ماشین پوشش پرتو الکترونی اختصاصی فیلم ضد انعکاس با دقت بالا (فلم AR)

• سیستم خلاء:ترکیبی از پمپ مولکولی + پمپ روتس + پمپ مکانیکی، ابزار اندازه‌گیری خلاء، محفظه خلاء.
• سیستم تفنگ الکترونی:کاتد (سیم تانتال/سیم تنگستن)، آند، کویل متمرکز کننده، کویل انحراف، اسکنر پرتو الکترونی.
• سیستم تبخیر مواد غشایی:بوته، مکانیزم تغذیه مواد غشایی، پوشش محافظ ضد پاشش.
• قفسه کار و سیستم انتقال:قفسه کار سیاره‌ای (چرخش خودکار + انقلاب)، دستگاه گرمایش (گرمایش مادون قرمز/مقاومتی).
• سیستم نظارت بر ضخامت فیلم:مانیتور نوسان کریستال کوارتز (QCM)، مانیتور تداخل نوری.
• سیستم کنترل:صفحه نمایش لمسی PLC، نرم افزار کامپیوتر بالایی، دستگاه اینترلاک ایمنی.II. اصل کار

درِ محفظه خلاء را ببندید، سیستم خلاء را برای تخلیه به خلاء نهایی (≤5×10⁻⁵ Pa) روشن کنید و همزمان، بستر را از طریق دستگاه گرمایش قفسه کار به دمای از پیش تعیین شده (مانند 150 درجه سانتیگراد برای بستر شیشه و 80 درجه سانتیگراد برای بستر رزین) گرم کنید تا بخار آب و ناخالصی های جذب شده روی سطح بستر از بین برود و چسبندگی لایه فیلم افزایش یابد.مرحله تبخیر مواد غشایی:

تفنگ الکترونی توسط PLC فعال می شود. کاتد گرم می شود تا الکترون های حرارتی تولید کند، که سپس در آند (ولتاژ شتاب 10-30 کیلو ولت) شتاب می گیرند و توسط کویل متمرکز کننده متمرکز می شوند تا یک پرتو الکترونی با انرژی بالا ایجاد شود که مواد غشایی AR (مانند اولین لایه SiO₂) داخل بوته را بمباران می کند. انرژی جنبشی پرتو الکترونی به انرژی حرارتی تبدیل می شود و باعث می شود مواد غشایی به دمای تبخیر (حدود 1700 درجه سانتیگراد برای SiO₂ و حدود 2200 درجه سانتیگراد برای TiO₂) برسد و سپس به ذرات گازی تبخیر شود.مرحله رسوب فیلم:

ذرات مواد فیلم گازی به سمت بستر در یک محیط خلاء پخش می شوند، روی سطح بستر جذب، مهاجرت و متراکم می شوند و یک فیلم پیوسته تشکیل می دهند. قفسه کار تضمین می کند که ذرات گازی به طور مساوی سطح پایه را از طریق چرخش خودکار و انقلاب پوشش می دهند و از انحرافات ضخامت موضعی جلوگیری می کنند.مرحله نهایی پوشش:

پس از رسوب تمام لایه های فیلم، یک محیط خلاء را برای 30 تا 60 دقیقه خنک نگه دارید (برای جلوگیری از تنش داخلی در لایه های فیلم به دلیل تفاوت های دمایی بیش از حد)، سپس به آرامی گاز را به فشار معمولی آزاد کنید و قطعه کار را بردارید. در طول کل فرآیند، سیستم نظارت بر ضخامت فیلم بازخورد بلادرنگ داده ها را ارائه می دهد و قدرت پرتو الکترونی و سرعت تبخیر را به صورت پویا تنظیم می کند تا اطمینان حاصل شود که ضریب شکست و ضخامت هر لایه فیلم الزامات طراحی فیلم AR را برآورده می کند (مانند دستیابی به بازتاب ≤0.5٪ در باند نور مرئی 400-700 نانومتر).III. ویژگی های اصلی (مزایای تخصصی برای تهیه فیلم AR)

• یکنواختی ضخامت فیلم ≤±2٪ و دقت کنترل ضریب شکست ±0.005. از تنظیم ضخامت فیلم در مقیاس نانو پشتیبانی می کند (حداقل ضخامت رسوب 0.1 نانومتر).مواد غشایی سازگاری قوی دارد و مواد اصلی فیلم های AR را پوشش می دهد:
• می تواند مواد غشایی معمولاً مورد استفاده در فیلم های AR را به طور پایدار تبخیر کند و از رسوب متناوب مواد غشایی مختلف پشتیبانی کند و الزامات طراحی فیلم های AR چند لایه کامپوزیت را برآورده کند.درجه بالایی از اتوماسیون، مناسب برای سناریوهای تولید انبوه:
• کنترل PLC تمام فرآیند، پشتیبانی از ذخیره فرمول و تعویض سریع، راندمان تولید بیش از 30٪ نسبت به دستگاه های پوشش عمومی افزایش یافته است.محیط خلاء تمیز است و کیفیت لایه فیلم پایدار است:
• درجه خلاء نهایی بالا است (≤5×10⁻⁵ Pa) و محتوای گاز باقیمانده کم است، که می تواند حباب ها و ناخالصی ها را در لایه فیلم کاهش دهد. پایداری عبور نور فیلم AR (در محیط -40 درجه سانتیگراد تا 85 درجه سانتیگراد) 20٪ افزایش یافته و مه آلودگی ≤0.1٪ است.سازگاری بستر گسترده ای دارد و نیازهای چندین سناریو را برآورده می کند:
• از تهیه فیلم های AR بر روی بسترهای مختلف مانند شیشه، رزین، یاقوت کبود و فلز پشتیبانی می کند. با تنظیم دمای گرمایش و سرعت تبخیر، می توان به چسبندگی قوی بین لایه فیلم و بستر دست یافت.IV. خلاصه ای از مزایای اصلی

• دقت و پایداری لایه فیلم بسیار بیشتر از دستگاه های پوشش گرمایش مقاومتی است و الزامات فیلم AR محصولات نوری پیشرفته مانند لنزهای دوربین و لنزهای لیزری را برآورده می کند.
• راندمان تولید انبوه و کنترل هزینه نسبت به دستگاه های پوشش اسپاترینگ مگنترون برتر است و آن را برای سناریوهای کاربردی در مقیاس بزرگ مانند لوازم الکترونیکی مصرفی، فتوولتائیک و خودرو مناسب می کند.
• V. سناریوهای کاربردی معمولی

1. صفحه نمایش تلفن همراه/تبلت/کامپیوتر؛ لنز دوربین/لنز تلفن همراه؛ ساعت هوشمند/لنز دستگاه VR.
   زمینه ابزارهای نوری
2. لنزهای میکروسکوپ/تلسکوپ؛ لنزهای تجهیزات لیزری (مانند لنزهای لیزر CO₂، لنزهای لیزر فیبری).
   زمینه انرژی فتوولتائیک
3. شیشه فتوولتائیک؛ سیستم خورشیدی متمرکز (CSP)
   زمینه های خودرو و هوافضا
4. شیشه جلو/پنجره های خودرو؛ پنجره هواپیما/آینه هوانوردی.
   سایر زمینه های ویژه
5. تجهیزات نوری پزشکی (مانند لنزهای آندوسکوپی، میکروسکوپ های جراحی)؛ پانل های نمایشگر (مانند OLED، Mini LED).