| आणविक पम्प | आणविक पंप के 6 सेट |
| स्लाइड वाल्व पंप | 150L/S के 2 सेट, 4 ब्रांड पसंद के लिए उपलब्ध हैं |
| जड़ें पम्प | 1 सेट ZJP-1200 मॉडल |
| कोटिंग प्रणाली | ई-बीम: E240 मॉडल। 240 मिमी व्यास क्रूसिबल (5+1 एक्यूप्वाइंट), जॉग रोटेशन, स्वचालित प्रत्यावर्ती धीमी गति से रोटेशन, स्थिति प्रदर्शन के साथ |
| आयन स्रोत | हॉल आयन स्रोत का एक सेट (स्रोत और नियंत्रण बिजली आपूर्ति सहित) |
| मोटाई मीटर | एकल नियंत्रण हेड के साथ 310 क्रिस्टल-नियंत्रित |
| पीएलसी | मित्सुबिशी |
| वैक्यूम दबाव | वातावरण से 5*10⁻²Pa ≤ 6 मिनट (कोई भार नहीं, सूखा, साफ कमरा) |
| चैंबर का आकार | φ2100*1650मिमी (अन्य आकार: φ1600*1600मिमी, 600*800मिमी आदि) |
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