|
Установка оптического покрытия электронно-лучевой пушки для оптических линз из минерального стекла, полимерных оптических линз
| Место происхождения | Гуандун |
| Фирменное наименование | Lion King |
| Сертификация | CE |
Машина для вакуумного покрытия ПВД из нержавеющей стали
,Вакуумная установка PVD-напыления
,сенсорный экран
Оборудование для оптических покрытий
Применения:
AR/AF
Высокоотражающая пленка
Спектроскопическая пленка
Другая оптическая пленка
Особенности:
Оснащен 6-точечным датчиком кварцевого генератора + контроллером толщины пленки
РЧ-ионный источник
Оснащен двойными электронными пушками, многоточечной и кольцевой титрами
Используется автоматическая система контроля испарения для реализации автоматического процесса испарения
Держатель заготовки может быть опционально оснащен зонтичным или планетарным типом
|
Спецификация
|
Вакуумная камера |
SUS 304, φ1550ммx1800мм(В) |
|
|
Размер держателя заготовки |
φ1400мм |
|
|
Скорость держателя заготовки |
0-60 об/мин (регулируемая) |
|
|
Устройство обнаружения толщины пленки |
6-точечный датчик кварцевого генератора + контроллер толщины пленки |
|
|
Источник испарения |
2 комплекта электронных пушек |
|
|
Ионный источник |
23см РЧ-ионный источник |
|
|
Система вытяжки |
Механический насос + диффузионный насос (или молекулярный насос) + криогенный захватный насос |
|
Производительность
|
Предельное давление |
Ниже 7.0x10-4Па |
|
|
Время откачки |
15 мин (атмосферное давление ~ 1.3x10- 3Па) |
|
|
Температура подложки |
Максимум: 350°C |
|
Условия эксплуатации |
Размер оборудования |
около 5500мм(Ш)x7200мм(Г)x3700мм(В) |
|
|
Источник питания |
3-фазное электропитание, 380В, 50Гц, около 100 кВА |
|
|
Охлаждающая вода |
Расход воды 11м³/ч, температура 20°C-25°C |
|
|
Давление воздуха |
Выше 0.6-0.7МПа |
|
|
Вес |
Около 11000кг |
1. Оснащен кварцевым генератором или прибором контроля толщины оптической пленки, что позволяет осуществлять автоматический и точный контроль толщины пленки.
2. Оснащен устройством ионной бомбардировки, которое очищает поверхность подложки для лучшей адгезии между слоем пленки и поверхностью подложки и улучшения качества слоя пленки.
3. Оснащен электронной пушкой с большим тиглем, поверхность пленкообразующего материала гладкая, а слой пленки равномерно распределен в течение всего процесса испарения.
Используется программируемый контроллер (ПЛК), сенсорный экран (HMI) человеко-машинный интерфейс управления, прост в эксплуатации, свободное переключение между ручным/полностью автоматическим управлением.
Оптическая вакуумная установка для нанесения покрытий
Введение: Эта машина в основном используется для нанесения различных пленок, таких как пленка, повышающая прозрачность, спектроскопическая пленка, полосовая/отсекающая пленка и высокоотражающая пленка. Она может наносить сверхбольшую систему пленок из 100 слоев, а также пленку, повышающую прозрачность различных цветов, отражающую пленку красного, желтого, синего, зеленого или радужного цвета.
Основные характеристики:
1. Эта машина оснащена сверхбольшой электронной пушкой с тиглем. В течение всего процесса испарения поверхность пленки плоская, а распределение испарения равномерное.
2. Эта машина оснащена прибором контроля толщины пленки на основе кварцевого генератора для автоматического контроля скорости формирования пленки и процесса металлизации.
3. Эта машина оснащена мощным ионным источником для получения пленки хорошего качества.
4. Общая конструкция рационально спроектирована для лучшего удовлетворения технологических требований. Вакуумная система автоматически управляется ПЛК для удобства эксплуатации.
5. Вакуумная рабочая система защищена блокировкой. Диффузионный насос имеет функции сигнализации об отключении воды и потере фазы.
6. Сенсорный экран и автоматическое управление ПЛК используются для установки параметров основных компонентов всей машины, для мониторинга работы машины в реальном времени и для интеллектуальной диагностики неисправностей.
Основная конфигурация:
1. Вакуумная камера представляет собой вертикальную коробчатую конструкцию с передней дверью; короб полностью изготовлен из нержавеющей стали; размеры внутренней полости составляют Φ800мм1200мм.
2. Конфигурация вакуумной системы: с молекулярным насосом (или диффузионным насосом), форвандровым насосом, механическими насосами.
3. Система глубокого охлаждения с быстродействующим криогенным насосом для водяного пара
4. Стойка для заготовок представляет собой интегрированную арочную стойку для заготовок, может быть изготовлена по индивидуальному заказу клиента.
5. Система нанесения покрытий оснащена одним или двумя комплектами мощных электронных пушек типа E с магнитным отклонением на 270°, сканирующих в направлениях XY. Вспомогательная система металлизации оснащена ионным источником Холла.
6. Запекание: Цифровое отображение и автоматическое управление с точностью контроля температуры ±1.5.
7. Система мониторинга толщины пленки может контролировать скорость испарения электронной пушки. Система оптического мониторинга толщины пленки, в которой длина волны контролируется в диапазоне 200-900нм.
8. Система управления: Вакуум управляется 10,4-дюймовым цветным сенсорным экраном в сочетании с программируемым логическим контроллером. Вакуум и процесс нанесения покрытий полностью автоматизированы.
Спецификация параметров
|
Модель |
Lion-700 |
Lion-1000 |
Lion-1100 |
Lion-1300 |
Lion-1350 |
|
Размер камеры |
750×800мм |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
Тип пленки для нанесения |
Оптическая антибликовая пленка, AR, широкополосная антибликовая, одноточечная антибликовая, оптический фильтр и декоративная пленка |
||||
|
Крепеж |
4 шт. дугообразных креплений, вращение одной дугообразной пластины, вращение и орбитальное движение 3 пластин, вращение и орбитальное движение 12 валов (горизонтальное) |
||||
|
Структура вакуумной камеры |
вертикальная / горизонтальная (нержавеющая сталь 304), вакуумная система расположена сверху |
||||
|
Вакуумная система |
насос с золотниковым клапаном (роторный насос), форвандровый насос, диффузионный насос, поддерживающий насос (опционально: молекулярный насос, криогенный насос, криогенная система) |
||||
|
Система нагрева |
нагрев нагревательной трубой, ПИД-регулирование, максимальная температура: 350 градусов |
||||
|
Система подачи газа |
массовый расходомер и электромагнитный клапан |
||||
|
Электронная пушка |
Электронная пушка с 4 круглыми титрами и U-образной тиглем, высокое напряжение 4КВ-8КВ регулируемое. Опционально сканирование треугольной, синусоидальной и прямоугольной волной. |
||||
|
Источник резистивного испарения |
2 группы источника резистивного испарения |
||||
|
Ионный источник |
мощность 2 кВт, максимальный анодный ток 6А. двойные нити накала, увеличивающие силу прилипания, плотность и показатель преломления пленки (Керр) |
||||
|
Контроллер толщины пленки на основе кристалла |
Контроллер толщины пленки на основе кристалла SQC-310 (Америка) и ПЛК составляют полностью автоматическую систему вакуумирования и электронно-лучевого испарения. |
||||
|
Предельный вакуум |
8×104Па (чистый и разгруженный) |
||||
|
Время откачки |
От атмосферного до 5×103Па менее 15 минут |
||||
|
Метод управления |
ручной, полуавтоматический, полностью автоматический / сенсорный экран и ПЛК |
||||
|
Примечание |
Может быть разработан по запросу клиента |
||||
СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время
