Halkalı elektron tabancası elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştir
Halkalı elektron tabancası elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştir
Menşe yeri
Guangdong
Marka adı
Lion King
Sertifika
CE
Ürün detayları
Kaplama alt tabakası:
Metal, cam, seramik, plastik
Kaplama uygulaması:
Dekoratif, işlevsel, koruyucu
Makine Boyutu:
Özelleştirilebilir
Rotasyon standı:
2 set
Buharlaşma Malzemesi:
Metal, Alaşım, Organik Malzemeler
Soğutma sistemi:
Su soğutma
Kaplama filmi malzemesi:
Au, Ag, Al, Cu, SiO2, vb.
Kaplama Odası Boyutu:
Özelleştirilmiş
Kaplama Verimliliği:
Yüksek
Biriktirme Oranı:
Hızlı
Vakum seviyesi:
Yüksek vakum
Kaplama boyutu:
Özelleştirilebilir
Operasyon yolu:
Dokunmatik Ekran
Kaplama sıcaklığı:
≤200 ℃
Garanti Dönemi:
1 yıl
Çalışma Modu:
Manuel/otomatik
Kaplama biriktirme oranı:
Ayarlanabilir
Vurgulamak:
özel elektron ışını buharlaştırma makinesi
,
Halkalı elektron tabancası kaplama ekipmanları
,
optik elektron tabanca kaplama sistemi
Ödeme ve Kargo Koşulları
Min sipariş miktarı
1
Teslim süresi
45-60 iş günü
Ürün Açıklaması
I. Yapısal Kompozisyon
Halkalı elektron tabanca sistemi:Halkalı filament (katot), anot, odaklanma bobini, saptırma bobini; Halkalı katot, elektrik alanı tarafından hızlanan ve manyetik alan tarafından odaklanan ve saptırılan sıcak elektronlar yayar,Tümenin içindeki malzemeyi hassas bir şekilde bombardıman ediyorlar.
Buharlama kaynağı ve havuz:Suyla soğutulmuş bakır havuz, havuz malzemelerinin buharlaşmasını ve reaksiyonunu önlemek ve film katmanının saflığını artırmak için; Çok istasyonlu geçiş ve çok katmanlı film çöküşünü destekler.
Substrat aşaması:Suyla ısıtılabilir/soğutulabilir ve film kalınlığının eşit olmasını sağlamak için güneşin etrafında/kendi ekseni üzerinde dönebilir.
Kontrol sistemi:Yüksek voltajlı güç kaynağı, ışın kontrolü, film kalınlığını izleme (kristal osilatör), vakum ölçümü ve otomasyon programı, parametrelerin kapalı döngü kontrolünü elde eder.
II. Çalışma prensibi
Elektron ışını üretimi ve hızlanması:Bir toroidal filament elektriklendiğinde, yüksek enerji elde etmek için 5-10 kV yüksek voltajlı bir elektrik alanı tarafından hızlanan sıcak elektronlar yayar.
Odaklama ve eğirme:Elektromanyetik sarmal, elektron ışınını, 106 ila 107 W/cm2'ye ulaşabilecek bir enerji yoğunluğu ile, havuzun içindeki hedef malzemenin yüzeyine odaklar ve boşaltır.
Buharlama ve çökme:Elektron ışınının kinetik enerjisi termal enerjiye dönüştürülür ve hedef malzeme hızla buharlaşma noktasına kadar ısınır ve buharlaşır.Gaz fazlı atomlar/moleküller, yüksek vakum altında bir düz çizgide substratın içine taşınır ve tek tip bir film oluşturmak için yoğunlaşırlar..
Süreç kontrolü:Depozisyon hızının ve film kalınlığının gerçek zamanlı izlenmesi, süreç istikrarını sağlamak için ışın akımının ve gücünün dinamik ayarlanması.
Iii. Temel Özellikler
Yüksek enerji yoğunluğu:Yerel sıcaklık 3000-6000 °C'ye ulaşabilir ve volfram, molibden ve SiO2 gibi yüksek erime noktasına sahip malzemeleri buharlaştırabilir.
Çok düşük kirlilik:Suyla soğutulan havuzlar havuz kirliliğini azaltır ve film katmanının saflığı% 99.99'dan fazla olabilir.
Verimlilik ve oran:Yüksek termal verimlilik, çökme hızı 0.1-100 nm/s, dengeleme verimliliği ve film kalitesi.
Esnek süreç:Multi-crucible geçiş, çok katmanlı filmleri destekler. Substrat ısıtma/dönüşümü film katmanın kompaktlığını ve yapışkanlığını arttırır.
IV. Avantajlar
Geniş malzeme uyumluluk:Metaller, alaşımlar, oksitler, yarı iletkenler vb. ile uyumludur, özellikle ateşe dayanıklı malzemeler için uygundur.
Film katman kalitesi mükemmel:yüksek saflık, iyi yoğunluk ve güçlü yapışkanlık, yüksek hassasiyetli optik ve elektronik cihazların gereksinimlerini karşılamaktadır.
Maliyet etkinliği:Yüksek malzeme kullanım oranı, hedef malzemelere yoğunlaştırılmış enerji tüketimi ve daha düşük uzun vadeli işletme maliyetleri.
Yüksek otomatiklik derecesi:Parametreler, iyi tekrarlanabilirlikle hassas bir şekilde kontrol edilebilir, bu da hem bilimsel araştırma hem de seri üretim için uygundur.
V. Tipik Uygulamalar
Optik filmler:Yansıtıma karşı filmler (AR), yüksek yansıtıcı filmler, filtreler, ışın bölücüler, gözlüklerde, kameralarda, lazer cihazlarında, fotovoltaik hücrelerde kullanılır.
Yarım iletkenler ve mikroelektronik:Metal elektrotlar (Al, Cu), dielektrik katmanlar (SiO2, Si3N4), sensör filmleri.
Fonksiyonel kaplamalar:dekoratif filmler, iletken filmler (ITO), korozyona dayanıklı/kulanmaya dayanıklı kaplamalar, havacılık, aletler ve tüketici elektroniklerinde uygulanır.
Bilimsel araştırma ve küçük ölçekli üretim:Üniversiteler ve araştırma enstitüleri için malzeme hazırlaması, ayrıca MEMS, biyomedikal cihazlar vb. için özel filmler.