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Macchina di rivestimento ad evaporazione del fascio elettronico con pistola ad elettroni anulare personalizzata per le esigenze del cliente
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Macchina di rivestimento ad evaporazione del fascio elettronico con pistola ad elettroni anulare personalizzata per le esigenze del cliente
| Luogo di origine | Guangdong |
| Marca | Lion King |
| Certificazione | CE |
Dettagli del prodotto
Substrato di rivestimento:
Metallo, vetro, ceramica, plastica
Applicazione del rivestimento:
Decorativo, funzionale, protettivo
Dimensioni della macchina:
Personalizzabile
Supporto di rotazione:
2 set
Materiale di evaporazione:
Metallo, lega, materiali organici
Sistema di raffreddamento:
Raffreddamento ad acqua
Materiale del film di rivestimento:
Au, Ag, Al, Cu, SiO2, ecc.
Dimensione della camera di rivestimento:
Personalizzato
Efficienza del rivestimento:
Alto
Tasso di deposito:
Veloce
Livello sottovuoto:
Vuoto alto
Dimensione del rivestimento:
Personalizzabile
Modo operativo:
Schermo tattile
Temperatura di rivestimento:
≤200 ℃
Periodo di garanzia:
1 anno
Modalità operativa:
Manuale/automatico
Tasso di deposizione di rivestimento:
Regolabile
Evidenziare:
macchina di evaporazione del fascio elettronico su misura
,attrezzature per il rivestimento di pistole ad elettroni anulare
,sistema di rivestimento ottico per pistole ad elettroni
Termini di pagamento e di spedizione
Quantità di ordine minimo
1
Tempi di consegna
45-60 giorni di lavoro
Descrizione del prodotto
I. Composizione strutturale
- Sistema di cannoni elettronici anulari:filamento anulare (catodo), anodo, bobina di focalizzazione, bobina di deflessione; Il catodo anulare emette elettroni caldi, che vengono accelerati dal campo elettrico e focalizzati e deflettori dal campo magnetico, bombardando con precisione il materiale all'interno del crogiolo.
- Sistema di vuoto: camera a vuoto, pompa meccanica, pompa molecolare/pompa criogenica. Il vuoto finale solitamente raggiunge tra 10⁻⁴ e 10⁻⁶ Pa, riducendo la collisione e la contaminazione della fase gassosa.
- Sorgente di evaporazione e crogiolo:Crogiolo di rame raffreddato ad acqua per prevenire l'evaporazione e la reazione dei materiali del crogiolo e migliorare la purezza dello strato di pellicola; Supporta la commutazione multistazione e la deposizione di film multistrato.
- Fase del substrato:Può essere riscaldato/raffreddato dall'acqua e può ruotare attorno al sole/sul proprio asse per garantire uno spessore uniforme del film.
- Sistema di controllo:Alimentazione ad alta tensione, controllo del raggio, monitoraggio dello spessore del film (oscillatore a cristallo), vacuometro e programma di automazione, ottenendo il controllo a circuito chiuso dei parametri.
II. Principio di funzionamento
- Generazione e accelerazione del fascio di elettroni:Quando un filamento toroidale viene elettrificato, emette elettroni caldi, che vengono accelerati da un campo elettrico ad alta tensione di 5-10 kV per ottenere un'elevata energia.
- Messa a fuoco e deflessione:La bobina elettromagnetica focalizza e sgonfia il fascio di elettroni sulla superficie del materiale bersaglio all'interno del crogiolo, con una densità di energia che può raggiungere da 10⁶ a 10⁷ W/cm².
- Evaporazione e deposizione:L'energia cinetica del fascio di elettroni viene convertita in energia termica e il materiale bersaglio si riscalda rapidamente fino al punto di evaporazione e vaporizza. Gli atomi/molecole in fase gassosa vengono trasportati in linea retta al substrato sotto alto vuoto e si condensano per formare una pellicola uniforme.
- Controllo del processo:Monitoraggio in tempo reale del tasso di deposizione e dello spessore del film, regolazione dinamica della corrente e della potenza del fascio per garantire la stabilità del processo.
III. Caratteristiche principali
- Alta densità di energia:La temperatura locale può raggiungere 3.000-6.000 ℃ e può far evaporare materiali ad alto punto di fusione come tungsteno, molibdeno e SiO₂.
- Inquinamento estremamente basso:I crogioli raffreddati ad acqua riducono l'inquinamento del crogiolo e la purezza dello strato di pellicola può raggiungere oltre il 99,99%.
- Efficienza e velocità:Elevata efficienza termica, velocità di deposizione 0,1-100 nm/s, bilanciamento di efficienza e qualità della pellicola.
- Processo flessibile:La commutazione multi-crogiolo supporta pellicole multistrato. Il riscaldamento/rotazione del substrato migliora la compattezza e l'adesione dello strato di pellicola.
Iv. Vantaggi
- Ampia adattabilità dei materiali:Compatibile con metalli, leghe, ossidi, semiconduttori, ecc., particolarmente adatto per materiali refrattari.
- La qualità dello strato di pellicola è eccellente:elevata purezza, buona densità e forte adesione, che soddisfano i requisiti dei dispositivi ottici ed elettronici di alta precisione.
- Rapporto costo-efficacia:Elevato tasso di utilizzo dei materiali, consumo energetico concentrato sui materiali target e costi operativi inferiori a lungo termine.
- Elevato grado di automazione:I parametri sono controllabili con precisione e con buona ripetibilità, rendendolo adatto sia alla ricerca scientifica che alla produzione di massa.
V. Applicazioni tipiche
- Pellicole ottiche:pellicole antiriflesso (AR), pellicole ad alta riflessione, filtri, divisori di fascio, utilizzati in occhiali, fotocamere, dispositivi laser, celle fotovoltaiche.
- Semiconduttori e Microelettronica:Elettrodi metallici (Al, Cu), strati dielettrici (SiO₂, Si₃N₄), pellicole sensore.
- Rivestimenti funzionali:pellicole decorative, pellicole conduttive (ITO), rivestimenti resistenti alla corrosione/resistente all'usura, applicati nel settore aerospaziale, degli utensili e dell'elettronica di consumo.
- Ricerca scientifica e produzione su piccola scala:Preparazione di materiali per università e istituti di ricerca, nonché pellicole personalizzate per MEMS, dispositivi biomedici, ecc.
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