| Componente | Especificación |
|---|---|
| Cámara de vacío | φ800 × H900 mm |
| Método de calentamiento | En la parte superior, lateral y inferior (opcional) |
| Sistema de alto vacío | Pumpas de difusión y criogénicas (opcional) |
| Sistema de vacío bajo | Pompas de secado, bombas directas, bombas de raíces, bombas rotativas (opcional) |
| Sistema de control | Control totalmente automático con pantalla táctil de ordenador industrial |
| Monitoreo de espesor de película de cristal | Inficon XTC-3, SQC310, Shanghái MXC-3B, y el equipo de seguridad de la compañía. |
| Fuente de iones | Fuente de iones RF, Fuente de iones Hall, Fuente de iones Kaufman, Fuente de iones de cátodo hueco (opcional) |
| Rotación de la pieza | Soluciones para el mantenimiento de piezas de ensamblaje |
| Arma de electrones | El número de unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga de las unidades de carga. |
| Unidad criogénica | Varios proveedores (opcional) |
| Sistema de la sonda | Sensor rotativo de un solo punto, de 6 puntos y de 12 puntos (opcional) |
| La mayor presión | ≤ 8,0 × 10−5 Pa (cámara de vacío limpia a temperatura normal, libre de material de muestreo y recubrimiento) |
| Sistema de barrera de vapor | Bloque de unidad, Bloque de dos posiciones y Bloque rotativo de varias posiciones (opcional) |
| Mantenimiento de la presión del vacío | Cierre de la válvula alta, grado de vacío ≤ 9×10−2Pa después de 1 hora |
| Fuente de alimentación necesaria | Se trata de un sistema eléctrico trifásico, de 380 V y 50 Hz. |
| Se requiere presión de agua | 0.3-0.4Mpa |
| Peso del equipo | 3T-4T |
| Se requiere presión del aire | 0.6-0.8Mpa |
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