecular | 6 juegos de bomba molecular |
| Pampilla de válvula de deslizamiento | 2 juegos de 150L/S, 4 marcas disponibles para elegir |
| Bomba de las raíces | 1 conjunto modelo ZJP-1200 |
| Sistema de recubrimiento | E-Beam: modelo E240. Crisol de 240 mm de diámetro (5 + 1 puntos de acupuntura), rotación de jogging, rotación lenta automática recíproca, con visualización de posición |
| Fuente de iones | Un conjunto de fuente de iones Hall (incluida la fuente y la fuente de alimentación de control) |
| Medidor de espesor | con una capacidad de carga superior a 300 W |
| PLC | - ¿Qué es eso? |
| Presión en el vacío | Desde la atmósfera hasta 5*10−2Pa ≤ 6 minutos (sin carga, sala seca y limpia) |
| Tamaño de la cámara | φ2100*1650mm (otros tamaños: φ1600*1600mm, 600*800mm, etc.) |
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