ऑप्टिकल कोटिंग उपकरण
अनुप्रयोग:
एआर/एएफ
उच्च परावर्तक फिल्म
स्पेक्ट्रोस्कोपिक फिल्म
अन्य ऑप्टिकल फिल्म
विशेषताएं:
6-बिंदु क्रिस्टल ऑसिलेटर सेंसर + फिल्म मोटाई नियंत्रक से सुसज्जित
आरएफ आयन स्रोत
डबल इलेक्ट्रॉन बंदूकें, बहु-बिंदु और अंगूठी पिघल से सुसज्जित
स्वचालित वाष्पीकरण नियंत्रण प्रणाली का उपयोग स्वचालित वाष्पीकरण प्रक्रिया का एहसास करने के लिए किया जाता है
कार्यधारक वैकल्पिक रूप से छाता प्रकार या ग्रह प्रकार से सुसज्जित किया जा सकता है
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विनिर्देश
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वैक्यूम कक्ष |
SUS 304, φ1550mmx1800mm ((H) |
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श्रमिक का आकार |
φ1400 मिमी |
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श्रमिक की गति |
0-60rpm (परिवर्तनीय) |
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फिल्म मोटाई का पता लगाने वाला यंत्र |
6-बिंदु क्रिस्टल ऑसिलेटर सेंसर + फिल्म मोटाई नियंत्रक |
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वाष्पीकरण स्रोत |
इलेक्ट्रॉन बंदूकों के 2 सेट |
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स्रोत |
23 सेमी आरएफ आयन स्रोत |
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निकास प्रणाली |
मैकेनिकल पंप+डिफ्यूजन पंप ((या आणविक पंप) + क्रायोजेनिक कैप्चर पंप |
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प्रदर्शन
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अंतिम दबाव |
7.0x10 से नीचे-4पिताजी |
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निकास समय |
15 मिनट (वायुमंडलीय दबाव) ~1.3x10- तीनप) |
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सब्सट्रेट का तापमान |
अधिकतम:350°C |
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कार्य की स्थिति |
उपकरण का आकार |
लगभग 5500 मिमी ((W) x7200 मिमी ((D) x3700 मिमी ((H) |
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विद्युत स्रोत |
3-चरण बिजली आपूर्ति,380V,50Hz,लगभग 100kVA |
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शीतलन जल |
जल प्रवाह दर 11m3/h है, तापमान 20°C-25°C है |
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वायु दबाव |
0.6-0.7MPa से ऊपर |
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वजन |
लगभग 11000 किलो |
1.क्वार्ट्ज क्रिस्टल या ऑप्टिकल फिल्म मोटाई नियंत्रण उपकरण से लैस, स्वचालित और सटीक फिल्म मोटाई नियंत्रण का एहसास कर सकते हैं।
2.आयन बमबारी उपकरण से लैस फिल्म परत और सब्सट्रेट सतह के बीच बेहतर आसंजन बनाने और फिल्म परत की गुणवत्ता में सुधार करने के लिए सब्सट्रेट सतह को शुद्ध करता है।
3.बड़े क्रिज़बल इलेक्ट्रॉन बंदूक से लैस, फिल्म सामग्री की सतह चिकनी है और फिल्म की परत पूरी वाष्पीकरण प्रक्रिया में समान रूप से वितरित है
प्रोग्रामेबल नियंत्रक (पीएलसी), टच स्क्रीन (एचएमआई) मैन-मशीन नियंत्रण इंटरफ़ेस, संचालित करने में आसान, मैनुअल / पूर्ण स्वचालित नियंत्रण स्वतंत्र रूप से स्विच को अपनाता है।
ऑप्टिक्स वैक्यूम कोटिंग मशीन
परिचय:इस मशीन का उपयोग मुख्य रूप से विभिन्न फिल्मों जैसे पारदर्शिता बढ़ी हुई फिल्म, स्पेक्ट्रोस्कोपिक फिल्म, बैंड पास फिल्म / कटऑफ फिल्म और उच्च प्रतिबिंब फिल्म को कवर करने के लिए किया जाता है।यह फिल्म के 100 परतों के साथ एक सुपर बड़े फिल्म प्रणाली प्लेट कर सकते हैं, और विभिन्न रंगों के साथ पारदर्शिता में वृद्धि की फिल्म, लाल, पीले, नीले, हरे या इंद्रधनुष रंग के साथ एक प्रतिबिंब फिल्म
मुख्य विशेषताएं:
1यह मशीन एक सुपर बड़े क्रिज़िबल इलेक्ट्रॉनिक बंदूक से लैस है। पूरी वाष्पीकरण प्रक्रिया में फिल्म की सतह सपाट है और वाष्पीकरण वितरण समान है।
2यह मशीन क्वार्ट्ज क्रिस्टल फिल्म मोटाई नियंत्रण उपकरण से लैस है ताकि फिल्म बनाने की गति और धातुकरण प्रक्रिया को स्वचालित रूप से नियंत्रित किया जा सके।
3यह मशीन उच्च शक्ति वाले आयन स्रोत से सुसज्जित है ताकि अच्छी गुणवत्ता वाली फिल्म की मोटाई का उत्पादन किया जा सके।
4समग्र संरचना को तर्कसंगत रूप से प्रक्रिया आवश्यकताओं को बेहतर ढंग से पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।
5वैक्यूम ऑपरेटिंग सिस्टम को एक इंटरलॉक द्वारा संरक्षित किया गया है। प्रसार पंप में पानी कटऑफ और चरण हानि अलार्म कार्य हैं।
6टच स्क्रीन और पीएलसी स्वचालित नियंत्रण का उपयोग पूरी मशीन के मुख्य घटकों के मापदंडों को सेट करने के लिए किया जाता है, वास्तविक समय में इस मशीन के संचालन की निगरानी करने के लिए,और दोषों का समझदारी से निदान करना.
मुख्य विन्यासः
1वैक्यूम कक्ष एक ऊर्ध्वाधर प्रकार का बॉक्स संरचना है जिसमें एक सामने का दरवाजा है; बॉक्स पूरी तरह से स्टेनलेस स्टील से बना है; आंतरिक गुहा के आयाम Φ800mm1200mm हैं।
2वैक्यूम प्रणाली विन्यासः आणविक पंप (या प्रसार पंप), जड़ पंप, यांत्रिक पंप के साथ।
3. जल वाष्प क्रायोपंप के साथ गहरी शीतलन प्रणाली
4. कार्य टुकड़ा रैक एक एकीकृत कमान आकार कार्य टुकड़ा है, ग्राहक के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।
5कोटिंग प्रणाली एक या दो सेट उच्च शक्ति ई प्रकार 270° चुंबकीय विचलन इलेक्ट्रॉनिक बंदूक XY दिशाओं में स्कैनिंग से सुसज्जित है।सहायक धातुकरण प्रणाली एक होल आयन स्रोत से सुसज्जित है.
6बेकिंग: डिजिटल रूप से प्रदर्शित और स्वचालित रूप से ± 1 की तापमान नियंत्रण सटीकता के साथ नियंत्रित किया जाता है।5.
7फिल्म मोटाई निगरानी प्रणाली इलेक्ट्रॉनिक बंदूक के वाष्पीकरण दर को नियंत्रित कर सकते हैं।जिसमें तरंग दैर्ध्य को 200-900 एनएम की सीमा के भीतर नियंत्रित किया जाता है .
8. नियंत्रण प्रणाली: वैक्यूम को 10.4 इंच के कलर टच स्क्रीन द्वारा प्रोग्राम करने योग्य लॉजिक कंट्रोलर के साथ नियंत्रित किया जाता है। वैक्यूम और कोटिंग प्रक्रिया को पूरी तरह से स्वचालित रूप से नियंत्रित किया जाता है।
पैरामीटर विनिर्देश
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मॉडल |
शेर-700 |
शेर-1000 |
शेर-1100 |
शेर-1300 |
शेर-1350 |
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कक्ष का आकार |
750×800 मिमी |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
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कोटिंग फिल्म का प्रकार |
ऑप्टिकल एंटी रिफ्लेक्शन फिल्म, एआर, ब्रॉडबैंड एंटी रिफ्लेक्शन, सिंगल पॉइंट एंटी रिफ्लेक्शन, ऑप्टिकल फिल्टर और सजावटी फिल्म |
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फिक्स्चर |
4 आर्क के आकार के जुड़नार के टुकड़े, एकल आर्क के आकार के प्लेट रोटेशन, 3 टुकड़े प्लेट ग्रह रोटेशन और रोटेशन, 12 शाफ्ट रोटेशन और रोटेशन (क्षैतिज) |
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वैक्यूम कक्ष संरचना |
ऊर्ध्वाधर / क्षैतिज (304 स्टेनलेस स्टील), वैक्यूम प्रणाली पोस्ट तैनात |
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वैक्यूम प्रणाली |
स्लाइड वाल्व पंप ((रोटरी पंप), जड़ पंप, प्रसार पंप, रखरखाव पंप (वैकल्पिकः आणविक पंप, गहरे ठंड पंप, गहरे ठंड प्रणाली) |
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हीटिंग सिस्टम |
हीटिंग ट्यूब द्वारा गर्म, पीआईडी नियंत्रण, अधिकतम तापमानः 350 डिग्री |
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मुद्रास्फीति प्रणाली |
द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक और विद्युत चुंबकीय वाल्व |
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विद्युत बंदूक |
विद्युत बंदूक 4 गोल आकार के पिघल और एक यू आकार का पिघल, उच्च वोल्टेज 4KV-8KV समायोज्य। त्रिकोण तरंग, सीन-तरंग और आयत तरंग स्कैनिंग वैकल्पिक हैं। |
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प्रतिरोध वाष्पीकरण स्रोत |
प्रतिरोध वाष्पीकरण स्रोत के 2 समूह |
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आयन स्रोत |
शक्ति 2KW, अधिकतम एनोड धारा 6A. दोहरे फिलामेंट जो फिल्म परत के लगाव बल, घनत्व और परावर्तन सूचकांक को बढ़ाते हैं (केर) |
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क्रिस्टल फिल्म मोटाई नियंत्रक |
क्रिस्टल फिल्म मोटाई नियंत्रक SQC-310 ((अमेरिका) और पीएलसी पूरी तरह से स्वचालित पंपिंग और ई-बीम वाष्पीकरण प्रणाली बनाते हैं। |
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परम वैक्यूम |
8×104साफ़ और अनलोड |
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पंप समय |
वायुमंडल से 5×103pa तक 15 मिनट से कम समय में |
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नियंत्रण विधि |
मैनुअल, अर्ध-स्वचालित, पूर्ण स्वचालित/टच स्क्रीन और पीएलसी |
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टिप्पणी |
ग्राहकों के अनुरोध के अनुसार डिजाइन किया जा सकता है |
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