หน้าแรก
>
ผลิตภัณฑ์
>
เครื่องเคลือบปืนอิเล็กตรอนแบบออปติคัล
>
เครื่องเคลือบอิเล็กตรอนเบย์ระเหยความละเอียดสูงที่คอมแพคต์ สําหรับการใช้งานเคลือบออทติกัลที่หลากหลาย
|
เครื่องเคลือบอิเล็กตรอนเบย์ระเหยความละเอียดสูงที่คอมแพคต์ สําหรับการใช้งานเคลือบออทติกัลที่หลากหลาย
| สถานที่กำเนิด | กวางตุ้ง |
| ชื่อแบรนด์ | Lion King |
| ได้รับการรับรอง | CE |
รายละเอียดผลิตภัณฑ์
ระบบควบคุม:
อัตโนมัติเต็มรูปแบบ, กึ่งอัตโนมัติ, แมนนวล
กระบวนการเคลือบ:
การระเหยแบบสุญญากาศ
แท่นหมุน:
2 ชุด
เซิร์ฟเวอร์:
เปิดกว้าง
ขนาด:
ประมาณ 2000มม. x 1500มม. x 1800มม
วิธีการทำความเย็น:
ระบายความร้อนด้วยน้ำ
ความโปร่งใสการเคลือบ:
สูง
ความหนาของการเคลือบ:
ปรับได้
วัสดุห้อง:
สแตนเลสหรือเหล็กกล้าคาร์บอน
แบบปั้ม:
ปั๊มใบพัดหมุน+ปั๊มกระจาย
แรงดันไฟฟ้า:
380V, 50Hz หรือสั่งทำพิเศษ
เทคโนโลยีการเคลือบ:
การระเหย
อุณหภูมิการเคลือบ:
ปรับได้
แหล่งจ่ายไฟระเหย:
1 ชุด
ระบบการหมุน:
2 ชุด
เน้น:
เครื่องระเหยแสงอิเล็กทรอนขนาดเล็ก
,อุปกรณ์ PVD ที่เคลือบแสง
,เครื่องเคลือบปืนอิเล็กตรอน
เงื่อนไขการชำระเงินและการจัดส่ง
จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ
1
เวลาการส่งมอบ
45-60 วันทำงาน
คำอธิบายผลิตภัณฑ์
เครื่องเคลือบอิเล็กทรอนเบย์ระเหยขนาดเล็ก
รายละเอียดเทคนิคหลัก
| ประเภทปารามิเตอร์ | รายละเอียด |
|---|---|
| ความจุของสับสราท | ขนาดสูงสุด: สูงสุด 6 นิ้ว (150 มิลลิเมตร); รองรับกับโวฟเวอร์ขนาด 2"/4"/6" / องค์ประกอบทางออนไลน์; ขนาดขั้นต่ํา: 10 × 10 มิลลิเมตร |
| ผลประกอบการในระยะว่าง | ความว่างสุด: ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa); เวลาปั๊ม: นาทีถึง 5×10−6 Torr; อัตราการรั่วไหล: 10−3 Pa*L/s (He Leak Test) |
| ระบบระเหย | พลังงานรังสีอิเล็กตรอน: 250W-10kW; จํานวนของกระบอก/กระเป๋า: 4-8; ยืนยันแท่ง (สูงสุด φ4mm) & กระบอก (1-15cc) สินค้าดิบ |
| การควบคุมกระบวนการ | อุณหภูมิของชั้นรอง: RT-500°C (ความแม่นยํา ± 1°C); ความเร็วหมุน: 2-20 รอบ/นาที; มอนิเตอร์ความหนาของฟิล์ม: QCM (0.01 nm/s ความละเอียด) |
| คุณภาพหนัง | ความเหมือนกัน: ± 1% - ± 3%; ความแน่น: ตอบสนองมาตรฐาน ASTM D3359 4B; อัตราการฝัง: 0.1-10 nm/s |
| ความเหมาะสม | วัสดุ: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (รองรับ AR / AF / ผนังสะท้อน) |
| มิติทางกายภาพ | ขนาดของพื้นที่ใช้งาน: 1-3.3×3.0m; ความสูง: 2.5-3.5m; น้ําหนัก: <800kg (แบบโต๊ะทํางาน/โต๊ะทํางาน) |
| พลังงาน | โปรแกรมการใช้งานของเครื่องประกอบไฟฟ้า |
ข้อดีสําคัญ
การ ออกแบบ ที่ หนาแน่น และ ประหยัด พื้นที่
- โครงสร้างโต๊ะทํางาน / โมดูลที่มีมาตรฐาน Korvus HEX-800 เหมาะสําหรับการตั้งค่าห้องปฏิบัติการ / การวิจัย
- การบูรณาการง่ายกับกล่องถุงมือสําหรับกระบวนการบรรยากาศอ่อน
- การก่อสร้างเบาและการเปลี่ยนโมดูลที่ไม่มีเครื่องมือ ลดต้นทุนการติดตั้งและบํารุงรักษา
การเคลือบที่มีความแม่นยําสูงและน่าเชื่อถือ
- เทคโนโลยีศูนย์กลางรังสีอิเล็กตรอน ทําให้สามารถฝากโลหะที่ทนไฟ (Pt, W) และวัสดุ dielectric
- 0การควบคุมความหนา 0.01nm/s ด้วยความเหมือนกันของแผ่น ± 1% (นําในอุตสาหกรรมสําหรับอุปกรณ์ขนาดเล็ก)
- แหล่งไอออนฮอลล์ + การทําความสะอาดก่อนของพลาสมา Ar เพิ่มความแน่นและความแน่นของฟิล์ม
- ตอบสนองความต้องการการทํางานขององค์ประกอบทางออนไลน์ (ตัวอย่างเช่น ฟิล์ม AR ที่มีความผ่านมากกว่า 95%)
การปรับปรุงกระบวนการที่หลากหลายและยืดหยุ่น
- สนับสนุน 4-8 เครื่องต้ม/กระเป๋าสําหรับการพัดลมร่วมกันหลายวัสดุ
- การเปลี่ยนระหว่างฟิล์มโลหะ, โอกไซด์ และฟิล์มอินทรีย์อย่างรวดเร็ว (AF/AR/การสะท้อน/การป้องกัน)
- ปรับปรุงความสม่ําเสมอกับสับสราทขนาด 2-6 นิ้ว (โวฟร์, เลนส์, ใยไฟเบอร์ออฟติก)
- เครื่องติดตั้งที่สามารถปรับแต่งได้ (กลุม/knudzin/plate) สําหรับองค์ประกอบ 2D/3D
การใช้งานที่ฉลาดและสะดวกต่อผู้ใช้
- ระบบควบคุม PLC + หน้าจอสัมผัส พร้อมการติดตามกระบวนการในเวลาจริง
- ห้องสมุดกระบวนการที่วางโปรแกรมล่วงหน้าเพื่อการตั้งค่าอย่างรวดเร็ว
- การออกแบบปั๊มโมเลกุลระบายไฟฟ้าที่ประหยัดพลังงาน / ปั๊มระบายแม่เหล็กลดการบริโภคพลังงาน 30% เมื่อเทียบกับระบบประเพณี
ประหยัดสําหรับ R & D และการผลิตชุดเล็ก
- การลงทุนเบื้องต้นที่ต่ํา ด้วยอัตราการใช้งานเป้าหมายสูง (> 70%) และการเสียววัสดุอย่างน้อย
- เหมาะสําหรับการทําต้นแบบเพื่อการผลิตชุดเล็ก (สูงสุด 10,000 ชิ้น/ปี)
- การบูรณาการหลายฟังก์ชัน (การระเหยสายไฟฟ้า + การพ่นพ่นเป็นตัวเลือก) ยกเลิกความต้องการของอุปกรณ์หลายเครื่อง
ฟังก์ชันหลัก
การ อุ่น และ การ หายน้ํา อย่าง แม่นยํา
- ธ อร์อิเล็กตรอนแรงสูง บอมบอมผิวของวัสดุเป้าหมาย, การทําความร้อนสู่สภาพหลอมหรือระเหย
- พลังงานที่มุ่งเน้นและประสิทธิภาพทางความร้อนสูง ทําให้วัสดุที่ทนไฟ (ตองเฟรเมน โมลิบเดนูม ไทเทเนียม SiO2, TiO2)
- หลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของวัสดุเป้าหมายโดยแหล่งความร้อน
- สนับสนุนการสลับวัสดุเป้าหมายหลาย (2-6 ตําแหน่งตาก) สําหรับการฝากต่อเนื่องของฟิล์มชั้นเดียวและหลายชั้น
การควบคุมความหนาของฟิล์มอย่างแม่นยํา
- เครื่องตรวจจับความหนาของแผ่นสตาร์คซ์คริสตัลในตัว เพื่อตรวจสอบอัตราการฝากและความหนาในเวลาจริง
- ความแม่นยําในการควบคุมระดับนาโนเมตร (± 0,1nm) สําหรับฟิล์มฟังก์ชัน ultra-thin
- ระบบควบคุมที่สามารถเขียนโปรแกรมได้ พร้อมปริมาตรการฝังที่กําหนดล่วงหน้า (พลังงานขั้วอิเล็กตรอน, ระดับความว่าง, อัตราการฝัง)
- การเคลือบแบบอัตโนมัติรับประกันความสม่ําเสมอของชั้นหนังชุด
การรับประกันสภาพแวดล้อมระดับความว่างสูง
- เครื่องปั๊มกล + เครื่องปั๊มโมเลกุล หน่วยระบายความว่าง ลดช่องให้ 10−4 ~ 10−6 Pa สภาพแวดล้อมระบายความว่างสูง
- ลดการกระจายของโมเลกุลก๊าซและการปนเปื้อนของอนุภาคที่ระเหย
- รับประกันว่าชั้นหนังมีความบริสุทธิ์สูง ความหนาแน่นที่ดีและความแน่นแข็งแรง
การปรับปรุงชิ้นงานขนาดเล็ก
- เครื่องจักรกลที่ใช้งานในเครื่องยนต์
- ปรับปรุงความเหมือนกันของชั้นเคลือบในพื้นฐาน
- เหมาะสําหรับสับสราตตั้งแต่มิลลิเมตรถึงหลายสิบมิลลิเมตร (โวฟร์, เลนส์แสง, ชิป, ส่วนประกอบของเซนเซอร์)
- สนับสนุนการเคลือบของพื้นผิวการติดตั้งแผ่นและส่วนเล็ก
สินค้าแนะนำ
ติดต่อเราตลอดเวลา
18207198662
ถนน Lantang South, เขต Duanzhou, เมือง Zhaoqing, กวางตอง 526060 จีน
