La machine de revêtement optique à faisceau électronique est un équipement de base dans le domaine de la fabrication optique de précision.et des matériaux optiques ionisants à point de fusion élevé, dépose ensuite les matériaux vaporisés sur la surface des substrats pour former des films optiques ultra-minces, uniformes et haute performance.Ces films sont largement utilisés dans les composants optiques tels que les films anti-réflexion, des films à haute réflexion, des films filtrants et des films de polarisation, qui sont essentiels pour les appareils dans des industries telles que l'optique, l'électronique, l'aérospatiale et les semi-conducteurs.
Création d'un environnement sous vide
L'ensemble du processus de revêtement est effectué dans une chambre à haute vacuité.
Prévient la réaction du matériau vaporisé avec l'air ou la dispersion par les molécules de gaz, assurant ainsi la pureté du film.
Réduit la collision entre atomes/molécules vaporisés et molécules de gaz, permettant à la vapeur d'atteindre le substrat en douceur et de former un film dense.
Génération et accélération du faisceau d'électrons
Un pistolet électronique génère des électrons par émission thermionique. Les électrons sont ensuite accélérés par un champ électrique haute tension pour obtenir une énergie cinétique élevée.
Cible du matériau chauffage et évaporation
Le faisceau d'électrons à haute énergie est focalisé par une lentille magnétique et dirigé sur la surface du matériau cible.L'énergie cinétique des électrons est convertie en énergie thermique lors de la collision avec la cible, chauffant rapidement le matériau à sa température d'évaporation (même pour les matériaux dont le point de fusion est supérieur à 2000°C, comme l'alumine.Le matériau s'évapore alors en une vapeur à haute densité composée d'atomes, molécules ou ions.
Dépôt de vapeur et formation de film
Les particules de matière vaporisées se déplacent en ligne droite dans la chambre à vide et sont déposées sur la surface du substrat en rotation.ils forment un film mince avec une structure spécifique et des propriétés optiques.
Surveillance et contrôle sur place
Au cours du processus de revêtement, un système de microbalance ou de surveillance optique en cristal de quartz est utilisé pour suivre en temps réel l'épaisseur du film et l'indice de réfraction.Le système renvoie les données à l'unité de commande, qui ajuste des paramètres tels que la puissance du faisceau d'électrons, la température du substrat et le taux de dépôt pour s'assurer que le film répond aux exigences de conception.
Efficacité élevée de l'évaporation pour les matériaux à haut point de fusion
Les faisceaux d' électrons chauffent directement la cible, permettant l' évaporation des matériaux dont le point de fusion est supérieur à 3000 °C.
Haute pureté du film
L'environnement sous vide et le chauffage sans contact minimisent les impuretés dans le film.
Contrôle précis de l'épaisseur
Les systèmes de surveillance in situ et la puissance réglable du faisceau d'électrons permettent une précision de contrôle de l'épaisseur du film allant jusqu'à ± 0,1 nm, répondant ainsi aux exigences des films optiques multicouches.
Compatibilité de l'ensemble des matériaux
Compatible avec les oxydes, les métaux fluorés, et même la céramique, élargissant les gammes d'applications.
Taux élevé de dépôt
Les taux de dépôt peuvent atteindre 1 à 10 nm/s, ce qui améliore l'efficacité de production des composants optiques de grands lots.
Communication optique
Couche de films minces pour les fibres optiques et les couples optiques, assurant une faible perte de signal lors de la transmission de la lumière.
Produits électroniques de consommation
Filtres anti-réflexion (AR) pour les écrans de smartphones et ordinateurs portables.Filtres de coupe infrarouge (IR) pour les modules de caméra.
Aérospatiale et défense
Films à haute réflexion pour les télescopes optiques par satellite.Films optiques anti-glaçage et anti-brouillard pour les pare-brise des avions.
Semi-conducteurs et optoélectronique
Filtres diélectriques pour micro-puces. Couches à couches minces pour diodes électriques.
Q: La machine est-elle difficile à utiliser?
R: Pas du tout. Il y a deux façons de faire fonctionner nos machines: manuelle et automatique.
Dans le processus automatique, la machine démarre automatiquement et complète toute la procédure par elle-même.
Q: Quel est le délai de livraison?
R: La livraison sera effectuée dans les 90 jours suivant la date de la commande. Des délais de livraison plus rapides peuvent être fixés si nécessaire.
Q: Pouvons-nous tester la machine avant l'expédition?
Bienvenue dans notre usine.
Q: Fournissez-vous un service après-vente?
R: Les problèmes après-vente doivent être résolus en ligne dans les 24 heures.
Fournir des solutions de produits à long terme et un soutien technique à distance.
Q: Vous proposez des machines d'occasion?
R: Oui, nous offrons également des machines d'occasion. Vous pouvez fournir vos exigences.
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