<
>
Mesin Lapisan Evaporasi Sinar Elektron Presisi Tinggi yang Kompak untuk Aplikasi Lapisan Optik Serbaguna
Mesin Lapisan Evaporasi Sinar Elektron Presisi Tinggi yang Kompak untuk Aplikasi Lapisan Optik Serbaguna
Tempat Asal:Zhaoqing, Guangdong
Nama Merek:Zhongda
Sertifikasi:CE
Jumlah Pesanan Minimum:1
Waktu Pengiriman:45-60 hari kerja
Detail Produk
Menyoroti:
mesin penguapan sinar elektron kecil
,Peralatan PVD pelapis optik
,mesin pelapis berkas elektron
Control System:
Full Otomatis, Semi Otomatis, Manual
Coating Process:
Penguapan Vakum
Rotation Stand:
2 Set
Server:
openresty
Dimensions:
Kira-kira. 2000mmx1500mmx1800mm
Cooling Method:
Pendinginan Air
Coating Transparency:
Tinggi
Coating Thickness:
Dapat disesuaikan
Chamber Material:
Baja Tahan Karat Atau Baja Karbon
Pumptype:
Pompa baling-baling putar + pompa difusi
Voltage:
380V, 50Hz atau Dibuat Khusus
Coating Technology:
Penguapan
Coating Temperature:
Dapat disesuaikan
Evaporation Power Supply:
1 set
Rotation System:
2 Set
Deskripsi produk
Spesifikasi & Fitur Detail
Mesin Lapisan Evaporasi Sinar Elektron Kecil
Spesifikasi Teknis Inti
| Kategori parameter | Rincian |
|---|---|
| Kapasitas substrat | Ukuran maksimum: Hingga 6 inci (150mm); Kompatibel dengan wafer 2 "/4"/6" / komponen optik; Ukuran minimum: 10 × 10mm |
| Kinerja vakum | Vakum akhir: ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa); Waktu pompa: menit sampai 5×10−6 Torr; Tingkat kebocoran: 10−3 Pa*L/s (Uji kebocoran) |
| Sistem penguapan | Kekuatan sinar elektron: 250W-10kW; Jumlah crepiles / kantong: 4-8; Dukungan batang (max φ4mm) & crepiles (1-15cc) bahan baku |
| Pengendalian Proses | Suhu substrat: RT-500°C (tekanan ±1°C); Kecepatan rotasi: 2-20 rpm; Monitor ketebalan film: QCM (0,01 nm/s resolusi) |
| Kualitas Film | Keseragaman: ± 1%-± 3%; Adhesi: Memenuhi standar ASTM D3359 4B; Kecepatan deposisi: 0,1-10 nm/s |
| Kompatibilitas | Bahan: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (mendukung film AR/AF/reflektif) |
| Dimensi Fisik | Jejak kaki: 1-3.3×3.0m; Tinggi: 2.5-3.5m; Berat: <800kg (model desktop/tabletop) |
| Sumber Daya | Single/Three-phase: 220V/380V, 50/60Hz; Konsumsi daya: 1.2kW-10kW |
Keuntungan Utama
Desain yang Kompak & Menghemat Ruang
- Struktur desktop/modular dengan standar Korvus HEX-800, ideal untuk pengaturan laboratorium/penelitian
- Integrasi mudah dengan kotak sarung tangan untuk proses atmosfer inert
- Konstruksi ringan dan penggantian modul bebas alat mengurangi biaya instalasi dan pemeliharaan
Lapisan yang Tepat dan Dapat Diandalkan
- Teknologi fokus sinar elektron memungkinkan deposisi logam tahan api (Pt, W) dan bahan dielektrik
- 0.01nm/s kontrol ketebalan dengan film seragam ± 1% (industri terkemuka untuk peralatan skala kecil)
- Sumber ion Hall + pra-pembersihan plasma Ar meningkatkan adhesi film (kelas 4B) dan kepadatan
- Memenuhi persyaratan kinerja komponen optik (misalnya, film AR dengan transmisi > 95%)
Adaptasi Proses yang Serbaguna & Fleksibel
- Mendukung 4-8 crucible/poket untuk ko-evaporasi multi-bahan
- Pergeseran cepat antara logam, oksida, dan film organik (AF/AR/penyingkiran reflektif/pelindung)
- Kompatibel dengan substrat 2"-6" (wafer, lensa, serat optik)
- Perlengkapan yang dapat disesuaikan (kubah/knudzin/plat) untuk komponen 2D/3D
Operasi cerdas & user-friendly
- Sistem kontrol PLC + layar sentuh dengan pemantauan proses real-time
- Perpustakaan proses yang telah diprogram sebelumnya untuk pengaturan cepat
- Desain cryopump / suspensi molekul magnetik yang hemat energi mengurangi konsumsi daya sebesar 30% dibandingkan dengan sistem tradisional
Biaya-efektif untuk R&D & produksi batch kecil
- Investasi awal yang rendah dengan target tingkat pemanfaatan yang tinggi (> 70%) dan limbah material yang minimal
- Cocok untuk pembuatan prototipe untuk pembuatan batch kecil (hingga 10.000 buah/tahun)
- Integrasi multi-fungsi (e-beam evaporation + sputtering opsional) menghilangkan kebutuhan untuk beberapa perangkat
Fungsi Utama
Pemanasan dan penguapan yang Tepat
- Sinar elektron bertenaga tinggi membombardir permukaan material target, memanaskannya hingga cair atau menguap
- Energi terkonsentrasi dan efisiensi termal yang tinggi memungkinkan penguapan bahan tahan api (tungsten, molibdenum, titanium, SiO2, TiO2)
- Menghindari kontaminasi bahan target oleh sumber pemanasan
- Mendukung multi-target material switching (2-6 posisi crucible) untuk deposit terus-menerus film single-layer dan multi-layer
Pengendalian Ketebalan Film yang Tepat
- Monitor ketebalan film kristal kuarsa built-in untuk pemantauan laju deposisi dan ketebalan secara real time
- Keakuratan kontrol ke tingkat nanometer (± 0,1nm) untuk film fungsional ultra-tipis
- Sistem kontrol yang dapat diprogram dengan parameter deposisi yang telah ditetapkan sebelumnya (kekuatan sinar elektron, derajat vakum, laju deposisi)
- Lapisan otomatis memastikan konsistensi lapisan film batch
Jaminan Lingkungan Vakum Tinggi
- Pompa mekanik + molekul pompa vakum unit mengurangi rongga untuk 10−4 ~ 10−6 Pa lingkungan vakum tinggi
- Mengurangi penyebaran molekul gas dan kontaminasi partikel yang menguap
- Memastikan lapisan film memiliki kemurnian tinggi, kepadatan yang baik dan adhesi yang kuat
Adaptasi Bagian Kerja Berukuran Kecil
- Dirancang khusus untuk benda kerja kecil dengan meja benda kerja putar
- Meningkatkan keseragaman lapisan lapisan di seluruh substrat
- Cocok untuk substrat mulai dari milimeter hingga puluhan milimeter (wafer, lensa optik, chip, komponen sensor)
- Mendukung lapisan permukaan, lembaran, dan bagian kecil
Pesan untuk balasan cepat
Produk Terkait
Low Cost Vacuum Optical Coating Machine dengan kontrol otomatis penuh dan teknologi E-Beam Coating
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
Mesin Lapisan Sinar Elektron Optik dengan Pemantauan yang Tepat, Ukuran Kamar yang Disesuaikan, dan Bahan Lapisan Kemurnian Tinggi
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
Mesin Lapisan Lensa Optik Lapisan vakum sinar elektron untuk Lapisan Lensa Logam
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
Peralatan pelapis optik evaporasi sinar elektron berskala besar untuk mesin pelapis pvd
I. Core Structure Vacuum system (Basic guarantee for coating) Vacuum chamber Vacuum pump set Vacuum measurement and control. Electron beam system (Energy supply core) Electron emission source Focusing and deflection device Power control module. Evaporation deposition System (Key to film formation) ...
