Μηχανή επίστρωσης με εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων υψηλής ακρίβειας, εξοπλισμός επίστρωσης PVD

1. Σύστημα κενού (Βασική εγγύηση για την επίστρωση) Θάλαμος κενού, σύστημα αντλίας κενού, μέτρηση και έλεγχος κενού.
2. Σύστημα ηλεκτρονικού πιστολιού (Πηγή ενέργειας) Πηγή εκπομπής ηλεκτρονίων, συσκευή εστίασης και εκτροπής, μονάδα ελέγχου ισχύος.
3. Σύστημα εναπόθεσης εξάτμισης (Κλειδί για το σχηματισμό φιλμ) Συναρμολόγηση χωνευτηρίου; Συσκευή στερέωσης υλικού στόχου, παρακολούθηση και έλεγχος πάχους φιλμ, βασικός αισθητήρας.
4. Σύστημα ελέγχου (Αυτοματισμός και διασφάλιση ακρίβειας) Κύρια μονάδα ελέγχου, μονάδα ελέγχου κλειστού βρόχου, σύστημα προστασίας ασφαλείας.
5. Σύστημα επεξεργασίας υποστρώματος (Ενίσχυση της πρόσφυσης του φιλμ) Μηχανισμός στήριξης και περιστροφής υποστρώματος; Συσκευή θέρμανσης υποστρώματος, μονάδα προεπεξεργασίας βομβαρδισμού ιόντων (προαιρετικό).
6. Βοηθητικό σύστημα Σύστημα ψύξης; Σύστημα ελέγχου αερίου.

Η βασική αρχή της μηχανής επίστρωσης εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων υψηλής ακρίβειας είναι η φυσική διαδικασία της «μετατροπής της ενέργειας της δέσμης ηλεκτρονίων σε θερμική ενέργεια του υλικού στόχου για την επίτευξη εξάτμισης υλικού - μεταφοράς αερίου φάσης - εναπόθεσης υποστρώματος».

1. Η ακρίβεια επίστρωσης είναι εξαιρετικά υψηλή και η ποιότητα του στρώματος φιλμ είναι εξαιρετική
2. Έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμόσιμων υλικών

   Μια ποικιλία υλικών όπως εξατμιζόμενα μέταλλα (Au, Ag, Al, Ti), κράματα (NiCr, TiW), οξείδια (SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), σουλφίδια (ZnS) και κεραμικά.

3. Υψηλή απόδοση εξάτμισης και ισχυρή πρόσφυση στρώματος φιλμ
4. Χαμηλή ρύπανση και υψηλό ποσοστό χρήσης των υλικών στόχου
5. Υψηλός βαθμός αυτοματισμού και βολική λειτουργία

1. Οπτικό πεδίο (Βασικά σενάρια εφαρμογής)
   • Οπτικοί φακοί: Αντιανακλαστικά φιλμ (όπως φιλμ πολλαπλών στρώσεων SiO₂-TiO₂), φιλμ υψηλής ανάκλασης (όπως προστατευτικά φιλμ Al+SiO₂) και φιλμ φίλτρων (όπως φιλμ υπέρυθρων φίλτρων, φιλμ αποκοπής υπεριώδους) επιστρώνονται σε φακούς, πρίσματα και καθρέφτες για την ενίσχυση της διαπερατότητας φωτός, της ανακλαστικότητας ή της φασματικής επιλεκτικότητας των οπτικών συσκευών.
   • Συσκευές οθόνης: Επίστρωση διαφανών αγώγιμων φιλμ (όπως ITO, AZO), αντιανακλαστικών φιλμ και φιλμ ανίχνευσης αφής στα γυάλινα υποστρώματα οθονών LCD, OLED και Micro LED.
   • Συσκευές λέιζερ: Φιλμ υψηλής ανάκλασης και αντιανακλαστικά φιλμ επιστρώνονται στην κοιλότητα συντονισμού λέιζερ και στην τελική επιφάνεια της οπτικής ίνας για τη βελτιστοποίηση της απόδοσης μετάδοσης λέιζερ.
2. Ηλεκτρονικά και ημιαγωγοί
   • Συσκευές ημιαγωγών: Μεταλλικά ηλεκτρόδια (όπως Au, Al, Ti) και φιλμ παθητικοποίησης (όπως SiO₂, Si₃N₄) επιστρώνονται σε τσιπ και γκοφρέτες για να εξασφαλιστεί η αγωγιμότητα και η σταθερότητα των συσκευών.
   • Ηλεκτρονικά εξαρτήματα: Επίστρωση λειτουργικών στρωμάτων φιλμ (όπως φιλμ αντίστασης NiCr, διηλεκτρικό φιλμ Ta₂O₅) σε πυκνωτές, αντιστάσεις και αισθητήρες για την ενίσχυση της απόδοσης των εξαρτημάτων;
   • Συσκευές μαγνητικής αποθήκευσης: Επίστρωση μαγνητικών φιλμ (όπως φιλμ κράματος CoCrPt) σε κεφαλές σκληρών δίσκων και μαγνητικές ταινίες για την ενίσχυση της χωρητικότητας αποθήκευσης και της ταχύτητας ανάγνωσης/εγγραφής.
3. Αεροδιαστημική και εθνική άμυνα
   • Εξαρτήματα αεροδιαστημικής: Επίστρωση ανθεκτικών στη φθορά, ανθεκτικών στη διάβρωση και ανθεκτικών στην υπεριώδη ακτινοβολία στρωμάτων φιλμ για παράθυρα αεροσκαφών και οπτικούς φακούς δορυφόρων. Επίστρωση του ανιχνευτή πυραύλων με υπέρυθρο αντιανακλαστικό φιλμ και φιλμ stealth;
   • Εξοπλισμός εθνικής άμυνας: Επίστρωση στρωμάτων οπτικού φιλμ υψηλής απόδοσης για όπλα λέιζερ και υπέρυθρους ανιχνευτές για την ενίσχυση της περιβαλλοντικής προσαρμοστικότητας και της μαχητικής απόδοσης του εξοπλισμού.
4. Άλλα πεδία υψηλής τεχνολογίας
   • Ιατρικές συσκευές: Επίστρωση στρωμάτων οπτικού φιλμ με καλή βιοσυμβατότητα και αντοχή στην απολύμανση για τεχνητούς φακούς και φακούς ενδοσκοπίου;
   • Διακοσμητική και λειτουργική επίστρωση: Επίστρωση υψηλής ποιότητας καντράν ρολογιών και κοσμημάτων με ανθεκτικά στη φθορά και αντιοξειδωτικά διακοσμητικά φιλμ (όπως φιλμ χρυσού TiN, μαύρο φιλμ Cr). Σκληρά προστατευτικά φιλμ (όπως TiN και TiAlN) επιστρώνονται σε εργαλεία κοπής και καλούπια για την παράταση της διάρκειας ζωής τους.