|
Electronenkanon-optische coatingmachine voor optische lenzen van mineraal glas, optische lenzen van polymeer
| Plaats van herkomst | Guangdong |
| Merknaam | Lion King |
| Certificering | CE |
PVD vacuümcoatingsmachine van roestvrij staal
,PVD Vacuüm Coating Machine Touchscreen
,Multi Arc Ion PVD Vacuüm Coating Machine
Optische Coatingapparatuur
Toepassingen:
AR/AF
Hoge reflecterende film
Spectroscopische film
Andere optische film
Kenmerken:
Uitgerust met 6-punts kristaloscillator sensor + filmdiktecontroller
RF ionenbron
Uitgerust met dubbele elektronenkanonnen, meerpunts en ringkroes
Automatisch verdampingscontrolesysteem wordt gebruikt om het automatische verdampingsproces te realiseren
Werkhouder kan optioneel worden uitgerust met paraplu-type of planetaire type
|
Specificatie
|
Vacuümkamer |
SUS 304, φ1550mmx1800mm(H) |
|
|
Werkhouder maat |
φ1400mm |
|
|
Werkhouder snelheid |
0-60rpm(variabel) |
|
|
Filmdikte detectieapparaat |
6-punts kristaloscillator sensor + filmdiktecontroller |
|
|
Verdampingsbron |
2 sets elektronenkanonnen |
|
|
Ionenbron |
23cm RF ionenbron |
|
|
Uitlaatsysteem |
Mechanische pomp + diffusiepomp (of moleculaire pomp) + cryogene vangpomp |
|
Prestaties
|
Ultieme druk |
Onder 7.0x10-4Pa |
|
|
Uitlaattijd |
15 min (atmosferische druk ~ 1.3x10- 3Pa) |
|
|
Substraattemperatuur |
Maximaal: 350°C |
|
Werkomstandigheden |
Apparatuur maat |
ongeveer 5500mm(B)x7200mm(D)x3700mm(H) |
|
|
Voeding |
3-fasen voeding, 380v, 50Hz, ongeveer 100kVA |
|
|
Koelwater |
Waterstroom is 11m³/u, temperatuur is 20°C-25°C |
|
|
Luchtdruk |
Boven 0.6-0.7MPa |
|
|
Gewicht |
Ongeveer 11000kg |
1. Uitgerust met kwartskristal of optische filmdikte controle-instrument, kan automatische en nauwkeurige filmdiktecontrole realiseren.
2. Uitgerust met ionenbombardement apparaat zuivert het substraatoppervlak om betere hechting tussen de filmlaag en het substraatoppervlak te verkrijgen en de kwaliteit van de filmlaag te verbeteren.
3. Uitgerust met een groot kroes elektronenkanon, het oppervlak van het filmmateriaal is glad en de filmlaag is gelijkmatig verdeeld in het gehele verdampingsproces
Gebruikt programmeerbare controller (PLC), touchscreen (HMI) mens-machine besturingsinterface, eenvoudig te bedienen, handmatige/volledig automatische controle vrij schakelen.
Optische Vacuüm Coating Machine
Introductie: Deze machine wordt voornamelijk gebruikt voor het plateren van verschillende films zoals transparantie-versterkende film, spectroscopische film, banddoorlaatfilm/afsnijfilm en hoogreflecterende film. Het kan een supergroot filmsysteem met 100 lagen film plateren, en een transparantie-versterkende film met verschillende kleuren, een reflectiefilm met rode, gele, blauwe, groene of regenboogkleur
Belangrijkste Kenmerken:
1. Deze machine is uitgerust met een supergroot kroes elektronisch kanon. Tijdens het gehele verdampingsproces is het filmoppervlak vlak en de verdampingsverdeling is gelijkmatig.
2. Deze machine is uitgerust met een kwartskristal filmdikte controle-instrument om de filmsnelheid en het metallisatieproces automatisch te regelen.
3. Deze machine is uitgerust met een hoogvermogen ionenbron om een film met goede kwaliteit te produceren.
4. De algehele structuur is rationeel ontworpen om beter te voldoen aan de procesvereisten. Het vacuümsysteem wordt automatisch bestuurd door PLC voor gemakkelijke bediening.
5. Het vacuümbedrijfssysteem is beveiligd met een interlock. De diffusiepomp heeft functies voor waterafsluiting en faseverliesalarm.
6. Touchscreen en PLC automatische besturing worden gebruikt om parameters van de hoofdonderdelen van de gehele machine in te stellen, om de werking van deze machine in realtime te monitoren en om storingen intelligent te diagnosticeren.
Hoofdconfiguratie:
1. De vacuümkamer is een verticale boxstructuur met een voordeur; de box is volledig gemaakt van roestvrij staal; afmetingen van de interne holte zijn Φ800mm1200mm.
2. Vacuümsysteemconfiguratie: met moleculaire pomp (of diffusiepomp), Roots pomp, mechanische pompen.
3. Diepkoelsysteem met een snelle cyclus waterdamp cryopomp
4. Werkstukrek is een geïntegreerd gebogen werkstuk, kan worden aangepast aan de klant.
5. Coating systeem is uitgerust met een of twee sets hoogvermogen e-type 270° magnetische afbuigende elektronenkanonnen die in XY-richtingen scannen. Het hulpmetalliseringssysteem is uitgerust met een Holl ionenbron.
6. Bakken: Digitaal weergegeven en automatisch geregeld met een temperatuurregelprecisie van ±1.5.
7. Het filmdiktebewakingssysteem kan de verdampingssnelheid van het elektronenkanon regelen. Het optische filmdiktebewakingssysteem, waarbij de golflengte wordt geregeld binnen het bereik van 200-900nm.
8. Besturingssysteem: Het vacuüm wordt bestuurd door een 10,4 inch kleurentouchscreen gekoppeld aan een programmeerbare logische controller. Het vacuüm en coatingproces worden volledig automatisch bestuurd.
Parameter Specificatie
|
Model |
Lion-700 |
Lion-1000 |
Lion-1100 |
Lion-1300 |
Lion-1350 |
|
Kamermaten |
750×800mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
Coating Film Type |
Optische antireflectiefilm, AR, breedband antireflectie, enkelpunts antireflectie, optisch filter en decoratieve film |
||||
|
Fixture |
4 stuks gebogen armaturen, enkele gebogen plaat revolutie, 3 stuks platen planetaire rotatie en revolutie, 12 assen rotatie en revolutie (horizontaal) |
||||
|
Vacuümkamer Structuur |
verticaal / horizontaal (304 roestvrij staal), vacuümsysteem post-gepositioneerd |
||||
|
Vacuümsysteem |
schuifkleppomp (rotatiepomp), roots pomp, diffusiepomp, onderhoudspomp (optioneel: moleculaire pomp, diepvriespomp, diepvriessysteem) |
||||
|
Verwarmingssysteem |
verwarmd door verwarmingsbuis, PID-regeling, max. temperatuur: 350 graden |
||||
|
Inflatiesysteem |
massastroomregelaar & elektromagneetklep |
||||
|
Elektrisch Kanon |
Elektrisch kanon 4 ronde kroesjes en een U-vormige kroes, hoogspanning 4KV-8KV instelbaar. Driehoeksgolf, sinusgolf en rechthoeksgolf scannen zijn optioneel. |
||||
|
Weerstand Verdampingsbron |
2 groepen weerstand verdampingsbron |
||||
|
Ionenbron |
vermogen 2KW, max. anode stroom 6A. dubbele filamenten die de aanhechtingskracht, dichtheid en brekingsindex van de filmlaag verhogen (Kerr) |
||||
|
Kristal Filmdikte Controller |
kristal filmdikte controller SQC-310 (Amerika) en PLC vormen het volledig automatische pomp- en E-straal verdampingssysteem. |
||||
|
Ultiem Vacuüm |
8×104paclean en onbeladen |
||||
|
Pomptijd |
Van atmosfeer naar 5×103pa minder dan 15 minuten |
||||
|
Besturingsmethode |
handmatig, semi-automatisch, volledig automatisch / touchscreen & PLC |
||||
|
Opmerking |
Kan worden ontworpen volgens klantverzoek |
||||
Neem op elk moment contact met ons op.
