Maszyna do powlekania wiązki elektronowej przez odparowanie elektronowego pistoletu typu E

Elektrowa broń typu E:Źródło parowania rdzenia składa się z katody, elektrody skupiającej i anody przyspieszającej..Może precyzyjnie bombardować materiały powłoki i nadaje się do parowania różnych materiałów o wysokim stopniu topnienia.Jest to również kluczowy komponent, który odróżnia go od innych typów maszyn do powlekania wiązkami elektronami.

System próżniowy:Obejmuje komorę próżniową, pompę molekularną złożoną, pompę mechaniczną, zawór bramowy itp. Komora próżniowa często przyjmuje konstrukcję pudełka w kształcie litery U, co może zapewnić czyste środowisko powłoki.System odkurzający może osiągnąć stopień próżni ≤ 6.67×10−5Pa (po odgazowaniu pieczenia), zmniejszając wpływ powietrza na czystość folii.

Komponenty parowe i przenośne:głównie wodnochłodzone wielocząsteczkowe tygile (zwykle zaprojektowane z czterema lub sześcioma komórkami), które zapobiegają samozapalanie tygila i zanieczyszczeniu materiału powłokowego,i może zawierać wiele różnych materiałów jednocześnieW połączeniu z obracającym się stopniem podgrzewania podłoża maksymalna temperatura podgrzewania podłoża może osiągnąć 800°C±1°C.Może również regulować odległość między podłożem a źródłem parowania, aby zapewnić jednolitość warstwy foliowej.

System pomiaru i sterowania oraz układ sterowania elektrycznego:wyposażone w kontroler grubości folii oscylatora kryształowego kwarcu, zakres wyświetlania grubości folii wynosi 0-99,9999 μm,i niektóre mogą być opcjonalnie wyposażone w optyczną kontrolę grubości folii automatycznejCały proces próżni, pieczenia, parowania itp. jest automatycznie kontrolowany przez PLC i komputer kontrolny przemysłowy.i obejmuje również moduły sterowania pomocnicze, takie jak pomiar próżni i ścieżka gazu roboczego.

Po uruchomieniu urządzenia system pompowania najpierw ewakuuje komorę próżniową do stanu wysokiej próżni, aby zmniejszyć rozproszenie i zanieczyszczenie odparowanych cząstek cząsteczek gazowych.

1. Katodę pistoletu elektronowego typu E podgrzewa się i emituje elektrony, które są skupiane przez elektrodę i przyspieszane przy anodzie, tworząc wiązkę elektronów o wysokiej energii.który precyzyjnie bombarduje materiał powłoki wewnątrz kota przy pomocy pola magnetycznego.
2. Po wchłonięciu wysokiej energii wiązki elektronów materiał szybko nagrzewa się do temperatury parowania lub sublimacji, tworząc cząstki gazowe.
3. Gazowe cząstki poruszają się w górę w kierunku podłoża w środowisku próżniowym.
4. W trakcie procesu powlekania sterownik grubości folii monitoruje grubość warstwy folii w czasie rzeczywistym,i system sterowania elektrycznego dostosowuje parametry takie jak moc wiązki elektronów, aby zapewnić, że grubość warstwy folii spełnia wstępnie ustawione wymaganiaPo zakończeniu powłoki, tyglik można przełączyć, aby osiągnąć wielopoziomowe osadzenie folii bez niszczenia środowiska próżni.

W trakcie procesu powlekania sterownik grubości folii monitoruje grubość warstwy folii w czasie rzeczywistym,i system sterowania elektrycznego dostosowuje parametry takie jak moc wiązki elektronów, aby zapewnić, że grubość warstwy folii spełnia wstępnie ustawione wymaganiaPo zakończeniu powłoki, tyglik można przełączyć, aby osiągnąć wielopoziomowe osadzenie folii bez niszczenia środowiska próżni.

• Koncentrowana i kontrolowana energia:Wiązka elektronów ma wysoką gęstość energii i może działać bezpośrednio na materiały.może nie tylko odparowywać materiały o temperaturach topnienia powyżej 3000°C, takie jak wolfram i molibdenPonadto szybkość parowania można kontrolować poprzez regulację prądu wiązki elektronów.
• Duża elastyczność warstwy foliowej:Wspiera parowanie z jednego, dwóch lub trzech źródeł.można przygotować różnego rodzaju folie, takie jak folie stopowe i folie kompozytowe, a stabilność wskaźnika załamania warstwy foliowej jest wysoka (δn≤0,005).
• Łączy w sobie profesjonalizm i elastyczność:Jest odpowiedni do eksperymentów małych partii w badaniach uniwersyteckich i może również spełniać wymagania produkcji małych partii klasy przemysłowej, takich jak płytki 6-calowe.Może być obsługiwany ręcznie lub półautomatycznieNiektóre modele obsługują sterowanie programem w celu zaspokojenia potrzeb różnych scenariuszy.

Czystość i jakość warstwy foliowej są wysokie:Środowisko próżniowe w połączeniu z chłodzonymi wodą tyglami zmniejsza zanieczyszczenie, a czystość warstwy foliowej może osiągnąć 99,99% (4N).gęstość warstwy foliowej jest o 30% wyższa niż w przypadku zwykłej metody parowania, o silnej przyczepności i doskonałej działaniu przeciwdelikwescencyjnym.

Dobra wydajność parowania i powtarzalność:Zakres szybkości osadzenia jest szeroki (0,1 μm/min - 100 μm/min), umożliwiający zarówno przygotowanie cienkich warstw, jak i osadzenie grubej folii.i stała warstwa folii może być stabilnie produkowana w tych samych parametrach.

Wysoki wskaźnik wykorzystania materiału:W porównaniu z technologiami takimi jak rozpylanie magnetronem, parowanie wiązki elektronów ma wyższy wskaźnik wykorzystania materiału, zmniejszając straty materiału.wielokomórkowe kruszywa mogą uniknąć częstej wymiany materiału, zwiększając w ten sposób wydajność powłoki.

W dziedzinie optykijest podstawowym wyposażeniem do powlekania elementów optycznych, takich jak soczewki laserowe, soczewki do okularów i szkło architektoniczne.zwiększenie przepuszczalności światła, odbicia lub filtrowania komponentów.

W zakresie półprzewodników i elektroniki:Jest stosowany do przygotowywania cienkich folii do półprzewodnikowych komponentów optycznych, urządzeń MEMS, fotodiod itp., a także do produkcji przewodzącego szkła i półprzewodnikowych cienkich folii,i jest kompatybilny z procesami przemysłowymi, takimi jak 6-calowe płytki.

W dziedzinie nowej energii i czujników:Filmy antyrefleksyjne do urządzeń fotowoltaicznych i filmy funkcjonalne do czujników precyzyjnych (takich jak czujniki tlenków metali,czujniki ultrafioletowe/podczerwone) są przygotowane w celu zapewnienia efektywności konwersji fotoelektrycznej i czułości wykrywania urządzeń.

W dziedzinie badań naukowych i nauczania:Stał się ważnym urządzeniem dla uczelni wyższych i uniwersytetów, a także instytucji badawczych do badania cienkich folii ferroelektrycznych, materiałów piezoelektrycznych itp.Może on przeprowadzać eksperymenty przygotowawcze pojedynczych warstw folii, folii wielowarstwowych i folii dopingowanych oraz wspierają badania i rozwój nowych materiałów.