রিংযুক্ত ইলেকট্রন বন্দুক সিস্টেম:রিংযুক্ত ফিলামেন্ট (ক্যাথোড), অ্যানোড, ফোকাসিং কয়েল, ডিফ্লেকশন কয়েল; রিংযুক্ত ক্যাথোড গরম ইলেকট্রন নির্গত করে, যা বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র দ্বারা ত্বরান্বিত হয় এবং চৌম্বকীয় ক্ষেত্র দ্বারা ফোকাস এবং ডিফ্লেক্টর,যথার্থভাবে গর্তের ভিতরে উপাদান বোমা.
ভ্যাকুয়াম সিস্টেম: ভ্যাকুয়াম চেম্বার, যান্ত্রিক পাম্প, আণবিক পাম্প/ক্রিওজেনিক পাম্প। চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম সাধারণত 10−4 থেকে 10−6 Pa পর্যন্ত পৌঁছায়, যা গ্যাস-ফেজ সংঘর্ষ এবং দূষণ হ্রাস করে।
বাষ্পীভবনের উৎস এবং ক্রুজিলঃজল-শীতল তামার ক্রাইগল ক্রাইগল উপকরণগুলির বাষ্পীভবন এবং প্রতিক্রিয়া রোধ করতে এবং ফিল্ম স্তরের বিশুদ্ধতা বাড়াতে; এটি মাল্টি-স্টেশন স্যুইচিং এবং মাল্টি-স্তর ফিল্ম জমা সমর্থন করে।
সাবস্ট্র্যাট স্টেজঃএটি জল দ্বারা গরম / শীতল করা যেতে পারে, এবং অভিন্ন ফিল্ম বেধ নিশ্চিত করার জন্য সূর্য / তার নিজস্ব অক্ষের চারপাশে ঘোরাতে পারে।
নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থাঃউচ্চ-ভোল্টেজ পাওয়ার সাপ্লাই, রশ্মি নিয়ন্ত্রণ, ফিল্ম বেধ পর্যবেক্ষণ (ক্রিস্টাল দোলক), ভ্যাকুয়াম গেজ এবং অটোমেশন প্রোগ্রাম, প্যারামিটারগুলির বন্ধ লুপ নিয়ন্ত্রণ অর্জন।
ii. কাজের নীতি
ইলেকট্রন রশ্মি উৎপন্ন এবং ত্বরণঃযখন একটি টরয়েডাল ফিলামেন্ট বিদ্যুতায়িত হয়, তখন এটি গরম ইলেকট্রন নির্গত করে, যা উচ্চ শক্তি অর্জনের জন্য 5-10 কেভি উচ্চ-ভোল্টেজ বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র দ্বারা ত্বরান্বিত হয়।
ফোকাস এবং ডিফ্লেকশনঃইলেকট্রোম্যাগনেটিক কয়েল ইলেকট্রন রশ্মিকে লক্ষ্যবস্তুর পৃষ্ঠের উপর ফোকাস করে এবং ডিজিবলের ভিতরে, একটি শক্তি ঘনত্বের সাথে 106 থেকে 107 W / cm2 পর্যন্ত পৌঁছাতে পারে।
বাষ্পীভবন এবং অবসানঃইলেকট্রন রশ্মির গতিশক্তি তাপীয় শক্তিতে রূপান্তরিত হয়, এবং লক্ষ্য উপাদান দ্রুত বাষ্পীভবন বিন্দু পর্যন্ত গরম হয় এবং বাষ্পীভবন করে।গ্যাস-ফেজের পরমাণু/অণুগুলি উচ্চ শূন্যতার অধীনে সাবস্ট্র্যাটে একটি সরল রেখায় পরিবহন করা হয় এবং একটি অভিন্ন ফিল্ম গঠনের জন্য ঘনীভূত হয়.
প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণঃপ্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করার জন্য রিয়েল-টাইম মনিটরিং ডিপোজিশন রেট এবং ফিল্ম বেধ, ডাইনামিক সমন্বয় রাশির বর্তমান এবং শক্তি।
৩. মূল বৈশিষ্ট্য
উচ্চ শক্তি ঘনত্বঃস্থানীয় তাপমাত্রা 3000-6000°C পৌঁছতে পারে এবং এটি উচ্চ গলন পয়েন্টের উপকরণ যেমন টংস্টেন, মলিবডেনাম এবং SiO2 বাষ্পীভূত করতে পারে।
অত্যন্ত কম দূষণঃজল-শীতল ক্রুজিবল ক্রুজিবল দূষণ হ্রাস করে এবং ফিল্ম স্তরটির বিশুদ্ধতা 99.99% এরও বেশি পৌঁছতে পারে।
কার্যকারিতা এবং হারঃউচ্চ তাপীয় দক্ষতা, জমাট বাঁধার হার 0.1-100 এনএম/এস, ভারসাম্য কার্যকারিতা এবং ফিল্মের গুণমান।
নমনীয় প্রক্রিয়াঃমাল্টি-ক্রুজিবল স্যুইচিং মাল্টি-স্তরীয় ফিল্মগুলিকে সমর্থন করে। সাবস্ট্র্যাট গরম / ঘূর্ণন ফিল্ম স্তরের কম্প্যাক্টতা এবং আঠালোতা বাড়ায়।
চতুর্থাংশ. সুবিধা
ব্যাপক উপাদান অভিযোজনযোগ্যতাঃধাতু, খাদ, অক্সাইড, অর্ধপরিবাহী ইত্যাদির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, বিশেষত অগ্নি প্রতিরোধী উপকরণগুলির জন্য উপযুক্ত।
ফিল্ম লেয়ারের গুণমান চমৎকার:উচ্চ বিশুদ্ধতা, ভাল ঘনত্ব এবং শক্তিশালী আঠালো, উচ্চ নির্ভুলতা অপটিক্যাল এবং ইলেকট্রনিক ডিভাইসের প্রয়োজনীয়তা পূরণ।
খরচ-কার্যকারিতাঃউচ্চ উপাদান ব্যবহারের হার, লক্ষ্য উপাদানগুলিতে শক্তি খরচ এবং দীর্ঘমেয়াদী অপারেটিং খরচ কম।
স্বয়ংক্রিয়তার উচ্চ ডিগ্রীঃপ্যারামিটারগুলি সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণযোগ্য এবং ভাল পুনরাবৃত্তিযোগ্য, এটি বৈজ্ঞানিক গবেষণা এবং ভর উত্পাদন উভয়ের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।
V. সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন
অপটিক্যাল ফিল্ম:অ্যান্টি-রিফ্লেকশন ফিল্ম (এআর), হাই-রিফ্লেকশন ফিল্ম, ফিল্টার, বিম স্প্লিটার, গ্লাস, ক্যামেরা, লেজার ডিভাইস, ফোটোভোলটাইক সেল ব্যবহার করা হয়।
বৈজ্ঞানিক গবেষণা এবং ক্ষুদ্র উৎপাদন:বিশ্ববিদ্যালয় এবং গবেষণা প্রতিষ্ঠানগুলির জন্য উপাদান প্রস্তুত করা, পাশাপাশি এমইএমএস, বায়োমেডিক্যাল ডিভাইস ইত্যাদির জন্য কাস্টমাইজড ফিল্ম।