| উপাদান | স্পেসিফিকেশন |
|---|---|
| ভ্যাকুয়াম চেম্বার | φ800×H900mm |
| হিটিং পদ্ধতি | উপরের, পাশের, নীচের (ঐচ্ছিক) |
| হাই ভ্যাকুয়াম সিস্টেম | মলিকুলার পাম্প, ডিফিউশন পাম্প, ক্রায়োজেনিক পাম্প (ঐচ্ছিক) |
| লো ভ্যাকুয়াম সিস্টেম | ড্রাই পাম্প, ডাইরেক্ট পাম্প, রুটস পাম্প, রোটারি ভেন পাম্প (ঐচ্ছিক) |
| কন্ট্রোল সিস্টেম | ইন্ডাস্ট্রিয়াল কম্পিউটার টাচ স্ক্রিন সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণ |
| ক্রিস্টাল ফিল্ম থিকনেস মনিটর | ইনফিকন XTC-3, SQC310, সাংহাই MXC-3B |
| আয়ন সোর্স | আরএফ আয়ন সোর্স, হল আয়ন সোর্স, কাফম্যান আয়ন সোর্স, হলো ক্যাথোড আয়ন সোর্স (ঐচ্ছিক) |
| ওয়ার্কপিস ঘোরানো | আমব্রেলা ওয়ার্কপিস হোল্ডার, রোলার ওয়ার্কপিস হোল্ডার (ঐচ্ছিক) |
| ইলেকট্রন গান | একক, দ্বৈত, বহু-অবস্থান (ঐচ্ছিক) |
| ক্রায়োজেনিক ইউনিট | একাধিক সরবরাহকারী (ঐচ্ছিক) |
| প্রোব সিস্টেম | একক, ৬-পয়েন্ট এবং ১২-পয়েন্ট রোটারি সেন্সর (ঐচ্ছিক) |
| আল্টিমেট প্রেসার | ≤8.0×10⁻⁵Pa (স্বাভাবিক তাপমাত্রায় পরিষ্কার ভ্যাকুয়াম চেম্বার, নমুনা এবং কোটিং উপাদান ছাড়া) |
| ভেপার ব্যারিয়ার সিস্টেম | ইউনিট ব্লক, দ্বি-অবস্থান ব্লক এবং বহু-অবস্থান রোটারি ব্লক (ঐচ্ছিক) |
| ভ্যাকুয়াম প্রেসার রক্ষণাবেক্ষণ | উচ্চ ভালভ বন্ধ করুন, ১ ঘন্টা পর ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি ≤9×10⁻²Pa |
| প্রয়োজনীয় পাওয়ার সাপ্লাই | তিন-ফেজ বিদ্যুৎ, 380V, 50HZ |
| প্রয়োজনীয় জলের চাপ | 0.3-0.4Mpa |
| সরঞ্জামের ওজন | 3T-4T |
| প্রয়োজনীয় এয়ার প্রেসার | 0.6-0.8Mpa |
যে কোন সময় আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন