Máquina de revestimento por evaporação de feixe de elétrons de alta precisão equipamento de revestimento pvd

1. Sistema de vácuo (garantia básica para revestimento) Câmara de vácuo Conjunto de bombas de vácuo Medição e controlo de vácuo.
2. Sistema de arma de elétrons (núcleo de alimentação de energia) Fonte de emissão de elétrons Dispositivo de focagem e deflexão Módulo de controlo de potência.
3. Sistema de deposição por evaporação (chave para a formação de filme) Dispositivo de fixação do material alvo, monitoramento e controlo da espessura do filme, sensor central.
4. Sistema de controlo (automação e garantia de precisão) Unidade de controlo principal Módulo de controlo de circuito fechado Sistema de protecção de segurança.
5. Sistema de tratamento do substrato (melhorando a adesão do filme) Mecanismo de suporte e rotação do substrato; dispositivo de aquecimento do substrato, módulo de pré-tratamento de bombardeamento iônico (opcional).
6. Sistema auxiliar Sistema de refrigeração; sistema de controlo de gás.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. A precisão do revestimento é extremamente elevada e a qualidade da camada de filme é excelente
2. Tem uma ampla gama de materiais aplicáveis

   Uma variedade de materiais, tais como metais evaporáveis (Au, Ag, Al, Ti), ligas (NiCr, TiW), óxidos (SiO2, TiO2, Al2O3), sulfuros (ZnS) e cerâmica.

3. Alta eficiência de evaporação e forte adesão da camada de filme
4. Baixa poluição e elevada taxa de utilização dos materiais-alvo
5. Alto grau de automação e operação conveniente

1. Campo óptico (Core application scenarios)
   • Lentes ópticas: filmes anti-reflexos (como filmes multicamadas SiO2-TiO2), filmes de alta reflexão (como filmes de proteção Al+SiO2) e filtros (como filtros de infravermelho,Os filmes de corte ultravioleta) são revestidos em lentes, prismas e espelhos para melhorar a transmissão da luz, a reflectância ou a seletividade espectral dos dispositivos ópticos.
   • Dispositivos de exibição: Revestimento de películas condutivas transparentes (como ITO, AZO), películas antirreflectantes e películas sensíveis ao toque nos substratos de vidro dos ecrãs LCD, OLED e Micro LED.
   • Dispositivos a laser: filmes de alta reflexão e anti-reflexão são revestidos na cavidade de ressonância do laser e na face final da fibra óptica para otimizar a eficiência de transmissão do laser.
2. Eletrónica e semicondutores
   • Dispositivos semicondutores: Os eletrodos metálicos (como Au, Al, Ti) e as películas de passivação (como SiO2, Si3N4) são revestidos em chips e wafers para garantir a condutividade e estabilidade dos dispositivos.
   • Componentes eletrónicos: Revestimento de camadas funcionais de película (como película de resistência NiCr, película dielétrica Ta2O5) em condensadores, resistores e sensores para melhorar o desempenho dos componentes;
   • Dispositivos de armazenamento magnético: Revestimento de filmes magnéticos (como filmes de liga CoCrPt) em cabeças de disco rígido e fitas magnéticas para aumentar a capacidade de armazenamento e a velocidade de leitura/gravação.
3. Áreas aeroespaciais e de defesa nacional
   • Componentes aeroespaciais: revestimento de camadas de película resistentes ao desgaste, à corrosão e aos raios UV para janelas de aeronaves e lentes ópticas de satélite;Revesti o localizador de mísseis com filme antirreflexo infravermelho e filme furtivo;
   • Equipamento de defesa nacional: Revestimento de camadas de filme óptico de alto desempenho para armas a laser e detectores de infravermelho para melhorar a adaptabilidade ambiental e o desempenho de combate do equipamento.
4. Outros campos de gama alta
   • Dispositivos médicos: Revestimento de camadas de película óptica com boa biocompatibilidade e resistência à desinfecção para lentes artificiais e lentes endoscópicas;
   • Revestimento decorativo e funcional: Revestimento de mostradores de relógios e jóias de luxo com películas decorativas resistentes ao desgaste e à anti-oxidação (como película de ouro TiN, película preta Cr);As películas de proteção duras (como o TiN e o TiAlN) são revestidas em ferramentas de corte e moldes para prolongar a sua vida útil.