Apparecchiature di rivestimento ottico a vapore di fasci di elettroni su larga scala per macchine di rivestimento in pvd

1. Sistema a vuoto (garanzia di base per il rivestimento) Camera a vuoto Set di pompe a vuoto Misurazione e controllo del vuoto.
2. Sistema di pistole elettroniche (nucleo di alimentazione energetica) Fonte di emissione elettronica Dispositivo di messa a fuoco e deflessione Modulo di controllo di potenza.
3. Sistema di deposizione per evaporazione (chiave per la formazione di pellicole) Dispositivo di fissaggio del materiale bersaglio Monitoraggio e controllo dello spessore del film Sensore di base.
4. Sistema di controllo (automazione e garanzia della precisione) Unità di controllo principale Modulo di controllo a circuito chiuso Sistema di protezione della sicurezza.
5. Sistema di trattamento del substrato (miglioramento dell'aderenza della pellicola) Supporto del substrato e meccanismo di rotazione; dispositivo di riscaldamento del substrato, modulo di pretrattamento per il bombardamento ionico (facoltativo).
6. Sistema ausiliario Sistema di raffreddamento; sistema di controllo del gas.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. La precisione del rivestimento è estremamente elevata e la qualità dello strato di film è eccellente
2. Ha una vasta gamma di materiali applicabili

   Una varietà di materiali quali metalli evaporabili (Au, Ag, Al, Ti), leghe (NiCr, TiW), ossidi (SiO2, TiO2, Al2O3), solfuri (ZnS) e ceramiche.

3. Alta efficienza di evaporazione e forte adesione dello strato di film
4. Basso inquinamento e elevato tasso di utilizzazione dei materiali bersaglio
5. Alto grado di automazione e comodo utilizzo

1. Campo ottico (scenari di applicazione di base)
   • Lenti ottiche: film antiriflesso (come film multilivello SiO2-TiO2), film ad alta riflessione (come film protettivi Al+SiO2) e film filtro (come film filtro a infrarossi,le lenti sono rivestite da film di taglio ultravioletti), prismi e specchi per migliorare la trasmittanza della luce, la riflettività o la selettività spettrale dei dispositivi ottici.
   • Dispositivi di visualizzazione: rivestimento di pellicole conducenti trasparenti (come ITO, AZO), pellicole antiriflesso e pellicole sensori tattili sui substrati di vetro dei display LCD, OLED e Micro LED.
   • Dispositivi laser: film ad alto riflesso e antiriflesso sono rivestiti sulla cavità di risonanza laser e sulla faccia finale della fibra ottica per ottimizzare l'efficienza della trasmissione laser.
2. Settore dell'elettronica e dei semiconduttori
   • Dispositivi semiconduttori: gli elettrodi metallici (come Au, Al, Ti) e i film di passivazione (come SiO2, Si3N4) sono rivestiti su chip e wafer per garantire la conduttività e la stabilità dei dispositivi.
   • componenti elettronici: rivestimento di strati di film funzionali (come film resistente NiCr, film dielettrico Ta2O5) su condensatori, resistori e sensori per migliorare le prestazioni dei componenti;
   • Dispositivi di archiviazione magnetica: rivestimento di pellicole magnetiche (come pellicole in lega CoCrPt) sulle testate dei dischi rigidi e sui nastri magnetici per aumentare la capacità di archiviazione e la velocità di lettura/scrittura.
3. Aerospaziale e difesa nazionale
   • Componenti aerospaziali: rivestimento di strati di pellicole resistenti all'usura, alla corrosione e ai raggi UV per finestre di aeromobili e lenti ottiche satellitari;Rivestire il mirino di missili con pellicola antiriflesso a infrarossi e pellicola furtiva;
   • Attrezzature di difesa nazionale: rivestimento di strati di film ottico ad alte prestazioni per armi laser e rilevatori a infrarossi per migliorare l'adattabilità ambientale e le prestazioni di combattimento dell'attrezzatura.
4. Altri campi di fascia alta
   • Dispositivi medici: rivestimento di strati di pellicole ottiche con buona biocompatibilità e resistenza alla disinfezione per lenti artificiali e lenti endoscopiche;
   • Rivestimento decorativo e funzionale: rivestimento di quadranti e gioielli di orologi di fascia alta con pellicole decorative resistenti all'usura e antiossidanti (come pellicola oro TiN, pellicola nera Cr);Le pellicole protettive dure (come TiN e TiAlN) sono rivestite su utensili da taglio e stampi per prolungare la loro vita utile.