| Moleculaire pomp | 6 sets moleculaire pomp |
| Glijventielpomp | 2 sets van 150L/S, 4 merken |
| Rootpomp | 1 set model ZJP-1200 |
| Beschermingssysteem | E-Beam: E240 model. 240 mm diameter smeltkroes (5 + 1 acupoints), jog rotatie, automatische wisselende langzame rotatie, met positie display |
| Ionbron | Een set Hall-ionbron (inclusief de bron en de stroomvoorziening) |
| Diktemeter | met een vermogen van niet meer dan 50 W |
| PLC's | Mitsubishi |
| Vacuümdruk | Van de atmosfeer tot 5*10−2Pa ≤ 6 minuten (zonder belasting, droge, schone ruimte) |
| Grootte van de kamer | φ2100*1650mm (andere afmetingen: φ1600*1600mm, 600*800mm enz.) |
Neem op elk moment contact met ons op.