| Pompes moléculaires | 6 ensembles de pompes moléculaires |
| Pompes à soupape de glissement | 2 ensembles de 150L/S, 4 marques au choix |
| Pompes à racines | 1 jeu de modèle ZJP-1200 |
| Système de revêtement | E-Beam: modèle E240. Crêpe de 240 mm de diamètre (5 + 1 points d'acupuncture), rotation de jogging, rotation lente automatique, avec affichage de position |
| Source ionique | Un ensemble de sources d'ions Hall (y compris la source et l'alimentation de commande) |
| Mètre d'épaisseur | d'une hauteur n'excédant pas 300 cm3 |
| PLC | Mitsubishi |
| Pression sous vide | De l'atmosphère à 5*10−2Pa ≤ 6 minutes (sans charge, pièce sèche et propre) |
| Taille de la chambre | φ2100*1650mm (autres tailles: φ1600*1600mm, 600*800mm, etc.) |
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