Домой
>
продукты
>
Машина для нанесения покрытий на оптический электронный пучок
>
Компактная высокоточная электронная машина для испарения лучей для многофункционального оптического покрытия
|
Компактная высокоточная электронная машина для испарения лучей для многофункционального оптического покрытия
| Место происхождения | Гуандун |
| Фирменное наименование | Lion King |
| Сертификация | CE |
Детали продукта
система управления:
Полноавтоматический, полуавтоматический, ручной
Процесс покрытия:
Вакуумное испарение
Вращающийся стенд:
2 комплекта
Сервер:
открытый
Размеры:
Прибл. 2000 мм х 1500 мм х 1800 мм
метод охлаждения:
Водяное охлаждение
Прозрачность покрытия:
Высокий
Толщина покрытия:
Регулируемый
Материал камеры:
Нержавеющая сталь или углеродистая сталь
Тип насоса:
Пластинчато-роторный насос + диффузионный насос
Напряжение:
380 В, 50 Гц или на заказ
Технология покрытия:
Испарение
Температура покрытия:
Регулируемый
Испособный источник питания:
1 комплект
Система вращения:
2 комплекта
Выделить:
Маленькая машина для испарения электронного луча
,оборудование для оптического покрытия PVD
,электронная пушечная покрывающая машина
Условия оплаты и доставки
Количество мин заказа
1
Время доставки
45-60 рабочих дней
Описание продукта
Маленькие электронные лучевые испарения покрывающие машины
Основные технические спецификации
| Категория параметров | Подробная информация |
|---|---|
| Пропускная способность подложки | Максимальный размер: до 6 дюймов (150 мм); совместим с 2 "/4"/6" пластинами / оптическими компонентами; Минимальный размер: 10 × 10 мм |
| Производительность вакуума | Ультимативный вакуум: ≤ 1×10−6 Torr (1,3×10−4 Pa); Время перекачки: минуты до 5×10−6 Torr; Скорость утечки: 10−3 Pa*L/s (испытание утечки) |
| Система испарения | Мощность электронного луча: 250W-10kW; Количество тигров/жабов: 4-8; Поддерживающий стержень (макс φ4mm) & сырье тигрова (1-15cc) |
| Контроль процессов | Температура субстрата: RT-500°C (точность ±1°C); Скорость вращения: 2-20 оборотов в минуту; Монитор толщины пленки: QCM (0,01 нм/с разрешение) |
| Качество фильма | Однородность: ±1%-±3%; Сцепление: соответствует стандарту ASTM D3359 4B; Скорость осаждения: 0,1-10 нм/с |
| Совместимость | Материалы: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (поддерживает AR/AF/отражающие пленки) |
| Физические размеры | Отпечаток: 1-3 × 3,0 м; Высота: 2,5-3,5 м; Вес: < 800 кг (модели настольных/стольных столов) |
| Силовое питание | Однофазный/трехфазный: 220V/380V, 50/60Hz; Потребление энергии: 1,2 кВт-10 кВт |
Ключевые преимущества
Компактный и экономичный дизайн
- Настольная/модульная конструкция с стандартом Korvus HEX-800, идеально подходит для лабораторных/исследовательских условий
- Легкая интеграция с перчатками для процессов инертной атмосферы
- Легкая конструкция и замена модуля без инструментов снижают затраты на установку и обслуживание
Высокоточное и надежное покрытие
- Технология фокусировки электронного луча позволяет откладывать огнеупорные металлы (Pt, W) и диэлектрические материалы
- 0Контроль толщины 0,01 нм/с с однородностью пленки ± 1% (лидер в отрасли для малого оборудования)
- Источник ионов Холла + предварительная очистка плазмы Ar повышает адгезию пленки (4B класс) и плотность
- Удовлетворяет требованиям к производительности оптических компонентов (например, AR-пленки с проницаемостью > 95%)
Универсальная и гибкая адаптация процессов
- Поддерживает 4-8 тигров / карман для многоматериальной коэпароляции
- Быстрый переход между металлическими, оксидными и органическими пленками (AF/AR/отражающие/защитные покрытия)
- Совместимые с подложками длиной 2-6 дюймов (вафры, линзы, оптические волокна)
- Настраиваемые светильники (купол/knudzin/plate) для 2D/3D компонентов
Интеллектуальная и удобная эксплуатация
- Система управления ПЛК + сенсорным экраном с мониторингом процессов в режиме реального времени
- Заранее запрограммированные библиотеки процессов для быстрой настройки
- Энергоэффективный дизайн криопампы / магнитного молекулярного насоса с подвеской снижает расход энергии на 30% по сравнению с традиционными системами
Эффективность затрат для НИОКР и производства малых партий
- Низкие первоначальные инвестиции с высоким целевым показателем использования (>70%) и минимальным отходом материалов
- Подходит для создания прототипов для производства небольших партий (до 10 000 штук в год)
- Многофункциональная интеграция (выпаривание электронного луча + опциональное распыливание) исключает необходимость использования нескольких устройств
Основные функции
Точный нагрев и испарение
- Высокоэнергетические электронные лучи бомбардируют поверхности целевого материала, нагревая до расплавленного или испаренного состояния
- Концентрированная энергия и высокая тепловая эффективность позволяют испарять огнеупорные материалы (вольфрам, молибден, титан, SiO2, TiO2)
- Избегает загрязнения целевого материала источником нагрева
- Поддерживает переключение многоцелевого материала (2-6 позиций тигрова для непрерывного отложения однослойных и многослойных пленок)
Точный контроль толщины пленки
- Встроенный кварцевый кристаллический монитор толщины пленки для мониторинга скорости осаждения и толщины в реальном времени
- Точность контроля на уровне нанометров (± 0,1 нм) для ультратонких функциональных пленок
- Программируемая система управления с заранее установленными параметрами осаждения (мощность электронного пучка, степень вакуума, скорость осаждения)
- Автоматическое покрытие обеспечивает консистенцию слоя пленки партии
Гарантия высокой вакуумной среды
- Механический насос + вакуумный модуль молекулярного насоса уменьшает полость до 10−4~10−6 Pa высокой вакуумной среды
- Уменьшает рассеивание молекул газа и загрязнение испаренных частиц
- Обеспечивает высокую чистоту слоев пленки, хорошую плотность и сильную адгезию
Приспособление небольших деталей
- Специально предназначенные для небольших деталей с вращающимся столом для деталей
- Улучшает однородность слоя покрытия на всех подложках
- Подходит для подложки в диапазоне от миллиметров до десятков миллиметров (вофы, оптические линзы, чипы, компоненты датчиков)
- Поддерживает покрытие поверхностной установки, листа и небольших частей
Рекомендуемые товары
СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время
18207198662
Южная дорога Лантанг, район Дуаньчжоу, город Чжаоцин, провинция Гуандун 526060 Китай
