Wysokoprecyzyjna maszyna do napylania próżniowego wiązką elektronów, urządzenie do powlekania PVD

1. System próżniowy (podstawowa gwarancja powłoki) Komora próżniowa Zestaw pomp próżniowych Pomiar i kontrola próżniowa.
2. System pistoletu elektronicznego (rdzeń zasilania energią) Źródło emisji elektronów Urządzenie koncentracji i defleksji Moduł sterowania mocą.
3. System osadzenia przez parowanie (klucz do tworzenia folii) Zestaw kruszywa; urządzenie mocujące materiał docelowy, monitorowanie i sterowanie grubością folii, czujnik rdzeniowy.
4. System sterowania (automatyzacja i zapewnienie precyzji) Główny układ sterujący Moduł sterujący w pętli zamkniętej System ochrony bezpieczeństwa.
5. System obróbki podłoża (zwiększający przyczepność folii) Podstawa podłoża i mechanizm obrotowy; urządzenie grzewcze podłoża, moduł wstępnej obróbki bombardowania jonowego (nieobowiązkowy).
6. System pomocniczy System chłodzenia; układ sterowania gazem.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. Dokładność powłoki jest niezwykle wysoka, a jakość warstwy foliowej jest doskonała
2. Ma szeroki zakres zastosowanych materiałów

   Różnorodność materiałów, takich jak metale odparowalne (Au, Ag, Al, Ti), stopy (NiCr, TiW), tlenki (SiO2, TiO2, Al2O3), siarczany (ZnS) i ceramika.

3. Wysoka wydajność parowania i silna adhezja warstwy foliowej
4. Niskie zanieczyszczenie i wysoki wskaźnik wykorzystania materiałów docelowych
5. Wysoki stopień automatyzacji i wygodna obsługa

1. Pole optyczne (podstawowe scenariusze zastosowania)
   • Soczewki optyczne: filmy antyrefleksyjne (takie jak filmy wielowarstwowe SiO2-TiO2), filmy o wysokim odbiciu (takie jak filmy ochronne Al+SiO2) i filtry filtrujące (takie jak filtry filtrujące podczerwień,Ultrafioletowe folie odcięcia) są powleczone na soczewkach, pryzmatów i lusterek w celu zwiększenia przepuszczalności światła, odbicia lub selektywności widmowej urządzeń optycznych.
   • Urządzenia wyświetlające: powłoki przezroczystego filmu przewodzącego (takich jak ITO, AZO), filmów antyrefleksyjnych i filmów dotykowych na szklanych podłogach wyświetlaczy LCD, OLED i Micro LED.
   • Urządzenia laserowe: Filmy o wysokiej odblaskowości i anty-odblaskowości są powleczone na komórce rezonansowej lasera i końcowej powierzchni włókna optycznego w celu optymalizacji wydajności transmisji lasera.
2. Elektronika i półprzewodniki
   • Urządzenia półprzewodnikowe: Elektrody metalowe (takie jak Au, Al, Ti) i folie pasywacyjne (takie jak SiO2, Si3N4) są powleczone na chipach i płytkach w celu zapewnienia przewodności i stabilności urządzeń.
   • Komponenty elektroniczne: powlekanie warstw funkcjonalnych folii (takich jak folia oporowa NiCr, folia dielektryczna Ta2O5) na kondensatorach, rezystorach i czujnikach w celu zwiększenia wydajności komponentów;
   • Urządzenia magnetyczne do przechowywania danych: powłoki folii magnetycznych (takich jak folie z stopów CoCrPt) na głowicach dysków twardych i taśmach magnetycznych w celu zwiększenia pojemności przechowywania danych i prędkości odczytu/zapisu.
3. W dziedzinie lotnictwa kosmicznego i obrony narodowej
   • Komponenty lotnicze: powlekanie warstw folii odpornych na zużycie, korozję i promieniowanie UV dla okien samolotów i soczewek optycznych satelitarnych;Okryj namierzacz pocisków filmem anty-refleksyjnym i filmem niewidocznym;
   • Narodowy sprzęt obrony: powlekanie warstw optycznych o wysokiej wydajności do broni laserowej i detektorów podczerwieni w celu zwiększenia adaptacyjności środowiskowej i wydajności bojowej sprzętu.
4. Pozostałe obszary wysokiej klasy
   • Urządzenia medyczne: powlekanie warstw folii optycznych o dobrej biokompatybilności i odporności na dezynfekcję dla soczewek sztucznych i soczewek endoskopowych;
   • Okrycie dekoracyjne i funkcjonalne: Okrycie wysokiej klasy tarczy zegarków i biżuterii płytami dekoracyjnymi odpornymi na zużycie i antyoksydującymi (takimi jak folia złota TiN, folia czarna Cr);Twarde folie ochronne (takie jak TiN i TiAlN) są pokrywane narzędziami i formami do cięcia w celu wydłużenia ich żywotności.