Macchine di rivestimento ad evaporazione del fascio elettronico ad alta precisione

1. Sistema a vuoto (Garanzia di base per il rivestimento) Camera a vuoto Set pompa a vuoto Misurazione e controllo del vuoto.
2. Sistema a cannone elettronico (Nucleo di alimentazione) Sorgente di emissione di elettroni Dispositivo di focalizzazione e deflessione Modulo di controllo della potenza.
3. Sistema di deposizione per evaporazione (Chiave per la formazione del film) Gruppo crogiolo; Dispositivo di fissaggio del materiale bersaglio Monitoraggio e controllo dello spessore del film Sensore principale.
4. Sistema di controllo (Automazione e garanzia di precisione) Unità di controllo principale Modulo di controllo a circuito chiuso Sistema di protezione di sicurezza.
5. Sistema di trattamento del substrato (Migliorare l'adesione del film) Supporto del substrato e meccanismo di rotazione; Dispositivo di riscaldamento del substrato Modulo di pretrattamento con bombardamento ionico (opzionale).
6. Sistema ausiliario Sistema di raffreddamento; Sistema di controllo del gas.

Il principio fondamentale della macchina per il rivestimento a evaporazione a fascio di elettroni di alta precisione è il processo fisico di "conversione dell'energia del fascio di elettroni in energia termica del materiale bersaglio per ottenere l'evaporazione del materiale - trasferimento in fase gassosa - deposizione sul substrato".

1. La precisione del rivestimento è estremamente elevata e la qualità dello strato di film è eccellente
2. Ha una vasta gamma di materiali applicabili

   Una varietà di materiali come metalli evaporabili (Au, Ag, Al, Ti), leghe (NiCr, TiW), ossidi (SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), solfuri (ZnS) e ceramiche.

3. Elevata efficienza di evaporazione e forte adesione dello strato di film
4. Basso inquinamento e alto tasso di utilizzo dei materiali bersaglio
5. Alto grado di automazione e funzionamento conveniente

1. Campo ottico (Scenari applicativi principali)
   • Lenti ottiche: film antiriflesso (come film multistrato SiO₂-TiO₂), film ad alta riflessione (come film protettivi Al+SiO₂) e film filtranti (come film filtranti a infrarossi, film di taglio ultravioletti) sono rivestiti su lenti, prismi e specchi per migliorare la trasmittanza luminosa, la riflettanza o la selettività spettrale dei dispositivi ottici.
   • Dispositivi di visualizzazione: Rivestimento di film conduttivi trasparenti (come ITO, AZO), film antiriflesso e film di rilevamento tattile sui substrati di vetro di display LCD, OLED e Micro LED.
   • Dispositivi laser: film ad alta riflessione e antiriflesso sono rivestiti sulla cavità risonante laser e sulla faccia terminale della fibra ottica per ottimizzare l'efficienza di trasmissione laser.
2. Campo dell'elettronica e dei semiconduttori
   • Dispositivi a semiconduttore: elettrodi metallici (come Au, Al, Ti) e film di passivazione (come SiO₂, Si₃N₄) sono rivestiti su chip e wafer per garantire la conduttività e la stabilità dei dispositivi.
   • Componenti elettronici: Rivestimento di strati di film funzionali (come film di resistenza NiCr, film dielettrico Ta₂O₅) su condensatori, resistori e sensori per migliorare le prestazioni dei componenti;
   • Dispositivi di memorizzazione magnetica: Rivestimento di film magnetici (come film in lega CoCrPt) su testine di dischi rigidi e nastri magnetici per migliorare la capacità di archiviazione e la velocità di lettura/scrittura.
3. Campi aerospaziali e della difesa nazionale
   • Componenti aerospaziali: Rivestimento di strati di film resistenti all'usura, alla corrosione e ai raggi UV per finestre di aeromobili e lenti ottiche satellitari; Rivestire il cercatore di missili con film antiriflesso a infrarossi e film stealth;
   • Apparecchiature per la difesa nazionale: Rivestimento di strati di film ottici ad alte prestazioni per armi laser e rilevatori a infrarossi per migliorare l'adattabilità ambientale e le prestazioni di combattimento delle apparecchiature.
4. Altri campi di fascia alta
   • Dispositivi medici: Rivestimento di strati di film ottici con buona biocompatibilità e resistenza alla disinfezione per lenti artificiali e lenti per endoscopi;
   • Rivestimento decorativo e funzionale: Rivestimento di quadranti di orologi e gioielli di fascia alta con film decorativi resistenti all'usura e antiossidazione (come film d'oro TiN, film nero Cr); Film protettivi duri (come TiN e TiAlN) sono rivestiti su utensili da taglio e stampi per prolungarne la durata.