ই-টাইপ ইলেকট্রন গান ইলেকট্রন বিম বাষ্পীভবন কোটিং মেশিন কোটিং অপটিক্যাল উপাদান, সেমিকন্ডাক্টর অপটিক্যাল উপাদান

ই-টাইপ ইলেকট্রন বন্দুক:কোর বাষ্পীভবন উৎস একটি ক্যাথোড, একটি ফোকাসিং ইলেক্ট্রোড, এবং একটি ত্বরান্বিত অ্যানোড গঠিত হয়। ইলেকট্রন রে প্রায় একটি বৃত্তাকার স্পট উপস্থাপন করে এবং একটি দ্রুত স্ক্যানিং ফাংশন দিয়ে সজ্জিত করা হয়.এটি সঠিকভাবে আবরণ উপকরণ বোমা করতে পারে এবং বিভিন্ন উচ্চ গলনাঙ্ক উপকরণ বাষ্পীকরণের জন্য উপযুক্ত।এটি অন্যান্য ধরণের ইলেকট্রন বিম লেপ মেশিন থেকে এটিকে আলাদা করে এমন একটি মূল উপাদান.

ভ্যাকুয়াম সিস্টেমঃএটিতে একটি ভ্যাকুয়াম চেম্বার, একটি কম্পোজিট আণবিক পাম্প, একটি যান্ত্রিক পাম্প, একটি গেট ভালভ ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। ভ্যাকুয়াম চেম্বারটি প্রায়শই একটি ইউ-আকৃতির বাক্স ডিজাইন গ্রহণ করে, যা একটি পরিষ্কার লেপ পরিবেশ নিশ্চিত করতে পারে।ভ্যাকুয়াম সিস্টেম ≤6 এর ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি অর্জন করতে পারে.67×10−5Pa (বেকিং ডিগ্যাসিংয়ের পরে), ফিল্মের বিশুদ্ধতার উপর বায়ুর হস্তক্ষেপ হ্রাস করে।

বাষ্পীভবন এবং বহনকারী উপাদানঃবেশিরভাগ জল-শীতল মাল্টি-সেল ক্রিগলস (সাধারণত চার বা ছয়টি কোষের সাথে ডিজাইন করা হয়), যা ক্রিগলকে নিজেকে গলে যাওয়া এবং আবরণ উপাদানকে দূষিত করতে বাধা দেয়,এবং একই সময়ে একাধিক বিভিন্ন উপকরণ ধারণ করতে পারেনযখন একটি ঘূর্ণনশীল সাবস্ট্র্যাট গরম করার পর্যায়ে জুড়ে দেওয়া হয়, তখন সর্বোচ্চ সাবস্ট্র্যাট গরম করার তাপমাত্রা 800 °C ± 1 °C পৌঁছতে পারে।এটি ফিল্ম স্তর অভিন্নতা নিশ্চিত করার জন্য স্তর এবং বাষ্পীভবন উৎস মধ্যে দূরত্ব সামঞ্জস্য করতে পারেন.

পরিমাপ ও নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা এবং বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থাঃএকটি কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল ওসিলেটর ফিল্ম বেধ নিয়ামক দিয়ে সজ্জিত, ফিল্ম বেধ প্রদর্শন পরিসীমা 0-99.9999 μm হয়,এবং কিছু অপশনালভাবে অপটিক্যাল ফিল্ম বেধ স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণ দিয়ে সজ্জিত করা যেতে পারেভ্যাকুয়াম, বেকিং, বাষ্পীভবন ইত্যাদির পুরো প্রক্রিয়াটি পিএলসি এবং শিল্প নিয়ন্ত্রণ কম্পিউটারের মাধ্যমে স্বয়ংক্রিয়ভাবে নিয়ন্ত্রিত হয়।এবং এটিতে ভ্যাকুয়াম পরিমাপ এবং কাজের গ্যাসের পথের মতো সহায়ক নিয়ন্ত্রণ মডিউলও অন্তর্ভুক্ত রয়েছে.

সরঞ্জামটি চালু হওয়ার পরে, পাম্পিং সিস্টেমটি প্রথমে গ্যাস অণু দ্বারা বাষ্পীভূত কণাগুলির ছড়িয়ে পড়া এবং দূষণ হ্রাস করার জন্য ভ্যাকুয়াম চেম্বারটিকে উচ্চ ভ্যাকুয়াম অবস্থায় সরিয়ে দেয়।

1. ই-টাইপ ইলেকট্রন বন্দুকের ক্যাথোড গরম করা হয় এবং ইলেকট্রন নির্গত হয়। এই ইলেকট্রনগুলি ফোকাসিং ইলেকট্রোড দ্বারা ফোকাস করা হয় এবং উচ্চ-শক্তির ইলেকট্রন রাশির গঠন করার জন্য অ্যানোডে ত্বরান্বিত হয়,যা একটি চৌম্বকীয় ক্ষেত্রের সাহায্যে গর্তের ভিতরে লেপ উপাদানটি সঠিকভাবে বোমাবাজি করে.
2. ইলেকট্রন রশ্মির উচ্চ শক্তি শোষণ করার পর, উপাদানটি দ্রুত বাষ্পীভবন বা উৎখাতের তাপমাত্রায় গরম হয়, গ্যাসীয় কণা গঠন করে।
3. গ্যাসীয় কণাগুলি ভ্যাকুয়াম পরিবেশে স্তরটির দিকে উপরে চলে যায়। ভ্যাকুয়ামের অধীনে কণার গতিবিধিতে ছোট প্রতিরোধের কারণে, তারা স্তর পৃষ্ঠের উপর অভিন্নভাবে ঘনীভূত হতে পারে।
4. লেপ প্রক্রিয়ার সময়, ফিল্ম বেধ নিয়ামক রিয়েল টাইমে ফিল্ম স্তর বেধ পর্যবেক্ষণ করে,এবং বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ সিস্টেম ইলেকট্রন মরীচি শক্তি মত পরামিতি সমন্বয় নিশ্চিত যে ফিল্ম স্তর বেধ পূর্বনির্ধারিত প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে. লেপটি শেষ হওয়ার পরে, ভ্যাকুয়াম পরিবেশকে ধ্বংস না করে মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম জমাট বাঁধার জন্য ক্রুজিবলটি স্যুইচ করা যেতে পারে।

লেপ প্রক্রিয়ার সময়, ফিল্ম বেধ নিয়ামক রিয়েল টাইমে ফিল্ম স্তর বেধ পর্যবেক্ষণ করে,এবং বৈদ্যুতিক নিয়ন্ত্রণ সিস্টেম ইলেকট্রন মরীচি শক্তি মত পরামিতি সমন্বয় নিশ্চিত যে ফিল্ম স্তর বেধ পূর্বনির্ধারিত প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে. লেপটি শেষ হওয়ার পরে, ভ্যাকুয়াম পরিবেশকে ধ্বংস না করে মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম জমাট বাঁধার জন্য ক্রুজিবলটি স্যুইচ করা যেতে পারে।

• ঘনীভূত এবং নিয়ন্ত্রণযোগ্য শক্তিঃইলেকট্রন বিম উচ্চ শক্তি ঘনত্ব আছে এবং সরাসরি উপকরণ উপর কাজ করতে পারে.এটি কেবলমাত্র 3000°C এর উপরে গলনের পয়েন্ট সহ উপাদানগুলি বাষ্পীভূত করতে পারে না যেমন টংস্টেন এবং মলিবডেনামএছাড়াও, ইলেকট্রন রশ্মির স্রোত সামঞ্জস্য করে বাষ্পীভবনের হার নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
• শক্তিশালী ফিল্ম স্তর অভিযোজনযোগ্যতাঃএটি একক উৎস, দ্বৈত উৎস বা তিন উৎস বাষ্পীকরণ সমর্থন করে।বিভিন্ন ধরনের ফিল্ম যেমন খাদ ফিল্ম এবং কম্পোজিট ফিল্ম প্রস্তুত করা যেতে পারে, এবং ফিল্ম স্তরটির বিচ্ছিন্নতা সূচক স্থিতিশীলতা উচ্চ (δn≤0.005) ।
• এটি পেশাদারিত্ব এবং নমনীয়তা একত্রিত করেঃএটি বিশ্ববিদ্যালয়ের গবেষণায় ছোট ব্যাচের পরীক্ষার জন্য উপযুক্ত এবং এটি 6-ইঞ্চি ওয়েফারের মতো শিল্প-গ্রেডের ছোট ব্যাচের উত্পাদনের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে পারে।এটি ম্যানুয়ালি বা আধা স্বয়ংক্রিয়ভাবে পরিচালিত হতে পারেকিছু মডেল বিভিন্ন দৃশ্যের চাহিদা মেটাতে প্রোগ্রাম নিয়ন্ত্রণ সমর্থন করে।

ফিল্ম লেয়ারের বিশুদ্ধতা এবং গুণমান উচ্চঃজল-শীতল ক্রিগলগুলির সাথে মিলিত ভ্যাকুয়াম পরিবেশ দূষণ হ্রাস করে এবং ফিল্ম স্তরটির বিশুদ্ধতা 99.99% (4N গ্রেড) পৌঁছতে পারে।ফিল্ম লেয়ারের ঘনত্ব সাধারণ বাষ্পীভবন পদ্ধতির তুলনায় 30% বেশি, শক্তিশালী আঠালো এবং চমৎকার antideliquescence কর্মক্ষমতা সঙ্গে।

ভাল বাষ্পীভবন দক্ষতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতাঃজমাট বাঁধার হার বিস্তৃত (0.1μm/min - 100μm/min), পাতলা স্তর প্রস্তুতি এবং ঘন ফিল্ম জমাট বাঁধার উভয়ই সক্ষম। লেপ প্রক্রিয়াটির প্রক্রিয়া পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা উচ্চ (সিপিকে≥1.67),এবং একই প্যারামিটারগুলির অধীনে একটি সামঞ্জস্যপূর্ণ ফিল্ম স্তর স্থিতিশীলভাবে উত্পাদিত হতে পারে.

উচ্চ উপাদান ব্যবহারের হারঃম্যাগনেট্রন স্পটারিংয়ের মতো প্রযুক্তির তুলনায়, ইলেকট্রন বিম বাষ্পীভবন একটি উচ্চতর উপাদান ব্যবহারের হার রয়েছে, যা উপাদান ক্ষতি হ্রাস করে।মাল্টি-সেল ক্রাইসিবলগুলি ঘন ঘন উপাদান প্রতিস্থাপন এড়াতে পারে, যার ফলে লেপের কার্যকারিতা বৃদ্ধি পায়।

অপটিক্সের ক্ষেত্রে,এটি লেজার লেন্স, চশমা লেন্স, এবং স্থাপত্য কাচ মত অপটিক্যাল উপাদান লেপ জন্য মূল সরঞ্জাম। এটি SiO2 এবং TiO2 মত অপটিক্যাল ফিল্ম প্রস্তুত করতে পারেন,আলোর সংক্রমণ বাড়ানোউপাদানগুলির প্রতিফলন বা ফিল্টারিং পারফরম্যান্স।

সেমিকন্ডাক্টর এবং ইলেকট্রনিক্স ক্ষেত্রেঃএটি অর্ধপরিবাহী অপটিক্যাল উপাদান, এমইএমএস ডিভাইস, ফোটোডাইড ইত্যাদির জন্য পাতলা ফিল্ম প্রস্তুত করার পাশাপাশি পরিবাহী গ্লাস এবং অর্ধপরিবাহী পাতলা ফিল্ম উত্পাদন করতে ব্যবহৃত হয়,এবং শিল্প-গ্রেড প্রসেস যেমন 6-ইঞ্চি ওয়েফারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ.

নতুন শক্তি এবং সংবেদনের ক্ষেত্রে:ফোটোভোলটাইক ডিভাইসের জন্য অ্যান্টি-রিফ্লেক্স ফিল্ম এবং যথার্থ সেন্সরগুলির জন্য কার্যকরী ফিল্ম (যেমন ধাতব অক্সাইড সেন্সর,আল্ট্রাভায়োলেট/ইনফ্রারেড সেন্সর) ডিভাইসগুলির ফটো ইলেকট্রিক রূপান্তর দক্ষতা এবং সনাক্তকরণের সংবেদনশীলতা নিশ্চিত করতে প্রস্তুত.

বৈজ্ঞানিক গবেষণা এবং শিক্ষার ক্ষেত্রে:এটি কলেজ এবং বিশ্ববিদ্যালয়গুলির পাশাপাশি গবেষণা প্রতিষ্ঠানগুলির জন্য ferroelectric পাতলা ফিল্ম, পাইজো ইলেকট্রিক উপকরণ ইত্যাদি অধ্যয়নের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ ডিভাইস হয়ে উঠেছে।এটি একক স্তরীয় ফিল্মের প্রস্তুতির পরীক্ষা চালাতে পারে, মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম এবং ডোপড ফিল্ম, এবং নতুন উপকরণ গবেষণা এবং উন্নয়ন সহায়তা।