Equipo de recubrimiento óptico
Aplicaciones:
El número de personas afectadas
Película de alta reflectividad
Película espectroscópica
Las demás películas ópticas
Características:
Equipado con sensor de oscilador de cristal de 6 puntos + controlador de espesor de película
Fuente de iones de RF
Equipado con pistolas de doble electrón, crisol de anillo y multipunto
El sistema de control de evaporación automática se utiliza para realizar el proceso de evaporación automática
El operador puede equiparse opcionalmente con tipo de paraguas o tipo planetario.
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Especificación
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Cámara de vacío |
SUS 304, φ1550 mmx1800 mm ((H) |
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Tamaño del trabajador |
φ1400 mm |
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Velocidad del trabajador |
La velocidad de rotación de la unidad de ensayo será igual a la de la unidad de ensayo. |
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Dispositivo de detección del grosor de la película |
Sensor de oscilador de cristal de 6 puntos + controlador de espesor de película |
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Fuente de evaporación |
2 juegos de armas de electrón |
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Fuente de información |
Fuente de iones de RF de 23 cm |
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Sistema de escape |
Bomba mecánica+bomba de difusión ((o bomba molecular) +bomba de captura criogénica |
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Desempeño
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Presión máxima |
Por debajo de 7.0x10-4 años¿ Qué pasa? |
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Tiempo de escape |
15 min (presión atmosférica) ~ 1.3x10- ¿ Qué?¿Qué es esto? |
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Temperatura del sustrato |
Máximo: 350 °C |
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Condición de trabajo |
Tamaño del equipo |
En el caso de los vehículos de la categoría M1, el vehículo de la categoría M2 debe ser equipado con un sistema de control de velocidad. |
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Fuente de energía |
Fuente de alimentación de 3 fases, 380V, 50Hz, aproximadamente 100kVA |
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Agua de refrigeración |
El caudal de agua es de 11 m3/h, la temperatura es de 20°C-25°C |
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Presión del aire |
Por encima de 0,6-0,7 MPa |
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Peso |
Aproximadamente 11000 kg |
1.Equipado con cristal de cuarzo o instrumento óptico de control del espesor de la película, puede realizar un control automático y preciso del espesor de la película.
2.Equipado con un dispositivo de bombardeo iónico purifica la superficie del sustrato para hacer una mejor adhesión entre la capa de película y la superficie del sustrato y mejorar la calidad de la capa de película.
3.Equipado con una gran pistola de electrones de crisol, la superficie del material de película es lisa y la capa de película se distribuye uniformemente en todo el proceso de evaporación
Adopta un controlador programable (PLC), una interfaz de control hombre-máquina con pantalla táctil (HMI), fácil de operar, control manual/totalmente automático con conmutación libre.
Máquina de recubrimiento de vacío de óptica
Introducción:Esta máquina se utiliza principalmente para el revestimiento de varias películas como la película mejorada de transparencia, la película espectroscópica, la película de paso de banda / película de corte y la película de alto reflejo.Puede colocar un sistema de película súper grande con 100 capas de película, y una película de transparencia mejorada con varios colores, una película reflectante con un color rojo, amarillo, azul, verde o arco iris
Principales características:
1Esta máquina está equipada con una pistola electrónica de crisol súper grande. En todo el proceso de evaporación la superficie de la película es plana y la distribución de evaporación es uniforme.
2Esta máquina está equipada con un instrumento de control del espesor de la película de cristal de cuarzo para controlar la velocidad de formación de la película y el proceso de metalización automáticamente.
3Esta máquina está equipada con una fuente de iones de alta potencia para producir un espesor de película de buena calidad.
4El sistema de vacío es controlado automáticamente por un PLC para una operación conveniente.
5El sistema operativo de vacío está protegido con un bloqueo. La bomba de difusión tiene funciones de corte de agua y alarma de pérdida de fase.
6La pantalla táctil y el control automático PLC se utilizan para establecer los parámetros de los componentes principales de toda la máquina, para monitorear el funcionamiento de esta máquina en tiempo real,y para diagnosticar las fallas inteligentemente.
Configuración principal:
1La cámara de vacío es una estructura de caja de tipo vertical con una puerta delantera; la caja está hecha completamente de acero inoxidable; las dimensiones de la cavidad interna son Φ800mm1200mm.
2Configuración del sistema de vacío: con bomba molecular (o bomba de difusión), bomba de raíces, bombas mecánicas.
3Sistema de enfriamiento profundo con una criopumpa de vapor de agua de ciclo rápido
4. Work Piece Rack es una pieza de trabajo de forma arcada integrada, se puede personalizar de acuerdo con el cliente.
5El sistema de recubrimiento está equipado con uno o dos conjuntos de escáneres electrónicos de gran potencia de tipo e de desviación magnética de 270 ° en direcciones XY.El sistema de metalización auxiliar está equipado con una fuente de iones Holl.
6. horneado: con visualización digital y control automático con una precisión de control de temperatura de ±1.5.
7El sistema de monitoreo del espesor de la película puede controlar la velocidad de evaporación de la pistola electrónica.en el que la longitud de onda se controla dentro del rango de 200-900nm .
8Sistema de control: El vacío se controla por una pantalla táctil de color de 10,4 pulgadas junto con un controlador lógico programable.
Especificación del parámetro
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Modelo |
León-700 |
León-1000 |
León-1100 |
León-1300 |
León-1350 |
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Tamaño de la cámara |
750 × 800 mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300 × 1350 |
1350×1500 |
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Tipo de película de recubrimiento |
Película antirreflexión óptica, AR, antirreflexión de banda ancha, antirreflexión de punto único, filtro óptico y película decorativa |
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Instalaciones |
4 piezas de accesorios en forma de arco, una sola rotación de placa en forma de arco, 3 piezas de placas de rotación y rotación del planeta, 12 ejes de rotación y rotación (horizontal) |
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Estructura de la cámara de vacío |
vertical / horizontal (304 acero inoxidable), el sistema de vacío puesto en el poste |
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Sistema de vacío |
bomba de válvula de deslizamiento (bomba rotativa), bomba de raíces, bomba de difusión, bomba de mantenimiento (opcional: bomba molecular, bomba de frío profundo, sistema de frío profundo) |
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Sistema de calefacción |
Calentado por tubo de calefacción, control PID, temperatura máxima: 350 grados |
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Sistema de inflación |
regulador de caudal de masa y válvula eléctrica magnética |
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Arma eléctrica |
Arma eléctrica 4 crisollas redondas y un crisol en forma de U, de alto voltaje 4KV-8KV ajustable. |
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Resistencia Fuente de evaporación |
2 grupos de fuentes de evaporación de resistencia |
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Fuente de iones |
potencia 2KW, corriente máxima del ánodo 6A. filamentos dobles que aumentan la fuerza de fijación, la densidad y el índice de reflexión de la capa de película (Kerr) |
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Controlador de espesor de película de cristal |
El controlador de espesor de película de cristal SQC-310 ((América) y el PLC componen el sistema de bombeo y evaporación del haz E totalmente automático. |
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El último vacío |
8×104 limpio y descargado |
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Tiempo de bombeo |
Desde la atmósfera hasta 5×103pa en menos de 15 minutos |
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Método de control |
Manual, semiautomático, totalmente automático / pantalla táctil y PLC |
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En el caso de la |
Se puede diseñar de acuerdo con la solicitud del cliente |
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