高精度電子ビーム蒸発コーティングマシン pvdコーティング機器

1. 真空システム（コーティングの基本保証） 真空チャンバー 真空ポンプセット 真空測定と制御。
2. 電子銃システム（エネルギー供給コア） 電子放出源 集束および偏向デバイス 電源制御モジュール。
3. 蒸着システム（成膜の鍵） るつぼアセンブリ; ターゲット材料固定装置 膜厚モニタリングと制御 コアセンサー。
4. 制御システム（自動化と精密保証） メインコントロールユニット 閉ループ制御モジュール 安全保護システム。
5. 基板処理システム（膜密着性の向上） 基板支持および回転機構; 基板加熱装置 イオン衝撃前処理モジュール（オプション）。
6. 補助システム 冷却システム; ガス制御システム。

高精度電子ビーム蒸着コーティング機のコア原理は、「電子ビームのエネルギーをターゲット材料の熱エネルギーに変換して材料蒸発 - 気相移動 - 基板堆積」という物理的プロセスです。

1. コーティング精度が非常に高く、膜質の品質が優れています
2. 幅広い適用材料があります

   蒸着可能な金属（Au、Ag、Al、Ti）、合金（NiCr、TiW）、酸化物（SiO₂、TiO₂、Al₂O₃）、硫化物（ZnS）、セラミックスなどのさまざまな材料。

3. 高い蒸発効率と強力な膜密着性
4. 低汚染とターゲット材料の高い利用率
5. 高度な自動化と便利な操作

1. 光学分野（コアアプリケーションシナリオ）
   • 光学レンズ：反射防止膜（SiO₂-TiO₂多層膜など）、高反射膜（Al+SiO₂保護膜など）、フィルター膜（赤外線フィルター膜、紫外線カットオフ膜など）をレンズ、プリズム、ミラーにコーティングして、光学デバイスの光透過率、反射率、またはスペクトル選択性を向上させます。
   • ディスプレイデバイス：LCD、OLED、Micro LEDディスプレイのガラス基板に透明導電膜（ITO、AZOなど）、反射防止膜、タッチセンシング膜をコーティングします。
   • レーザーデバイス：レーザー共振キャビティと光ファイバーの端面に高反射膜と反射防止膜をコーティングして、レーザー伝送効率を最適化します。
2. 電子および半導体分野
   • 半導体デバイス：チップやウェーハに金属電極（Au、Al、Tiなど）とパッシベーション膜（SiO₂、Si₃N₄など）をコーティングして、デバイスの導電性と安定性を確保します。
   • 電子部品：コンデンサ、抵抗器、センサーに機能性膜層（NiCr抵抗膜、Ta₂O₅誘電膜など）をコーティングして、部品の性能を向上させます。
   • 磁気記憶装置：ハードディスクヘッドや磁気テープに磁性膜（CoCrPt合金膜など）をコーティングして、記憶容量と読み書き速度を向上させます。
3. 航空宇宙および国防分野
   • 航空宇宙部品：航空機の窓や衛星光学レンズに耐摩耗性、耐食性、UV耐性膜層をコーティングします。ミサイルシーカーに赤外線反射防止膜とステルス膜をコーティングします。
   • 国防装備：レーザー兵器や赤外線検出器に高性能光学膜層をコーティングして、装備の環境適応性と戦闘性能を向上させます。
4. その他のハイエンド分野
   • 医療機器：人工レンズや内視鏡レンズに生体適合性と消毒耐性の高い光学膜層をコーティングします。
   • 装飾および機能性コーティング：高級腕時計の文字盤やジュエリーに耐摩耗性および酸化防止装飾膜（TiN金膜、Cr黒膜など）をコーティングします。切削工具や金型に硬質保護膜（TiNおよびTiAlNなど）をコーティングして、耐用年数を延長します。