<
>
Compacte hoogprecise elektronenstraal verdamping coating machine voor veelzijdige optische coating toepassingen
Compacte hoogprecise elektronenstraal verdamping coating machine voor veelzijdige optische coating toepassingen
Plaats van herkomst:Zhaoqing, Guangdong
Merknaam:Zhongda
Certificering:CE
Minimale bestelhoeveelheid:1
Levertijd:45-60 Werkdagen
Productdetails
Markeren:
kleine elektronenbundelverdampingsmachine
,optische coating PVD-apparatuur
,electronenbundel coatingmachine
Control System:
Full Auto, Semi Auto, Handmatig
Coating Process:
Vacuümverdamping
Rotation Stand:
2 sets
Server:
openheid
Dimensions:
Ongeveer. 2000 mm x 1500 mm x 1800 mm
Cooling Method:
Waterkoeling
Coating Transparency:
Hoog
Coating Thickness:
Verstelbaar
Chamber Material:
Roestvrij staal of koolstofstaal
Pumptype:
Draaischuifpomp + diffusiepomp
Voltage:
380V, 50Hz of op maat gemaakt
Coating Technology:
Verdamping
Coating Temperature:
Verstelbaar
Evaporation Power Supply:
1 set
Rotation System:
2 sets
Productbeschrijving
Gedetailleerde specificaties en kenmerken
Kleine elektronenstraal verdamping coating machines
Kerntechnische specificaties
| Parametercategorie | Detail |
|---|---|
| Substraatcapaciteit | Maximale grootte: maximaal 6 inch (150 mm); compatibel met 2"/4"/6" wafers/optische componenten; minimale grootte: 10×10 mm |
| Vacuümprestaties | Ultieme vacuüm: ≤ 1×10−6 Torr (1,3×10−4 Pa); pomptijd: minuten tot 5×10−6 Torr; lekkagesnelheid: 10−3 Pa*L/s (lekketest) |
| Verdampingssysteem | Elektronenstraalvermogen: 250W-10kW; Aantal smeltkroesjes/zakken: 4-8; Steunstaaf (max φ4mm) & smeltkroes (1-15cc) grondstof |
| Procescontrole | Temperatuur van het substraat: RT-500°C (nauwkeurigheid ±1°C); rotatiesnelheid: 2-20 t/min; filmdikte monitor: QCM (0,01 nm/s resolutie) |
| Filmkwaliteit | Uniformiteit: ±1%-±3%; hechting: voldoet aan ASTM D3359 4B-norm; afzetsnelheid: 0,1-10 nm/s |
| Verenigbaarheid | Materialen: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (ondersteunt AR/AF/reflecterende films) |
| Fysieke afmetingen | Voetafdruk: 1-3 × 3,0 m; Hoogte: 2,5 - 3,5 m; Gewicht: < 800 kg (desktop-/tafeltopmodellen) |
| Stroomvoorziening | Een-/driefasig: 220V/380V, 50/60Hz; stroomverbruik: 1,2 kW-10 kW |
Belangrijkste voordelen
Compact en ruimtebesparend ontwerp
- Desktop/module structuur met Korvus HEX-800-standaard, ideaal voor laboratorium/onderzoeksomgevingen
- Eenvoudige integratie met handschoenen voor processen in een inerte atmosfeer
- Lichte constructie en vervanging van gereedschapsvrije modules verminderen installatie- en onderhoudskosten
Hoge precisie en betrouwbare coating
- Elektronenstraalfocustechnologie maakt afzetting van vuurvaste metalen (Pt, W) en dielectrische materialen mogelijk
- 0.01nm/s diktecontrole met filmuniformiteit ±1% (industrieleidend voor kleinschalige apparatuur)
- Hall-ionbron + Ar-plasma-pre-reiniging verbetert de filmslijm (4B-klasse) en dichtheid
- Voldoet aan de prestatie-eisen van optische componenten (bijv. AR-films met een doorlaatbaarheid van > 95%)
Veelzijdige en flexibele aanpassing van het proces
- Ondersteunt 4-8 kogels/zakken voor co-verdamping met meerdere materialen
- Snel wisselen tussen metaal-, oxide- en organische folies (AF/AR/reflecterende/beschermende coatings)
- met een breedte van niet meer dan 50 mm
- Aanpasbare armaturen (koepel/knudzin/plaat) voor 2D/3D-componenten
Intelligente en gebruiksvriendelijke werking
- PLC + touchscreen besturingssysteem met realtime procesbewaking
- Vooraf geprogrammeerde procesbibliotheken voor snelle installatie
- Energiezuinige cryopomp/magnetische moleculaire suspensiepomp ontwerpen vermindert het stroomverbruik met 30% ten opzichte van traditionele systemen
Kosteneffectief voor O&O en kleine productie
- Lage initiële investering met een hoog doelgebruik (>70%) en minimaal materiaalverspilling
- Geschikt voor het maken van prototypes en voor de productie van kleine partijen (tot 10.000 stuks per jaar)
- Multifunctionele integratie (e-beam verdamping + sputtering optie) maakt het niet nodig om meerdere apparaten te gebruiken
Kernfuncties
Precieze verwarming en verdamping
- Hoogenergetische elektronenstralen bombarderen het oppervlak van het doelmateriaal en verwarmen het tot gesmolten of verdampte toestand
- Geconcentreerde energie en een hoog thermisch rendement maken het mogelijk vuurvaste materialen (wolfram, molybdeen, titanium, SiO2, TiO2) te verdampen
- Vermijdt verontreiniging van het doelmateriaal door verwarmingsbron
- Ondersteunt het schakelen van meerdere doelmaterialen (2-6 smeltplaatsen) voor continue afzetting van eenlaagse en meerlaagse films
Precieze controle van de filmdikte
- Ingebouwde kwartskristalfolie-dikte-monitor voor real-time opslag- en diktebewaking
- Beheersnauwkeurigheid tot het nanometerniveau (± 0,1 nm) voor ultradunne functionele folies
- Programmeerbaar besturingssysteem met vooraf ingestelde afzetsparameters (elektronenstraalvermogen, vacuümgraad, afzetsnelheid)
- Automatische coating zorgt voor de consistentie van de filmlaag van de partij
Garantie voor een hoge vacuümomgeving
- Mechanische pomp + moleculaire pomp vacuüm eenheid vermindert de holte tot 10−4~10−6 Pa hoge vacuüm omgeving
- Vermindert het verspreiden van gasmoleculen en de besmetting van verdampte deeltjes
- Zorgt ervoor dat filmlagen een hoge zuiverheid, een goede dichtheid en een sterke hechting hebben
Aanpassing van kleine werkstukken
- speciaal ontworpen voor kleine werkstukken met draaiende werkstuktafel
- Verbetert de uniformiteit van de coatingschaal over de substraten heen
- Geschikt voor substraten van millimeter tot tientallen millimeter (wafers, optische lenzen, chips, sensorcomponenten)
- Ondersteunt coating van oppervlaktebevestiging, plaat en kleine onderdelen
Bericht voor snelle reactie
Gerelateerde producten
Goedkope vacuümoptische coatingsmachine met volledig automatische besturing en E-beam coating technologie
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
Coatingmachine met optische elektronenbundel met nauwkeurige monitoring, op maat gemaakte kamergrootte en coatingmaterialen met hoge zuiverheid
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
Machines voor het coachen van optische lenzen Elektronenstraal vacuümcoaters voor het coachen van metalen lenzen
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
Grootschalige optische coatingapparatuur voor elektronenstraal verdamping voor pvd-coatingmachines
I. Core Structure Vacuum system (Basic guarantee for coating) Vacuum chamber Vacuum pump set Vacuum measurement and control. Electron beam system (Energy supply core) Electron emission source Focusing and deflection device Power control module. Evaporation deposition System (Key to film formation) ...
