PVD 코팅 기계용 대형 전자 빔 증발 광 조리 장비

1. 진공 시스템 (부연에 대한 기본 보증) 진공실 진공 펌프 세트 진공 측정 및 제어
2. 전자 총 시스템 (에너지 공급 코어) 전자 방출 소스 집중 및 기울기 장치 전원 제어 모듈
3. 증발 퇴적 시스템 (영상 형성의 열쇠) 용조 조립 장치; 대상 재료 고정 장치 필름 두께 모니터링 및 제어 코어 센서.
4. 제어 시스템 (자동화 및 정확성 보장) 주요 제어 장치 폐쇄 루프 제어 모듈 안전 보호 시스템
5. 기질 처리 시스템 (필름 접착력 증진) 기판 지원 및 회전 메커니즘; 기판 가열 장치 이온 폭격 전처리 모듈 (선택).
6. 보조 시스템 냉각 시스템, 가스 제어 시스템

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. 코팅 정밀도는 매우 높고 필름 레이어 품질은 우수합니다.
2. 그것은 적용 가능한 다양한 재료가 있습니다.

   증발성 금속 (Au, Ag, Al, Ti), 합금 (NiCr, TiW), 산화물 (SiO2, TiO2, Al2O3), 황화물 (ZnS), 세라믹 등 다양한 재료.

3. 높은 증발 효율과 강한 필름 층 접착력
4. 낮은 오염 및 높은 목표 재료 활용률
5. 높은 수준의 자동화 및 편리한 조작

1. 광장 (Core 응용 시나리오)
   • 광 렌즈: 반사 필름 (SiO2-TiO2 다층 필름과 같이), 고 반사 필름 (Al+SiO2 보호 필름과 같이), 필터 필름 (인프라레드 필름과 같이,자외선 절단 필름) 이 렌즈에 코팅됩니다., 프리즘 및 거울은 광 장치의 빛 전달, 반사성 또는 스펙트럼 선택성을 향상시킵니다.
   • 디스플레이 장치: 투명한 전도성 필름 (ITO, AZO 등), 반사 방지 필름 및 LCD, OLED 및 마이크로 LED 디스플레이의 유리 기판에 터치 센싱 필름을 코팅합니다.
   • 레이저 장치: 고 반사 및 반사 방지 필름은 레이저 공명 부피와 광섬유의 끝 면에 레이저 전송 효율을 최적화하기 위해 코팅됩니다.
2. 전자 및 반도체 분야
   • 반도체 장치: 금속 전극 (Au, Al, Ti와 같이) 및 소화 필름 (SiO2, Si3N4와 같이) 은 장치의 전도성과 안정성을 보장하기 위해 칩과 웨이퍼에 코팅됩니다.
   • 전자 부품: 부품 성능을 향상시키기 위해 콘덴서, 저항 및 센서에 기능적 필름 층 (NiCr 저항 필름, Ta2O5 다이 일렉트릭 필름과 같이) 을 코팅한다.
   • 자기 저장 장치: 저장 용량과 읽기/쓰기 속도를 높이기 위해 하드 디스크 헤드와 자기 테이프에 자기 필름 (CoCrPt 합금 필름과 같이) 을 코팅한다.
3. 항공우주 및 국방 분야
   • 항공우주 부품: 항공기 창문 및 위성 광학 렌즈에 착용 저항성, 진식 저항성 및 자외선 저항성 필름 층을 코팅합니다.미사일 탐지기를 적외선 반사 필름과 스텔스 필름으로 덮어;
   • 국방장비: 레이저 무기 및 적외선 탐지기에 고성능 광학 필름 층을 코팅하여 장비의 환경 적응력과 전투 성능을 향상시킵니다.
4. 다른 고급 분야
   • 의료기기: 인공 렌즈 및 내시경 렌즈에 대한 좋은 생체 호환성 및 살균 저항성을 가진 광학 필름 층을 코팅합니다.
   • 장식 및 기능성 코팅: 고품질 시계 다이얼과 보석을 마모 저항 및 산화 방지 장식 필름 (TiN 금 필름, Cr 검은 필름 등) 으로 코팅합니다.단단한 보호 필름 (TiN 및 TiAlN와 같은) 은 절단 도구 및 폼에 적용되어 사용 수명을 연장합니다..