大規模な電子ビーム蒸発光学コーティング機器

1. バキュムシステム (コーティングの基本保証) 真空室 真空ポンプセット 真空測定と制御
2. 電子銃システム (エネルギー供給コア) 電子発射源 焦点と偏向装置 パワー制御モジュール
3. 蒸発堆積システム (フィルム形成の鍵) ターゲットの材料固定装置 フィルム厚さの監視と制御 核センサー
4. 制御システム (自動化と精度保証) 主制御ユニット 閉ループ制御モジュール 安全保護システム
5. 基板処理システム (フィルム粘着性を強化する) 基板の支えと回転メカニズム;基板の加熱装置 離子爆撃予処理モジュール (オプション)
6. 補助システム 冷却システム ガスの制御システム

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. コーティングの精度は非常に高く,フィルム層の質は優れています
2. 適用可能な材料の範囲が広い

   蒸発可能な金属 (Au, Ag, Al, Ti),合金 (NiCr, TiW),酸化物 (SiO2, TiO2, Al2O3),硫化物 (ZnS),陶器など様々な材料.

3. 高蒸発効率と強いフィルム層粘着性
4. 対象材料の低汚染と高い利用率
5. 高度な自動化と便利な操作

1. 光場 (コアアプリケーションシナリオ)
   • 光学レンズ:反射フィルム (SiO2-TiO2多層フィルムなど),高反射フィルム (Al+SiO2保護フィルムなど),フィルターフィルム (赤外線フィルムなど),紫外線切断フィルム) がレンズに覆われています.光学装置の光伝達性,反射性,またはスペクトル選択性を高めるためのプリズム,鏡.
   • ディスプレイ装置:LCD,OLED,Micro LEDディスプレイのガラス基板に透明な導電フィルム (ITO,AZOなど),反射フィルム,触覚センサーフィルムを塗装する.
   • レーザー装置:高反射性および反反射性フィルムはレーザー共鳴孔と光ファイバーの端面にコーティングされ,レーザー送信効率を最適化します.
2. エレクトロニクスと半導体分野
   • 半導体装置:金属電極 (Au,Al,Tiなど) と消化フィルム (SiO2,Si3N4など) がチップやウエファーにコーティングされ,装置の伝導性と安定性を保証する.
   • 電子部品:コンデンサ,レジスタ,センサーに機能性フィルム層 (NiCr抵抗フィルム,Ta2O5ダイレクトフィルムなど) を塗り,部品の性能を向上させる.
   • 磁気記憶装置: 磁気フィルム (CoCrPt合金フィルムなど) をハードディスクヘッドや磁気テープに塗り,記憶容量と読み書き速度を向上させる.
3. 航空宇宙及び国防分野
   • 航空宇宙部品: 航空機の窓や衛星光学レンズの耐着,耐腐蝕,UV耐性フィルム層を塗装する.赤外線反射フィルムとステルスフィルムでミサイル探知器を覆う;
   • 国防装備:レーザー兵器や赤外線検出器の高性能光学フィルム層を塗装し,装備の環境適応性と戦闘性能を向上させる.
4. 他の高級分野
   • 医療機器: 人工レンズと内視鏡レンズに 良質な生物互換性と消毒耐性を有する光学フィルム層を塗装する
   • 装飾用および機能用コーティング: 高級時計のダイヤルや宝石を耐着性や抗酸化性装飾フィルム (チアンゴールドフィルム,Crブラックフィルムなど) でコーティングする硬い保護フィルム (TiN や TiAlN など) は,切削ツールや模具に塗布され,使用期間を延長する.