| Bơm phân tử | 6 bộ bơm phân tử |
| Bơm van trượt | 2 bộ 150L/S, có 4 nhãn hiệu cho bạn lựa chọn |
| Bơm rễ | 1 bộ mô hình ZJP-1200 |
| Hệ thống sơn | Tia điện tử: Model E240. Nồi nấu kim loại có đường kính 240mm (huyệt 5 + 1), xoay chuyển động, quay chậm tự động qua lại, có hiển thị vị trí |
| Nguồn ion | Một bộ nguồn ion Hall (bao gồm nguồn và nguồn điện điều khiển) |
| Máy đo độ dày | 310 được điều khiển bằng tinh thể với một đầu điều khiển duy nhất |
| PLC | Mitsubishi |
| Áp suất chân không | Từ khí quyển đến 5*10⁻²Pa ≤ 6 phút (không tải, phòng khô ráo, sạch sẽ) |
| Kích thước buồng | φ2100*1650mm (các kích thước khác: φ1600*1600mm, 600*800mm, v.v.) |
Liên hệ với chúng tôi bất cứ lúc nào