<
>
เครื่องเคลือบอิเล็กตรอนเบย์ระเหยความละเอียดสูงที่คอมแพคต์ สําหรับการใช้งานเคลือบออทติกัลที่หลากหลาย
เครื่องเคลือบอิเล็กตรอนเบย์ระเหยความละเอียดสูงที่คอมแพคต์ สําหรับการใช้งานเคลือบออทติกัลที่หลากหลาย
สถานที่ผลิต:จ้าวชิง, กวางตุ้ง
ชื่อแบรนด์:Zhongda
การรับรอง:CE
ปริมาณการสั่งซื้อขั้นต่ำ:1
เวลาการส่งมอบ:45-60 วันทำงาน
รายละเอียดผลิตภัณฑ์
เน้น:
เครื่องระเหยแสงอิเล็กทรอนขนาดเล็ก
,อุปกรณ์ PVD ที่เคลือบแสง
,เครื่องเคลือบแสงอิเล็กตรอน
Control System:
อัตโนมัติเต็มรูปแบบ, กึ่งอัตโนมัติ, แมนนวล
Coating Process:
การระเหยแบบสุญญากาศ
Rotation Stand:
2 ชุด
Server:
เปิดกว้าง
Dimensions:
ประมาณ 2000มม. x 1500มม. x 1800มม
Cooling Method:
ระบายความร้อนด้วยน้ำ
Coating Transparency:
สูง
Coating Thickness:
ปรับได้
Chamber Material:
สแตนเลสหรือเหล็กกล้าคาร์บอน
Pumptype:
ปั๊มใบพัดหมุน+ปั๊มกระจาย
Voltage:
380V, 50Hz หรือสั่งทำพิเศษ
Coating Technology:
การระเหย
Coating Temperature:
ปรับได้
Evaporation Power Supply:
1 ชุด
Rotation System:
2 ชุด
คำอธิบายผลิตภัณฑ์
ข้อมูลรายละเอียดและลักษณะ
เครื่องเคลือบอิเล็กทรอนเบย์ระเหยขนาดเล็ก
รายละเอียดเทคนิคหลัก
| ประเภทปารามิเตอร์ | รายละเอียด |
|---|---|
| ความจุของสับสราท | ขนาดสูงสุด: สูงสุด 6 นิ้ว (150 มิลลิเมตร); รองรับกับโวฟเวอร์ขนาด 2"/4"/6" / องค์ประกอบทางออนไลน์; ขนาดขั้นต่ํา: 10 × 10 มิลลิเมตร |
| ผลประกอบการในระยะว่าง | ความว่างสุด: ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa); เวลาปั๊ม: นาทีถึง 5×10−6 Torr; อัตราการรั่วไหล: 10−3 Pa*L/s (He Leak Test) |
| ระบบระเหย | พลังงานรังสีอิเล็กตรอน: 250W-10kW; จํานวนของกระบอก/กระเป๋า: 4-8; ยืนยันแท่ง (สูงสุด φ4mm) & กระบอก (1-15cc) สินค้าดิบ |
| การควบคุมกระบวนการ | อุณหภูมิของชั้นรอง: RT-500°C (ความแม่นยํา ± 1°C); ความเร็วหมุน: 2-20 รอบ/นาที; มอนิเตอร์ความหนาของฟิล์ม: QCM (0.01 nm/s ความละเอียด) |
| คุณภาพหนัง | ความเหมือนกัน: ± 1% - ± 3%; ความแน่น: ตอบสนองมาตรฐาน ASTM D3359 4B; อัตราการฝัง: 0.1-10 nm/s |
| ความเหมาะสม | วัสดุ: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (รองรับ AR / AF / ผนังสะท้อน) |
| มิติทางกายภาพ | ขนาดของพื้นที่ใช้งาน: 1-3.3×3.0m; ความสูง: 2.5-3.5m; น้ําหนัก: <800kg (แบบโต๊ะทํางาน/โต๊ะทํางาน) |
| พลังงาน | โปรแกรมการใช้งานของเครื่องประกอบไฟฟ้า |
ข้อดีสําคัญ
การ ออกแบบ ที่ หนาแน่น และ ประหยัด พื้นที่
- โครงสร้างโต๊ะทํางาน / โมดูลที่มีมาตรฐาน Korvus HEX-800 เหมาะสําหรับการตั้งค่าห้องปฏิบัติการ / การวิจัย
- การบูรณาการง่ายกับกล่องถุงมือสําหรับกระบวนการบรรยากาศอ่อน
- การก่อสร้างเบาและการเปลี่ยนโมดูลที่ไม่มีเครื่องมือ ลดต้นทุนการติดตั้งและบํารุงรักษา
การเคลือบที่มีความแม่นยําสูงและน่าเชื่อถือ
- เทคโนโลยีศูนย์กลางรังสีอิเล็กตรอน ทําให้สามารถฝากโลหะที่ทนไฟ (Pt, W) และวัสดุ dielectric
- 0การควบคุมความหนา 0.01nm/s ด้วยความเหมือนกันของแผ่น ± 1% (นําในอุตสาหกรรมสําหรับอุปกรณ์ขนาดเล็ก)
- แหล่งไอออนฮอลล์ + การทําความสะอาดก่อนของพลาสมา Ar เพิ่มความแน่นและความแน่นของฟิล์ม
- ตอบสนองความต้องการการทํางานขององค์ประกอบทางออนไลน์ (ตัวอย่างเช่น ฟิล์ม AR ที่มีความผ่านมากกว่า 95%)
การปรับปรุงกระบวนการที่หลากหลายและยืดหยุ่น
- สนับสนุน 4-8 เครื่องต้ม/กระเป๋าสําหรับการพัดลมร่วมกันหลายวัสดุ
- การเปลี่ยนระหว่างฟิล์มโลหะ, โอกไซด์ และฟิล์มอินทรีย์อย่างรวดเร็ว (AF/AR/การสะท้อน/การป้องกัน)
- ปรับปรุงความสม่ําเสมอกับสับสราทขนาด 2-6 นิ้ว (โวฟร์, เลนส์, ใยไฟเบอร์ออฟติก)
- เครื่องติดตั้งที่สามารถปรับแต่งได้ (กลุม/knudzin/plate) สําหรับองค์ประกอบ 2D/3D
การใช้งานที่ฉลาดและสะดวกต่อผู้ใช้
- ระบบควบคุม PLC + หน้าจอสัมผัส พร้อมการติดตามกระบวนการในเวลาจริง
- ห้องสมุดกระบวนการที่วางโปรแกรมล่วงหน้าเพื่อการตั้งค่าอย่างรวดเร็ว
- การออกแบบปั๊มโมเลกุลระบายไฟฟ้าที่ประหยัดพลังงาน / ปั๊มระบายแม่เหล็กลดการบริโภคพลังงาน 30% เมื่อเทียบกับระบบประเพณี
ประหยัดสําหรับ R & D และการผลิตชุดเล็ก
- การลงทุนเบื้องต้นที่ต่ํา ด้วยอัตราการใช้งานเป้าหมายสูง (> 70%) และการเสียววัสดุอย่างน้อย
- เหมาะสําหรับการทําต้นแบบเพื่อการผลิตชุดเล็ก (สูงสุด 10,000 ชิ้น/ปี)
- การบูรณาการหลายฟังก์ชัน (การระเหยสายไฟฟ้า + การพ่นพ่นเป็นตัวเลือก) ยกเลิกความต้องการของอุปกรณ์หลายเครื่อง
ฟังก์ชันหลัก
การ อุ่น และ การ หายน้ํา อย่าง แม่นยํา
- ธ อร์อิเล็กตรอนแรงสูง บอมบอมผิวของวัสดุเป้าหมาย, การทําความร้อนสู่สภาพหลอมหรือระเหย
- พลังงานที่มุ่งเน้นและประสิทธิภาพทางความร้อนสูง ทําให้วัสดุที่ทนไฟ (ตองเฟรเมน โมลิบเดนูม ไทเทเนียม SiO2, TiO2)
- หลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของวัสดุเป้าหมายโดยแหล่งความร้อน
- สนับสนุนการสลับวัสดุเป้าหมายหลาย (2-6 ตําแหน่งตาก) สําหรับการฝากต่อเนื่องของฟิล์มชั้นเดียวและหลายชั้น
การควบคุมความหนาของฟิล์มอย่างแม่นยํา
- เครื่องตรวจจับความหนาของแผ่นสตาร์คซ์คริสตัลในตัว เพื่อตรวจสอบอัตราการฝากและความหนาในเวลาจริง
- ความแม่นยําในการควบคุมระดับนาโนเมตร (± 0,1nm) สําหรับฟิล์มฟังก์ชัน ultra-thin
- ระบบควบคุมที่สามารถเขียนโปรแกรมได้ พร้อมปริมาตรการฝังที่กําหนดล่วงหน้า (พลังงานขั้วอิเล็กตรอน, ระดับความว่าง, อัตราการฝัง)
- การเคลือบแบบอัตโนมัติรับประกันความสม่ําเสมอของชั้นหนังชุด
การรับประกันสภาพแวดล้อมระดับความว่างสูง
- เครื่องปั๊มกล + เครื่องปั๊มโมเลกุล หน่วยระบายความว่าง ลดช่องให้ 10−4 ~ 10−6 Pa สภาพแวดล้อมระบายความว่างสูง
- ลดการกระจายของโมเลกุลก๊าซและการปนเปื้อนของอนุภาคที่ระเหย
- รับประกันว่าชั้นหนังมีความบริสุทธิ์สูง ความหนาแน่นที่ดีและความแน่นแข็งแรง
การปรับปรุงชิ้นงานขนาดเล็ก
- เครื่องจักรกลที่ใช้งานในเครื่องยนต์
- ปรับปรุงความเหมือนกันของชั้นเคลือบในพื้นฐาน
- เหมาะสําหรับสับสราตตั้งแต่มิลลิเมตรถึงหลายสิบมิลลิเมตร (โวฟร์, เลนส์แสง, ชิป, ส่วนประกอบของเซนเซอร์)
- สนับสนุนการเคลือบของพื้นผิวการติดตั้งแผ่นและส่วนเล็ก
ข้อความสำหรับการตอบกลับด่วน
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
เครื่องเคลือบออปติคัลสูญญากาศราคาประหยัดพร้อมระบบควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบและเทคโนโลยีการเคลือบ E-Beam
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
เครื่องเคลือบลำแสงอิเล็กตรอนแบบออปติคัลพร้อมการตรวจสอบที่แม่นยำ ขนาดห้องสั่งทำพิเศษ และวัสดุเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูง
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
เครื่องเคลือบเลนส์ออปติกส์ เครื่องเคลือบแสงอิเล็กตรอน เครื่องเคลือบคลุมระยะว่างสําหรับเคลือบเลนส์โลหะ
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
อุปกรณ์เคลือบออนไลน์ขนาดใหญ่สําหรับเครื่องเคลือบ pvd
I. Core Structure Vacuum system (Basic guarantee for coating) Vacuum chamber Vacuum pump set Vacuum measurement and control. Electron beam system (Energy supply core) Electron emission source Focusing and deflection device Power control module. Evaporation deposition System (Key to film formation) ...
