Elektronenstrahl-Optikbeschichtung Maschine ist ein Kerngerät im Bereich der Präzisionsoptikherstellung. Es verwendet hochenergetische Elektronenstrahlen zu schmelzen, verdunsten,und ionisierende optische Materialien mit hohem Schmelzpunkt, legt dann die verdampften Materialien auf die Oberfläche von Substraten ab, um ultradünne, gleichmäßige und leistungsstarke optische Filme zu bilden.Diese Filme werden häufig in optischen Komponenten wie Anti-Reflexionsfilmen verwendet., hochreflektierende Filme, Filterfilme und Polarisierungsfilme, die für Geräte in Industrien wie Optik, Elektronik, Luft- und Raumfahrt und Halbleiter unerlässlich sind.
Schaffung einer Vakuumumgebung
Der gesamte Beschichtungsprozess erfolgt in einer Vakuumkammer mit zwei wichtigen Funktionen:
Verhindert, dass das verdampfte Material mit Luft reagiert oder von Gasmolekülen zerstreut wird, wodurch die Filmreinheit gewährleistet wird.
Reduziert die Kollision zwischen verdampften Atomen/Molekülen und Gasmolekülen, so dass der Dampf das Substrat reibungslos erreicht und einen dichten Film bildet.
Elektronenstrahlgenerierung und Beschleunigung
Eine Elektronenpistole erzeugt Elektronen durch thermionische Emission. Die Elektronen werden dann durch ein Hochspannungsfeld beschleunigt, um eine hohe kinetische Energie zu erhalten.
Zielmaterial Heizung und Verdampfung
Der hochenergetische Elektronenstrahl wird durch eine Magnetlinse fokussiert und auf die Oberfläche des Zielmaterials gerichtet.Die kinetische Energie der Elektronen wird bei der Kollision mit dem Ziel in thermische Energie umgewandelt., wodurch das Material rasch auf seine Verdunstungstemperatur erhitzt wird (auch bei Materialien mit Schmelzpunkten über 2000°C, wie zum Beispiel Aluminiumoxid).Das Material verdunstet dann zu einem hochdünstigen Dampf, der aus Atomen besteht, Moleküle oder Ionen.
Dampfdeposition und Filmbildung
Die verdampften Stoffpartikel bewegen sich in einer geraden Linie in der Vakuumkammer und werden auf der Oberfläche des rotierenden Substrats abgelagert.sie bilden einen dünnen Film mit einer bestimmten Struktur und optischen Eigenschaften.
Überwachung und Kontrolle vor Ort
Während des Beschichtungsprozesses wird ein Quarzkristall-Mikrobalance- oder optisches Überwachungssystem verwendet, um die Filmdicke und den Brechungsindex in Echtzeit zu verfolgen.Das System leitet Daten an die Steuerungsanlage zurück., die Parameter wie Elektronenstrahlleistung, Substrattemperatur und Ablagerungsrate anpasst, um sicherzustellen, dass der Film den Konstruktionsanforderungen entspricht.
Hohe Verdunstungswirksamkeit bei Materialien mit hohem Schmelzpunkt
Elektronenstrahlen erwärmen das Ziel direkt und ermöglichen die Verdunstung von Materialien mit Schmelzpunkten > 3000 °C.
Hohe Filmreinheit
Die Vakuumumumgebung und die berührungslose Erwärmung minimieren Verunreinigungen im Film.
Genaue Dickenkontrolle
In-situ-Überwachungssysteme und einstellbare Elektronenstrahlleistung ermöglichen eine Filmmengtsteuerungsgenauigkeit von bis zu ±0,1 nm, was den Anforderungen von mehrschichtigen optischen Filmen entspricht.
Weite Materialverträglichkeit
Kompatibel mit Oxiden, Fluoridmetallen und sogar Keramik, erweitert die Anwendungsbereiche.
Hohe Depositionsrate
Die Absetzgeschwindigkeiten können 1 ‰ 10 nm/s erreichen und die Produktionseffizienz für große optische Bauteile verbessern.
Optische Kommunikation
Beschichtung mit dünnen Filmen für optische Fasern und optische Kopplungen, die einen geringen Signalverlust bei der Lichtübertragung gewährleisten.
Verbraucherelektronik
Anti-Reflexions- (AR) -Filme für Smartphone-/Laptop-Bildschirme.Infrarot- (IR) -Schnittfilter für Kameramodule.
Luft- und Raumfahrt
Hochreflexive Filme für optische Satellitenteleskope.Eis- und Nebeloptikflächen für Windschutzscheiben von Flugzeugen.
Halbleiter und Optoelektronik
Dielektrische Folien für Mikrochips. Dünnfilmbeschichtungen für Lichtdioden.
F: Ist die Maschine schwer zu bedienen?
Es gibt zwei Möglichkeiten, unsere Maschinen zu bedienen: manuell und automatisch.
Unter dem automatischen Prozess startet die Maschine automatisch und beendet den gesamten Prozess von selbst.
F: Wie ist die Lieferzeit?
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F: Bieten Sie einen Kundendienst an?
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