| ส่วนประกอบ | ข้อมูลจำเพาะ |
|---|---|
| ห้องสุญญากาศ | φ800×H900mm |
| วิธีการให้ความร้อน | ด้านบน ด้านข้าง ด้านล่าง (อุปกรณ์เสริม) |
| ระบบสุญญากาศสูง | ปั๊มโมเลกุล, ปั๊มแพร่, ปั๊มไครโอเจนิก (อุปกรณ์เสริม) |
| ระบบสุญญากาศต่ำ | ปั๊มแห้ง, ปั๊มตรง, ปั๊มรูทส์, ปั๊มโรตารีแวน (อุปกรณ์เสริม) |
| ระบบควบคุม | คอมพิวเตอร์อุตสาหกรรม หน้าจอสัมผัส ควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ |
| เครื่องวัดความหนาฟิล์มผลึก | Inficon XTC-3, SQC310, Shanghai MXC-3B |
| แหล่งกำเนิดไอออน | แหล่งกำเนิดไอออน RF, แหล่งกำเนิดไอออนฮอลล์, แหล่งกำเนิดไอออนคอฟแมน, แหล่งกำเนิดไอออนแคโทดกลวง (อุปกรณ์เสริม) |
| การหมุนชิ้นงาน | ตัวยึดชิ้นงานแบบร่ม, ตัวยึดชิ้นงานแบบลูกกลิ้ง (อุปกรณ์เสริม) |
| ปืนอิเล็กตรอน | ตำแหน่งเดียว, สองตำแหน่ง, หลายตำแหน่ง (อุปกรณ์เสริม) |
| หน่วยทำความเย็น | ผู้จำหน่ายหลายราย (อุปกรณ์เสริม) |
| ระบบโพรบ | เซ็นเซอร์หมุนแบบจุดเดียว, 6 จุด และ 12 จุด (อุปกรณ์เสริม) |
| แรงดันสุญญากาศสูงสุด | ≤8.0×10⁻⁵Pa (ห้องสุญญากาศสะอาดที่อุณหภูมิปกติ ไม่มีตัวอย่างและวัสดุเคลือบ) |
| ระบบกั้นไอระเหย | บล็อกหน่วย, บล็อกสองตำแหน่ง และบล็อกหมุนหลายตำแหน่ง (อุปกรณ์เสริม) |
| การรักษาแรงดันสุญญากาศ | ปิดวาล์วสูง, ระดับสุญญากาศ ≤9×10⁻²Pa หลังจาก 1 ชั่วโมง |
| แหล่งจ่ายไฟที่ต้องการ | ไฟฟ้าสามเฟส, 380V, 50HZ |
| แรงดันน้ำที่ต้องการ | 0.3-0.4Mpa |
| น้ำหนักอุปกรณ์ | 3T-4T |
| แรงดันอากาศที่ต้องการ | 0.6-0.8Mpa |
ติดต่อเราตลอดเวลา