| 분자 펌프 | 분자 펌프 6 세트 |
| 슬라이드 밸브 펌프 | 150L/S의 2 세트, 4 개의 브랜드 선택 가능 |
| 뿌리 펌프 | 1 세트 ZJP-1200 모델 |
| 코팅 시스템 | E-beam: E240 모델. 240mm 지름의 크라이블 (5 + 1 아쿠포 포인트), 조그 회전, 자동 역 회전 느린 회전, 위치 표시 |
| 이온 소스 | 홀 이온 소스 한 세트 (소스 및 제어 전원 공급 장치 포함) |
| 두께 미터 | 310 단 하나의 제어 헤드로 결정 제어 |
| PLC | 미쓰비시 |
| 진공 압력 | 대기에서 5*10−2Pa ≤ 6분 (부하 없이, 건조하고 깨끗한 방) |
| 방 크기 | φ2100*1650mm (다른 크기: φ1600*1600mm, 600*800mm 등) |