Thiết bị sơn quang bay hơi tia electron quy mô lớn cho máy sơn pvd

1. Vacuum system (Basic guarantee for coating) Vacuum chamber Vacuum pump set Vacuum measurement and control (Tầm đo và kiểm soát chân không)
2. Hệ thống súng điện tử. Electron emission source Focusing and deflection device Power control module (tài nguyên phát xạ điện tử)
3. Evaporation deposition system (Key to film formation) Hệ thống lắng đọng hơi (Key to film formation) Crucible assembly; Target material fixing device Film thickness monitoring and control Bộ cảm biến lõi.
4. Hệ thống điều khiển (Automation and Precision Assurance) Đơn vị điều khiển chính Mô-đun điều khiển vòng kín Hệ thống bảo vệ an toàn
5. Hệ thống xử lý chất phụ (Enhancing Film Adhesion) Substrate support and rotating mechanism; Substrate heating device Ion bombardment pretreatment module (optional) (Điều kiện hỗ trợ và xoay cơ chế; Thiết bị sưởi ấm chất phụ Ion bombardment pretreatment module (tùy chọn).
6. Hệ thống phụ trợ Hệ thống làm mát; hệ thống kiểm soát khí.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. The coating precision is extremely high and the film layer quality is excellent. Độ chính xác lớp phủ là cực kỳ cao và chất lượng lớp phim là tuyệt vời.
2. Nó có một loạt các vật liệu áp dụng.

   A variety of materials such as evaporable metals (Au, Ag, Al, Ti), alloys (NiCr, TiW), oxides (SiO2, TiO2, Al2O3), sulfides (ZnS), and ceramics.

3. Hiệu suất bay hơi cao và gắn kết lớp phim mạnh
4. Ô nhiễm thấp và tỷ lệ sử dụng cao của các vật liệu mục tiêu
5. Độ tự động cao và hoạt động thuận tiện

1. Optical field (Core application scenarios)
   • Optical lenses: Anti-reflection films (such as SiO2-TiO2 multilayer films), high-reflection films (such as Al+SiO2 protective films), and filter films (such as infrared filter films), và các loại ống kính quang học khác.Ultraviolet cut-off films) được phủ trên ống kính, ống kính, và gương để tăng cường độ truyền ánh sáng, phản xạ, hoặc chọn lọc quang phổ của các thiết bị quang học.
   • Thiết bị hiển thị: phủ các phim dẫn điện trong suốt (như ITO, AZO), phim chống phản xạ và phim cảm ứng trên các chất nền thủy tinh của màn hình LCD, OLED và Micro LED.
   • Thiết bị laser: Các bộ phim phản xạ cao và chống phản xạ được phủ trên khoang cộng hưởng laser và mặt cuối của sợi quang để tối ưu hóa hiệu quả truyền laser.
2. Điện tử và lĩnh vực bán dẫn
   • Thiết bị bán dẫn: Các điện cực kim loại (như Au, Al, Ti) và phim thụ động (như SiO2, Si3N4) được phủ trên chip và wafers để đảm bảo tính dẫn và ổn định của các thiết bị.
   • Electronic components: Coating functional film layers (such as NiCr resistance film, Ta2O5 dielectric film) on capacitors, resistors, and sensors to enhance component performance;
   • Thiết bị lưu trữ từ tính: Lớp phủ phim từ tính (như phim hợp kim CoCrPt) trên đầu đĩa cứng và băng từ tính để tăng khả năng lưu trữ và tốc độ đọc / viết.
3. Không gian và quốc phòng quốc gia lĩnh vực
   • Aerospace components: Coating wear-resistant, corrosion-resistant and UV-resistant film layers for aircraft Windows and satellite optical lenses;Coat the missile seeker with infrared anti-reflection film and stealth film (Bóng trùm tên lửa tìm kiếm với phim chống phản xạ hồng ngoại và phim tàng hình);
   • Thiết bị quốc phòng: phủ lớp phim quang hiệu suất cao cho vũ khí laser và máy dò hồng ngoại để tăng khả năng thích nghi môi trường và hiệu suất chiến đấu của thiết bị.
4. Other high-end fields
   • Thiết bị y tế: phủ lớp phim quang với khả năng tương thích sinh học tốt và khả năng chống nhiễm trùng cho ống kính nhân tạo và ống kính nội soi;
   • Lớp phủ trang trí và chức năng: Lớp phủ các mặt đốm đồng hồ cao cấp và đồ trang sức với các phim trang trí chống oxy hóa và chống mòn (như phim vàng TiN, phim đen Cr);Hard protective films (such as TiN and TiAlN) are coated on cutting tools and molds to extend their service life (Các phim bảo vệ cứng (như TiN và TiAlN) được phủ trên các công cụ và khuôn cắt để kéo dài tuổi thọ.