Attrezzatura per rivestimenti ottici
Applicazioni:
AR/AF
Film ad alta riflettività
Film spettroscopico
Altro film ottico
Caratteristiche:
Dotato di sensore a oscillatore a cristallo a 6 punti + controller dello spessore del film
Sorgente ionica RF
Dotato di doppi cannoni elettronici, crogioli multipunto e ad anello
Viene utilizzato un sistema di controllo automatico dell'evaporazione per realizzare il processo di evaporazione automatico
Il portapezzo può essere dotato opzionalmente di tipo a ombrello o di tipo planetario
|
Specifiche
|
Camera a vuoto |
SUS 304, φ1550mmx1800mm(H) |
|
|
Dimensioni del portapezzo |
φ1400mm |
|
|
Velocità del portapezzo |
0-60 giri/min (variabile) |
|
|
Dispositivo di rilevamento dello spessore del film |
Sensore a oscillatore a cristallo a 6 punti + controller dello spessore del film |
|
|
Sorgente di evaporazione |
2 set di cannoni elettronici |
|
|
Sorgente ionica |
Sorgente ionica RF da 23 cm |
|
|
Sistema di scarico |
Pompa meccanica + pompa a diffusione (o pompa molecolare) + pompa di cattura criogenica |
|
Prestazioni
|
Pressione finale |
Inferiore a 7.0x10-4Pa |
|
|
Tempo di scarico |
15 min (pressione atmosferica ~ 1,3x10- 3Pa) |
|
|
Temperatura del substrato |
Massima: 350°C |
|
Condizioni di lavoro |
Dimensioni dell'attrezzatura |
circa 5500mm(L)x7200mm(P)x3700mm(A) |
|
|
Alimentazione |
Alimentazione trifase, 380V, 50Hz, circa 100kVA |
|
|
Acqua di raffreddamento |
Portata d'acqua 11m³/h, temperatura 20°C-25°C |
|
|
Pressione dell'aria |
Superiore a 0,6-0,7 MPa |
|
|
Peso |
Circa 11000 kg |
1. Dotato di quarzo o strumento di controllo dello spessore del film ottico, può realizzare un controllo automatico e preciso dello spessore del film.
2. Dotato di dispositivo di bombardamento ionico purifica la superficie del substrato per ottenere una migliore adesione tra lo strato del film e la superficie del substrato e migliorare la qualità dello strato del film.
3. Dotato di cannone elettronico a crogiolo grande, la superficie del materiale del film è liscia e lo strato del film è distribuito uniformemente durante l'intero processo di evaporazione
Adotta un controller programmabile (PLC), un'interfaccia di controllo uomo-macchina con touchscreen (HMI), facile da usare, commutazione manuale/completamente automatica liberamente.
Macchina per rivestimenti sottovuoto ottici
Introduzione: Questa macchina è utilizzata principalmente per la placcatura di vari film come film a trasparenza migliorata, film spettroscopico, film passa-banda/taglia-banda e film ad alta riflettività. Può placcare un sistema di film super grande con 100 strati di film e un film a trasparenza migliorata con vari colori, un film riflettente con un colore rosso, giallo, blu, verde o arcobaleno
Caratteristiche principali:
1. Questa macchina è dotata di un cannone elettronico a crogiolo super grande. Durante l'intero processo di evaporazione, la superficie del film è piatta e la distribuzione dell'evaporazione è uniforme.
2. Questa macchina è dotata di uno strumento di controllo dello spessore del film a cristallo di quarzo per controllare automaticamente la velocità di formazione del film e il processo di metallizzazione.
3. Questa macchina è dotata di una sorgente ionica ad alta potenza per produrre uno spessore del film di buona qualità.
4. La struttura complessiva è progettata razionalmente per soddisfare meglio i requisiti del processo. Il sistema del vuoto è controllato automaticamente da PLC per un funzionamento conveniente.
5. Il sistema operativo del vuoto è protetto da un interblocco. La pompa a diffusione ha funzioni di allarme di interruzione dell'acqua e di perdita di fase.
6. Vengono utilizzati il touchscreen e il controllo automatico PLC per impostare i parametri dei componenti principali dell'intera macchina, per monitorare il funzionamento di questa macchina in tempo reale e per diagnosticare intelligentemente i guasti.
Configurazione principale:
1. La camera a vuoto è una struttura a scatola di tipo verticale con porta anteriore; la scatola è interamente realizzata in acciaio inossidabile; le dimensioni della cavità interna sono Φ800mm1200mm.
2. Configurazione del sistema del vuoto: con pompa molecolare (o pompa a diffusione), pompa Roots, pompe meccaniche.
3. Sistema di raffreddamento profondo con una criopompa a vapore acqueo a ciclo rapido
4. Il rack per pezzi è un pezzo ad arco integrato, personalizzabile in base al cliente.
5. Il sistema di rivestimento è dotato di uno o due set di cannoni elettronici a scansione magnetica ad alta potenza a 270° in direzioni XY. Il sistema di metallizzazione ausiliario è dotato di una sorgente ionica Holl.
6. Cottura: visualizzata digitalmente e controllata automaticamente con una precisione di controllo della temperatura di ±1,5.
7. Il sistema di monitoraggio dello spessore del film può controllare la velocità di evaporazione del cannone elettronico. Il sistema di monitoraggio dello spessore del film ottico, in cui la lunghezza d'onda è controllata nell'intervallo 200-900nm.
8. Sistema di controllo: il vuoto è controllato da un touchscreen a colori da 10,4 pollici accoppiato a un controller logico programmabile. Il processo di vuoto e di rivestimento sono completamente controllati automaticamente.
Specifiche dei parametri
|
Modello |
Lion-700 |
Lion-1000 |
Lion-1100 |
Lion-1300 |
Lion-1350 |
|
Dimensioni camera |
750×800mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
Tipo di film di rivestimento |
Film ottico antiriflesso, AR, antiriflesso a banda larga, antiriflesso a punto singolo, filtro ottico e film decorativo |
||||
|
Fissaggio |
4 pezzi di fissaggi ad arco, rotazione singola della piastra ad arco, 3 pezzi di rotazione e rivoluzione planetaria delle piastre, 12 assi di rotazione e rivoluzione (orizzontale) |
||||
|
Struttura camera a vuoto |
verticale / orizzontale (acciaio inossidabile 304), sistema del vuoto posizionato posteriormente |
||||
|
Sistema del vuoto |
pompa a valvola scorrevole (pompa rotativa), pompa Roots, pompa a diffusione, pompa di mantenimento (opzionale: pompa molecolare, pompa a freddo profondo, sistema a freddo profondo) |
||||
|
Sistema di riscaldamento |
riscaldato da tubo di riscaldamento, controllo PID, temperatura massima: 350 gradi |
||||
|
Sistema di gonfiaggio |
controller di flusso di massa e valvola elettromagnetica |
||||
|
Cannone elettronico |
Cannone elettronico 4 crogioli rotondi e un crogiolo a forma di U, alta tensione 4KV-8KV regolabile. Scansione a onda triangolare, sinusoidale e rettangolare opzionale. |
||||
|
Sorgente di evaporazione a resistenza |
2 gruppi di sorgenti di evaporazione a resistenza |
||||
|
Sorgente ionica |
potenza 2KW, corrente anodica massima 6A. doppi filamenti che aumentano la forza di adesione, la densità e l'indice di rifrazione dello strato del film (Kerr) |
||||
|
Controller dello spessore del film a cristallo |
Il controller dello spessore del film a cristallo SQC-310 (America) e il PLC costituiscono il sistema di pompaggio completamente automatico e di evaporazione a fascio elettronico. |
||||
|
Vuoto finale |
8×104paclean e scaricato |
||||
|
Tempo di pompaggio |
Da atmosfera a 5×103pa meno di 15 minuti |
||||
|
Metodo di controllo |
manuale, semi-automatico, completamente automatico / touchscreen e PLC |
||||
|
Nota |
Può essere progettato secondo la richiesta del cliente |
||||
Contattaci in qualsiasi momento