Grootschalige optische coatingapparatuur voor elektronenstraal verdamping voor pvd-coatingmachines

1. Vacuümsysteem (Basisgarantie voor de coating) Vacuümkamer Vacuümpompset Vacuümmeting en -controle.
2. Elektronenpistoolsysteem (energievoorzieningskern) Elektronenemissiebron Focus- en afbuigingsinrichting Power control module.
3. Verdampingsdepositiesysteem (sleutel tot filmvorming) Ontwikkeling van een smeltkroes; bevestigingsinrichting voor het doelmateriaal, controle en controle van de filmdikte, kernsensor.
4. Beheersysteem (automatisering en precisieverzekering) Hoofdbesturingseenheid Beheersmodule in gesloten kring Veiligheidsbeveiligingssysteem.
5. Substraatbehandeling (verbetering van de filmhaarheid) Substraatondersteuning en rotatiemechanisme; substraatverwarmingsapparaat Ionbombardement voorbehandeling module (optioneel).
6. Hulpsysteem Koelsysteem; gasregelsysteem.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. De precisie van de coating is extreem hoog en de kwaliteit van de filmlaag is uitstekend
2. Het heeft een breed scala aan toepasselijke materialen

   Een verscheidenheid aan materialen zoals verdampbare metalen (Au, Ag, Al, Ti), legeringen (NiCr, TiW), oxiden (SiO2, TiO2, Al2O3), sulfiden (ZnS) en keramiek.

3. Hoge verdampingsefficiëntie en sterke filmlaagadhesie
4. Lage verontreiniging en hoge benutting van de beoogde materialen
5. Hoge mate van automatisering en handige bediening

1. Optisch veld (Core-toepassingsscenario's)
   • Optische lenzen: antireflectiefilms (zoals SiO2-TiO2-meerlaagfilms), hoogreflectiefilms (zoals Al+SiO2-beschermingsfilms) en filterfilms (zoals infraroodfilterfilms,Ultraviolette afschermingsfilms) zijn gecoat op de lenzen, prisma's en spiegels om de lichtdoorstraling, reflectie of spectrale selectiviteit van optische apparaten te verbeteren.
   • Displayapparaten: coating van transparante geleidende films (zoals ITO, AZO), antireflectieve films en touch-sensing films op de glazen substraten van LCD-, OLED- en Micro LED-displays.
   • Laserapparaten: op de laserresonantieholte en het eindvlak van de glasvezel worden hoogreflectieve en antireflectieve films gecoat om de efficiëntie van de lasertransmissie te optimaliseren.
2. Elektronica en halfgeleiders
   • Halvegeleiderapparaten: Metalen elektroden (zoals Au, Al, Ti) en passivatiefilms (zoals SiO2, Si3N4) worden op chips en wafers gecoat om de geleidbaarheid en stabiliteit van de apparaten te waarborgen.
   • Elektronische componenten: het coachen van functionele filmlagen (zoals NiCr-weerstandsfilm, Ta2O5-diëlektrische film) op condensatoren, weerstanden en sensoren om de prestaties van de componenten te verbeteren;
   • Magnetische opslagapparatuur: het coachen van magnetische films (zoals CoCrPt-legeringsfilms) op harde schijfkoppen en magnetische banden om de opslagcapaciteit en de lees/schrijfsnelheid te verhogen.
3. Luchtvaart en nationale defensie
   • Aerospacecomponenten: coating slijtvast, corrosiebestendig en UV-bestendige filmlagen voor vliegtuigvensters en satellietoptische lenzen;De missieleider bedekt met infrarood anti-reflectie film en stealth film.;
   • Nationale defensieapparatuur: coating van hoogwaardige optische filmlagen voor laserwapens en infrarooddetectoren om de aanpassingsvermogen en gevechtsprestaties van de apparatuur aan het milieu te verbeteren.
4. Andere hoogwaardige velden
   • Medische hulpmiddelen: coating optische filmlagen met een goede biocompatibiliteit en desinfectiebestandheid voor kunstlenzen en endoscooplenzen;
   • decoratieve en functionele coating: het coachen van hoogwaardige horlogekoppelingen en sieraden met slijtvast en anti-oxidatieve decoratieve films (zoals TiN-goudfilm, Cr-zwartfilm);Harde beschermende films (zoals TiN en TiAlN) worden op snijgereedschappen en vormen gecoat om hun levensduur te verlengen.