| Componente | Specifiche |
|---|---|
| Camera a Vuoto | φ800×H900mm |
| Metodo di Riscaldamento | Superiore, Laterale, Inferiore (opzionale) |
| Sistema di Alto Vuoto | Pompa Molecolare, Pompa a Diffusione, Pompa Criogenica (Opzionale) |
| Sistema di Basso Vuoto | Pompa a Secco, Pompa Diretta, Pompa Roots, Pompa a Palette Rotante (opzionale) |
| Sistema di Controllo | Computer Industriale Touch Screen Controllo Completamente Automatico |
| Monitor dello Spessore del Film a Cristallo | Inficon XTC-3, SQC310, Shanghai MXC-3B |
| Sorgente Ionica | Sorgente Ionica RF, Sorgente Ionica Hall, Sorgente Ionica Kaufman, Sorgente Ionica a Catodo Cavitato (opzionale) |
| Rotazione del Pezzo | Supporto per Pezzi a Ombrello, Supporto per Pezzi a Rullo (opzionale) |
| Cannone Elettronico | Singola, Doppia, Multiposizione (opzionale) |
| Unità Criogenica | Molteplici Fornitori (opzionale) |
| Sistema di Sonda | Sensore Rotante Singolo, a 6 punti e a 12 punti (opzionale) |
| Pressione Ultima | ≤8.0×10⁻⁵Pa (camera a vuoto pulita a temperatura ambiente, priva di campione e materiale di rivestimento) |
| Sistema di Barriera ai Vapori | Blocco Unità, Blocco a Due Posizioni e Blocco Rotante Multiposizione (opzionale) |
| Mantenimento della Pressione del Vuoto | Chiusura valvola alta, grado di vuoto ≤9×10⁻²Pa dopo 1 ora |
| Alimentazione Richiesta | Elettricità Trifase, 380V, 50HZ |
| Pressione dell'Acqua Richiesta | 0.3-0.4Mpa |
| Peso dell'Attrezzatura | 3T-4T |
| Pressione dell'Aria Richiesta | 0.6-0.8Mpa |
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