Rumah
>
Produk
>
Mesin Lapisan Senapan Elektron Optik
>
Mesin pelapisan penguapan berkas elektron annular electron gun disesuaikan untuk kebutuhan pelanggan
|
Mesin pelapisan penguapan berkas elektron annular electron gun disesuaikan untuk kebutuhan pelanggan
| Tempat asal | Guangdong |
| Nama merek | Lion King |
| Sertifikasi | CE |
Detail Produk
Substrat Coating:
Logam, kaca, keramik, plastik
Aplikasi Pelapisan:
Dekoratif, fungsional, pelindung
Ukuran Mesin:
Dapat disesuaikan
Dudukan rotasi:
2 set
Bahan Penguapan:
Logam, Paduan, Bahan Organik
Sistem pendingin:
Pendingin air
Materi film pelapis:
Au, Ag, Al, Cu, SiO2, dll.
Ukuran ruang pelapis:
Disesuaikan
Efisiensi Pelapisan:
Tinggi
Tingkat Deposisi:
Cepat
Tingkat kekosongan:
Kekosongan tinggi
Ukuran pelapis:
Dapat disesuaikan
Cara operasi:
Layar sentuh
Suhu pelapis:
≤200 ℃
Periode jaminan:
1 tahun
Modus Operasi:
Manual/otomatis
Tingkat deposisi pelapis:
Dapat disesuaikan
Menyoroti:
Mesin penguapan berkas elektron kustom
,Peralatan pelapisan annular electron gun
,Sistem pelapisan electron gun optik
Syarat Pembayaran & Pengiriman
Kuantitas min Order
1
Waktu pengiriman
45-60 hari kerja
Deskripsi produk
I. Komposisi Struktural
- Sistem senjata elektron annular: filamen annular (katoda), anoda, koil pemfokus, koil defleksi; Katoda annular memancarkan elektron panas, yang dipercepat oleh medan listrik dan difokuskan serta didefleksi oleh medan magnet, secara tepat membombardir material di dalam wadah.
- Sistem vakum: ruang vakum, pompa mekanik, pompa molekuler/pompa kriogenik. Vakum tertinggi biasanya mencapai 10⁻⁴ hingga 10⁻⁶ Pa, mengurangi tumbukan fase gas dan kontaminasi.
- Sumber penguapan dan wadah: Wadah tembaga berpendingin air untuk mencegah penguapan dan reaksi material wadah serta meningkatkan kemurnian lapisan film; Mendukung pengalihan multi-stasiun dan deposisi film multi-lapis.
- Tahap substrat: Dapat dipanaskan/didinginkan dengan air, dan dapat berputar mengelilingi matahari/pada porosnya sendiri untuk memastikan ketebalan film yang seragam.
- Sistem kontrol: Catu daya tegangan tinggi, kontrol berkas, pemantauan ketebalan film (osilator kristal), pengukur vakum dan program otomatisasi, mencapai kontrol loop tertutup dari parameter.
Ii. Prinsip Kerja
- Pembangkitan dan percepatan berkas elektron: Ketika filamen toroidal dialiri listrik, ia memancarkan elektron panas, yang dipercepat oleh medan listrik tegangan tinggi 5-10 kV untuk mencapai energi tinggi.
- Pemfokusan dan defleksi: Koil elektromagnetik memfokuskan dan mendefleksikan berkas elektron ke permukaan material target di dalam wadah, dengan kepadatan energi yang dapat mencapai 10⁶ hingga 10⁷ W/cm².
- Penguapan dan deposisi: Energi kinetik berkas elektron diubah menjadi energi termal, dan material target dengan cepat memanas hingga titik penguapan dan menguap. Atom/molekul fase gas diangkut dalam garis lurus ke substrat di bawah vakum tinggi dan mengembun untuk membentuk film yang seragam.
- Kontrol proses: Pemantauan real-time laju deposisi dan ketebalan film, penyesuaian dinamis arus berkas dan daya untuk memastikan stabilitas proses.
Iii. Fitur Inti
- Kepadatan energi tinggi: Suhu lokal dapat mencapai 3000-6000℃, dan dapat menguapkan material titik leleh tinggi seperti tungsten, molibdenum, dan SiO₂.
- Polusi sangat rendah: Wadah berpendingin air mengurangi polusi wadah, dan kemurnian lapisan film dapat mencapai lebih dari 99,99%.
- Efisiensi dan laju: Efisiensi termal tinggi, laju deposisi 0,1-100 nm/s, menyeimbangkan efisiensi dan kualitas film.
- Proses fleksibel: Pengalihan multi-wadah mendukung film multi-lapis. Pemanasan/rotasi substrat meningkatkan kekompakan dan adhesi lapisan film.
Iv. Keuntungan
- Adaptasi material yang luas: Kompatibel dengan logam, paduan, oksida, semikonduktor, dll., terutama cocok untuk material refraktori.
- Kualitas lapisan film sangat baik: kemurnian tinggi, kerapatan yang baik, dan adhesi yang kuat, memenuhi persyaratan perangkat optik dan elektronik presisi tinggi.
- Efektivitas biaya: Tingkat pemanfaatan material yang tinggi, konsumsi energi terkonsentrasi pada material target, dan biaya operasional jangka panjang yang lebih rendah.
- Tingkat otomatisasi yang tinggi: Parameter dapat dikontrol secara presisi dengan pengulangan yang baik, membuatnya cocok untuk penelitian ilmiah dan produksi massal.
V. Aplikasi Khas
- Film optik: film anti-refleksi (AR), film refleksi tinggi, filter, pemisah berkas, digunakan dalam kacamata, kamera, perangkat laser, sel fotovoltaik.
- Semikonduktor dan Mikroelektronika: Elektroda logam (Al, Cu), lapisan dielektrik (SiO₂, Si₃N₄), film sensor.
- Lapisan fungsional: film dekoratif, film konduktif (ITO), lapisan tahan korosi/tahan aus, diterapkan di dirgantara, perkakas, dan elektronik konsumen.
- Penelitian ilmiah dan produksi skala kecil: Persiapan material untuk universitas dan lembaga penelitian, serta film khusus untuk MEMS, perangkat biomedis, dll.
Produk yang Direkomendasikan
Hubungi kami kapan saja
18207198662
Jalan Lantang Selatan, Daerah Duanzhou, kota Zhaoqing, Guangdong 526060 Cina
